Раствор для размерного травления молибдена и меди

Союз Советск икСоциалистичесиикРеспублик О П И С А Н И Е 929738ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУпо делам изобретений и открытиЯ(54) РАСТВОР ДЛЯ РАЗМЕРНОГО ТРАВЛЕНИЯ МОЛИБДЕНА И МЕДИИзобретение относится к микроэлект. ронике и может быть использовано при изготовлении изделий для электровакуумных приборов СВЧ, а также микросхем и фотошаблонов фотолитографическим способом.Наиболее близким к изобретению по технической сушности являются растворы на основе азотной кислоты, содержащие для травления молибдена азотную и серную кислоты и воду, а для травления меди - азотную и серную кислоты и добавки 13 .Эти растворы хорошо себя зарекомен довали при травлении иэделий из молибдена и меди на небольшую глубину с размерами перемычек элемента, соизмеримыми с величиной толщиныматериала а также при травлении тонких напыленных пленок молибдена и меди.Однако произвести качественное фото химическое фрезерование изделий иэ молибдена и меди на глубину 20 - 50 мкм с размерами перемычек 10-20 мкм (например, при изготовлении сеток ЭВП СВЧ). в указанных травителях не представляется возможным из-за недостаточнойскорости и равномерности травления, чтов свою очередь, приводит к значительному боковому подтравливанию, неравномерности края и искажению элементов.Бель изобретения - повышение равномерности травления и точности воспроизведения рисунка при травлении как тонких пленок, так и при сквозном травлении молибденовой или медной фольги,, топшиной 20 мкм и выше с минимальной величиной размера перемычек 10-15 мкм,Поставленная цель достигается тем, 1 бчто раствор для фотохимического травления молибдена и меди, содержащийазотную кислоту, дополнительно содержит перекись водорода и хлорное железо при следуюшем соотношении компонентов, вес. %:Азотная кислота929738 4Затем, проводят процесс фотолнтогра 8 фии по общепринятой существующей тех 8 нологии, т, е. сушат фоторезист приое 902 оС в течение 20 мин, акспония-руют двухсторонне на установке ЭМ через фотошаблон, проявляют фотореэиств 3%-ном растворе тринатрийфосфата,то- проводят термическую обработку фоторезистивной пленки при 170 + 5 ОС в тель й чение 5 мин, травят металл в соответствующих растворах, измерение величиныедь, . подтравов проводят на микроскопе МИИ при увеличении в 400 раз,3Перекись водорода (30%-ная) 15-2Хлорное железо 5-1Вода Ос талькВ процессе травления металл окисл ется, а травитель восстанавливается. Способность металла к окислению эави сит, помимо алектронной структуры а ,:мов, также и от окислительной способ,ности травителя, Чем выше окислите иая способность травителя, тем выше .скорость травления, а ато в свою очер обесцечивает равномерность травления и точность воспроизведения рисунка.Присутствие в растворе Гюй ускоряет процесс разложения перекиси войородаеП р и м е р. Для получения раствора для травления молибдена и меди хлорное железо растворяют в воде в заданных соотношениях, а затем медленно добавляют в полученный раствор 30%-ную перекись водорода. При атом происходит бурная реакция, по истечении которой в раствор добавляют концентрированную азотную кислоту и сразу проводят травление.Было приготовлено семь смесей, технологические характеристики которых приведены в табл. 1.При поведении испытаний на образцы из молибденовой или медной фольги толщиной 0,030 мм и плошадью 100 х 50 мм наносят фоторезист ФПЛ на центрифуге цри 2000-2800 об/мин. И Результаты испытаний приведены в табл. 2,Как видно из таблицы скорость травления в предлагаемом растворе увеличи 2 п вается в 1,5 - 2 раза по сравнению сизвестными растворами для травлениямолибдена и меди. Фактор травления увеличивается примерно в 2 раза. Чем выше фактор травления, тем меньше клин 2 травления и боковое подтравливание.Процесс травления в предлагаемомрастворе отличается высокой равномерностьюкак ио поверхности, так н поглубине заготовки, а также позволяет ЗЕ повысить качество воспроизведения рисунка при фотохимическом фреэерованиина глубину 20 мкм и выше с минимальным размером перемычек 10 - 15 мкм.Все ато в свою очередь приводит к повышению выхода годных изделий.9 9297 формула изобретенияРаствор для размерного травления молибдена и меди, содержащий азотную кислоту и воду, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения рав номерности травления и точности воспроизведения рисунка за счет увеличения скорости травления при сквозном травлении фольги, раствор дополнительно содержит перекись водорода и хлорное же лезо при следующем соотношении компонентов, вес. %: 10Азотная кислота 60-70Перекись водорода (30%-ная), 15 -25Хлорное железо, 5- 15Вода ОстальноеИсточники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Попилов Л. Я. и Трактирова Т, В,Химические и электрохимические способы травления поверхностей деталей и1 изделий в судостроении. ЦНИИ, РУМБф,1974, с. 50, 51 и 63.Составитель В. ОлейниченкоРедактор О. Юрковецкая Техред И.Гайду Корректор Г, ОгарЗаказ 3419/36 Тираж 1049 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская набд. 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4