Способ контроля внутренних напряжений в полупроводниковых кристаллах

ZIP архив

Текст

р 502282 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советских Социалистических Республик(23) ПриоритетОпубликовано 05.02,7Дата опубликования овета Министров СССРао делам изобретений Бюллетень5 исаппя 22.04,76 3) УДК 531,781.2) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ВНУТРЕННИХ НАПРЯЖЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛАХ 1 сится к х харак спользо ДНИКОВЫ овления тельно ти, сн об отНа Изобретение отнвания механическилов и может бытькачества полупровоменяемых для изгоборов. области исследоеристик материаано для контроля материалов, приэлектронных примых за способу меренимости НОГО ВН О ОДНООСНразца казано ствующ му и и 5 киЗисмещен ления на об смещения су р азцах.Таким обр чинах внутре чить более т пряженного кристаллов. ор мул а из ния Известен способ контроля внутренних напряжений в полупроводниковых материалах, в частности в монокристаллах, при котором параметры испытуемого образца, например параметры его кристаллической решетки, определяют рентгеноструктурным методом и сравнивают их с параметрами контрольного образца из того же материала, для которого внутренние напряжения известны,Однако известный способ дает возможность получать лишь приближенную количественную оценку. К тому же он обладает низкой чувствительностью при небольших величинах внутренних напряжений.Цель изобретения - повышение точности и чувствительности способа.Это достигается тем, что испытуемый образец подвергают одноосному сжатию вдоль определенного кристаллографического направления, измеряют величину удельного электро- сопротивления по этому направлению в функции от напряжения сжатия, и по средней величине смещения линейного участка этой зависимости для испытуемого образца относиалкин, В. А. Климов, В, В. Коломоевинзон и В, П. Шаповалов линеиного участка тои же зависимосятой для контрольного образца, судят ошении напряжений в этих образцах, ертеже изображены графики исследуевисимостей. Согласно предложенномуконтроль осуществляется путем изя для сравниваемых образцов зависиудельного сопротивления от приложенешнего механического напряжения при ом сжатии. Затем для каждого обстроят график этой функции, как нона чертеже. На кривых 1 и 2, соответих двум разным образцам, контрольноспытуемому, выделяют линейные участ и определяют среднюю величину ия для точек 5 и 6, соответствующих и той же величине удельного сопротивеих кривых. По этой величине дят о разнице напряжений в обзом, даже при небольших велинних напряжений можно получные количественные оценки насостояния полупроводниковых Способ контроля внутренних напряженийв полупроводниковых кристаллах, при котоЗаказ 736/3 Изд, Мо 247 Тираж 1029 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 ром параметры испытуемого образца сравнивают с такими же параметрами контрольного образца из того же материала с известными напряжениями, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности и чувствительности способа, испытуемый образец подвергают одноосному сжатию вдоль определенного кристаллографического направлсния, измеряют величину удельного электро- сопротивления по этому направлению в функции от напряжения сжатия и по средней величине смещения линейного участка этой за висимости для испытуемого образца относительно линейного участка той же зависимости, снятой для контрольного образца, судят об отношении напряжений в этих образцах.

Смотреть

Заявка

1960124, 17.09.1973

ИНСТИТУТ ПУЛОПРОВОДНИКОВ, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4521

БАРАНСКИЙ ПЕТР ИВАНОВИЧ, ГАЛКИН ПАВЕЛ НИКОЛАЕВИЧ, КЛИМОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, КОЛОМОЕЦ ВЛАДИМИР ВАСИЛЬЕВИЧ, ЛЕВИНЗОН ДАВИД ИДЕЛЕВИЧ, ШАПОВАЛОВ ВИТАЛИЙ ПАВЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01N 3/00

Метки: внутренних, кристаллах, напряжений, полупроводниковых

Опубликовано: 05.02.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-502282-sposob-kontrolya-vnutrennikh-napryazhenijj-v-poluprovodnikovykh-kristallakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля внутренних напряжений в полупроводниковых кристаллах</a>

Похожие патенты