Устройство для контроля полированных пластин

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ЬетОРСКОМЮ СВИДВтЕЛЬСтВЮ Союз Советских Социалистичесиик Республик,11.74(21) 2073811/25-2 5) М. Кл.С 1/24 присоединением заявкиГасударатввккый квивтет Сваата Маевтрва СССР ва дедам кзебретве и вткрыткй,опт Изобретение относится к измерительнойтехнике и может быть применено, напримердля определения степени дефектности полированных поверхностей, плоскостности полированных плоскостей любого профиля и стрелы црориба однородно изогнутых пластин,Известно устройство для контроля полированных пластин, содержащее последовательно расположенные источник когерентного излучения, коллиматор и полупрозрачноезеркало, эталонный оптический клин и видеоконтрольный блок,Контролируемую пластину устанавливаютна подставке (предметном столике), на неенаправляют когерентное излучение черезколлиматор, полупрозрачное зеркало и эталонный оптический клин сверху вниз. Эталонный оптический клин расположен под полупрозрачным зеркалом. Отраженный светнаправляется полупрозрачным зеркалом наэкран видеоконтрольного блока-.видикона1 щромыщленной телевизионной установки (ПТУ).В результате интерференции, возникающеймежду световыми лучами, отраженными отанализируемой и эталонной поверхностей, на телевизионном экране возникает интерфе;ренционная картина, по которой и оценивают качество полировки, При определенииплоскостности пластин относительную неплоскостность. (деформацию) определяютподсчетом числа интерференционных полосили колец на экране телевизора, В процессе измерения горизонтальную поверхностьоптического клина с помощью юстировоч 10 ных винтов устанавливают параллельно поверхносги контролируемой пластины. Прикаждом,измерении возникает необходимостьи в ориентировании эталонного клина с помощью юстировочных винтов, что связанод со значительными затратами времени.Цель изобретения - повышение производительности контроля.Поставленная цель достигается тем,что в предлагаемом устройстве эталонный20 оптический клин расположен над полупроэрачным зеркалом так, что его горизонтальная плоскость служит опорой для контролируемой пластины,В предлагаемом устройстве эталонный25 ический клин закреплен постоянно, акбгерентное излучение направлено через него, коллиматор и полупрозрачное зеркало на поверхность контролируемой пласти,ны, вплотную прилегающей к горизонталь ной поверхности клина, Такое взаимное расположение частей устройства, а также расположение контролируемой пластины по отношению к эталонному клину позволяет устранить операцию по выставлению оптического клина в процессе контроля, и, следовательно, повысить производительность контроля., На чертеже изображено описываемое уст; ройство.Оно содержит источник когерентного из 5 лучения-лазер 1, коллиматор 2 для расширения луча лазера и равномерного освещения поверхности контролируемой пластины 3 полупрозрачное зеркало 4, эталонный оптический клин 5, видеоконтрольный блок 6,Пластину 3 помещают контролируемой поверхностью на горизонтальную плоскость эталонного оптического клина 5. После это го включают лазер 1, Луч света от лазера 1 достигает коллиматора 2, расширяет ся и, проходя через полупрозрачное зерка ло 4 и эталонный оптический клин 5,по- падает на контролируемую поверхность плаотины 3, Отраженный от поверхности плас тины 3 свет направляется полупрозрачным яв зеркалом на видеоконтрольный блок 6. Интерференционную картину, получаемую на экране видеоконтрольного блока 6, анализируют и оценивают возможные дефекты в пластине 3.В результате того, что в предлагаемом устройстве эталонный оптический клин ус тановлен неподвижно, а контролируемая пластина располагается непосредственнона его поверхности, процесс контроля упрощается, причем производительность контроля существенно возрастает. Эти преимущества обеспечивают самое широкое применение данного устройства в производствен" ных условиях для установления разнообраз ных дефектов объектов различного рода, и частности пластин,Формула иэобре к енияУстройство для контроля. полировандых пластин, содержащее последовательно рас положенные источник когерентного издуче ния, коллиматор и полупрозрачное зеркащо, эталонный оптический клин и видеоконтродьиый блок, о т д и ч е ю щ е е а а тем, что, с целью повышения ррризнодительнос тн контроля, эталонный оптичвакий кдин расположен над подупродрачным зеркалом так, что его горизонтальная плоскость служит опорой для контролируемой пластины еСоставитель ЛобзоваТехред Л. демьянова Корректор Л, Лнлжш.нская ктор В, Дибобес аз 1 аб., д, 4/5 Филиал ППП "Патент", и. Ужгород, ул. Проектная, 4 1 Тираж 364НИИПИ Государственного комитета по делам изооретени 113035, Москва, Ж, РаушскаПодписноео Ветч Министров ССС 1 открытий