Раствор для избирательного травления меди

ОП ИКАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВНДВ е 1 сдЬС 1 ВУ Союз Советскии Социалистическни Республик(45) Дата опубликования описания 15,03,78 и(51) М. Кл.С 23 Р 1/02 Госудврствеииый комитет Сооето Мииистроо СССР по делом изобретеиий и открытий(54) РАСТВОР ЛЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯМЕЛИ Изобретение касается технологии обработки металлов химическим травлением металла, в частности технологии изготовления печатных плат с медью в качестве скемного металла, используемых в разничнык радиотехнических, электротехнических и других приборак и устройствак, и может быть использовано в производствах средств связи, радиотекнических и электротехническик приборов, машин и устройств; в художественных промыслах при изготовлении рисунков, узоров, надписей, деталей, украшений и т. д. травлением меди и медных покрытий; в гравернык работак; в отрасляк промышленности, используюших травление меди и медных сплавов.При изготовлении изделий из меди с медными покрытиями, в частности печатных плат с медью в качестве схемного металла, способами кимического травления, для повышения качества изделий и производительности процесса важно, чтобы травил ный раствор при высокой скорости травления обеспечивал наименьшее подтравливание (т, е, максимальное приближение к за-.;. данным геометрическому профилю и размерам),Известен раствор для травления меди,содержащий соляную кислоту, перекисцое5 соединение, натриевую соль этидендиаминтетрауксусной кислоты и воду 1 11. Такойраствор не обеспечивает высокой скороститравления иди дает сушественное подтравдиванпе.10 цель изобретения - повышение скороститравления и уменьшение подтравливания -достигается тем, что предлагаемый раствор в качестве перекисного соединения содержит монбпероксигидраткарбамида при15 сдедуюшем соотношении. компонентов, г/л:Соляная кислота 50-300Монопероксигидрат карбамида 75-350Натриевая соль этилен 20 диаминтетрауксусной кислоты (трилон Б) О, 5-5Вода Ло 1 л.При содержании в растворе соляной кис,лоты 50-300 г/л оптимальные весовые25,соотношения в растворе соляной кислоты,Таблица К 20 Менее 10 0,5350 ОГМ 0 3 Б ОГМ 80120 МПОГМ 7 300 нее ПОГМ Более В В ее 7 3,5 2 Х К ДВМ монопероксигидрата карбамида и трилона Б определяются координатами точек поверхности треугольника Гиббса-Розебома, пред. ставленного на чертеже, ограниченной кривой АВСДЕК (на чертеже эта поверхность заштрихована).Травление меди указанными травильными растворами производится при температурах 2 СС (предпочтительно 20-25 С)о ои нормальном давлении. Эффективность работы травильного раст вора подтверждается данными, приведеннь- ми в таблице, полученными при травленииодинаковых печатных плат.Соляная кислотаМонопероксигиарат карбамиааНатриевая соль зтиленанякц 1 нтетраук 1 усной кислотыВода 50 300 О, Ь Ло 1 л. Составитель П. Лягин тор Н, Каменская Техреа А. Богдан Корректор А. Кравчен290/22 Тираж 1177НИИПИ Государственного комитета Спо делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж, Раушская наб. Подписноеовета Министров СС ка ПП "Патент, г. Ужгород, ул, Проектная,ил В таблице приняты слеауюшие сокрашения:СК- соляная кислота, ТБ- трилон Б,МПОГМ- монопероксигидрат карбамиаа,ПВ - перекись водорода, ХА - кромовый ангидрид, СРК - серная кислота,ХЖ - хлорное железо, ХЛВМ - клориадвуквалентной меди,Подтравливание - искажение, противэаданнык, линейных размеров отверстийдиаметром 25 Сюкм, в слое меди.Травильный раствор готовитсяпоследовательным растворением в воде солянойкислоты (клориетого водорода ), трилона Би монопероксигидрата карбамида. Растворение ведется при нормальных темнературак и давлениях.Использование предлагаемого травильного раствора обеспечивает высокую скорость травления при незначительном подтравливании. Это создает необходимые условия для улучшения качества готовык изделий, повышения выхода целевой продукции и производительности труда. Формула изобре гения Раствор аля избирательного тааленнямеан, соаержацнй соляную кислоту, пере- Б кнспое соединение, натриевую соль етиленднамнлтетрауксусной кислоты и воду, о та и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения скорости травления и уменыпения ноатравлнвания, в качестве перекисно гс соединения ок содержит монопероксигиарат карбамиаа при следуюшем соотношении компонентов, г/л: Источники информации, принятые во вниманпе при экспертизе:1, Авторское свидетельство ССС Р 25 К 293066, кл, С 23 Р 1/00, 1970,