Способ изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциапистических,Республик(51)М. Кл. Н 01 6 9/24 9 кударствеивй комитет СССР вв делам изобретений и открытий(53) УДК 62.319- -4,45(088.8) Дата опубликования описания 23. 12.81,(72) Авторы изобретения В. Я. Каган и Б. И, Марченко г2(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОКСИЦНО-ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КОНДЕНСАТОРОВ Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов.Известен способ отбраковки ненадежных конденсаторов, заключающийся в том, что после нанесения на спеченные оксидированные аноды полупроводникового слоя, металлизации сек-. ций и сборки секций в корпус, их подвергают тренировке . Недостатком известного способа является попадание кислорода из атмосферы воздуха в корпус конденсатора через трубочку изолятора, что приводит к временному залечиванию дефектов, которые затем проявляются при эксплуатации,Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов, включающий металлизацию секций в вакууме, сборку и отбраковку в вакууме пу-тем измерения токов утечки 21,Однако способ имеет малую эффективность вакуумной сушки, котораяснижается из-за малых отверстий втрубочке изолятора (0,1-0,5 мм), иневысокую производительность труда,вызванную проведением ддполнительной операции - вакуумной сушки, .Цель изобретения - повышение эффективности отбраковки и увеличениепроизводительности труда.Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов,включающем металлизациюсекций в вакууме, сборку и,отбраковку в вакууме путем измерения токов утечки, отбраковку осуществляютпосле металлизации секций в вакууме.Предлагаемый способ изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов осуществляется по схеме892494 вакуумная металлизация секций - отбраковка в вакууме путем измерения при подаче напряжения прямой полярности - сборка секций (впайка секций и изолятора в корпус) - измерение токов утечки - тренировка, а известный по схеме : вакуумная металлизация секций - сборка секций (впайка секций и изолятора в корпус)- измерение токов утечки - вакуумная сушка при одновременной подаче напряжения обратной полярности и измерение токов утечки в вакууме при напряжении прямой полярности - тренировка.П р и м е р . 150 секций ниобиевых оксидно-полупроводниковых конденсаторов номинала 5 В х 68 мкфзагружают во Фторопластовые гнезда металлических кассет, которые помещают в камеру напыления, где создают вакуум1 О Торр. После металлизации секций.медью и остывания их до комнатной температуры производят замер токов утечки при напряжении прямой полярности 15 В. Ток утечки у 23 секций превышает .150 мкА, а у остальных - не более 40 мкА (норма перед тренировкой)Затем производят впайку секций и изоляторов в корпуса (сборка секций). Замер токов утечки, произведенный после сборки, показывает,что среды конденсаторов, имеющих токи утечки менее 40 мкА, брака по току утечки нет, а из 23 штук отмечен. ных конденсаторов - 18 штук имеют значения токов утечки выше допустимой нормы (40 мкА) и отбраковываются. Остальные пять штук отмеченных конденсаторов имеют токи утечки в норме,Все годные после сборки конденсаторы (132 штуки, включая пять отмеченных) проверяют известным способом. У трех из пяти отмеченных конденсаторов ток утечки превышает 100 мкА, остальные - в предалах ,нормы (40 мкА) Тренировку и последующие операции выполняют известным способом, После изготовления все конденсаторы удовлетворяют техничес,ким условиям, в том числе и пять от 4меченных конденсаторов. Однако, при испытании конденсаторов на надежность в течение 000 ч при номинальном напряжении 15 В и температуре 8. С, ток утечки у пяти отмеченных конден-. саторов превышает 300 мкА (норма 20 мкА), в том числе и у двух образцов, не выявленных известным способом, а остальные конденсаторы имеют токи утечки в пределах нормы.Процесс отбраковки потенциально ненадежных конде.саторов по предлагаемому способу объясняется следуют щим. В процессе вакуумной металлизации при остаточном давлении 1110 Торр и нагреве секций в процессе напыления меди происходит вакуумная сушка секций, при которой удаляется влага, адсорбированная пористыми слоями двуокиси марганца и граФита. В результате вакуумной сушки удаляется влага с границы оксид - двуокись марганца, поток кислорода из двуокиси марганца ослабляется и ранее блокированные ионами кислорода дефекты оголяются.Предлагаемый способ позволит увеличить производительность труда за счет исключения вакуумной сушки и повысить эффективность отбраковки. Формула изобретения Способ изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов, включающий металлизацию в вакууме, сборкуи отбраковку в вакууме путем измерения токов утечки, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с, целью повышения эффективности отбраковки иувеличения производительности труда, отбраковку осуществляют после металлизации секций в вакууме,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Закчейм Л. Н, Злектролитичес-,кие конденсаторы. И., 1963, с. 2292322. Авторское свидетельство СССР9 560264, кл. Н 01 6 9/24, 1972