Ан ссср

Номер патента: 337142

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Кун, Физиологии

МПК: G01N 27/60, H01J 49/26

Метки: ионов, масс, органическихсоединений

...1 оиона в масс-спектре.В предлагаемом способе, с целью получения отдельных ионов фрагментов, выделенныйс помощью магнитного масс-анализатора,поток ионов определенной массы направляют на 15электронную линзу, на которую подают плавно меняющееся напряжение, регистрируютизменяющийся от этого поток ионов и поположению на диаграмме пиков родительского и дочернего иона судят о массе дочернего 20иона, а по отношению высот этих пиков - овероятности его образования.При использовании в качестве масс-анализатора секторного магнитного поля заслуживает особого внимания рассмотрение участка 1 Бтраектории между выходом из магнитногополя и коллектором ионов, Так как на ланном участке магнитные и электрические, поляпрактически отсутствуют, ионы движутся...

Номер патента: 1075331

Опубликовано: 23.02.1984

Автор: Коляда

МПК: H01J 49/26

Метки: вторичной, ионно-ионной, компонент, коэффициентов, образца, полупроводникового, эмиссии

...измерения коэффициентов ВИИЭ компонент образца из полу. проводникового материала.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу определения коэффициентов вторичной ионно-ионной эмиссии компонент образца из полупроводникового материала, в котором производят ионную и температурную очистку поверхности образца в условиях высокого вакуума, напускают активный по отношению к поверхности образца газ и измеряют токи первичных и вторичных ионов, проводимость поверхности образца поддерживают заданной путем изменения температуры в диапазоне, в пределах которого происходит адсорбция активного газа.Активность поверхности полупроводников по отношению к газовой среде тесным образом связана с электронной структурой его поверхности и с ее...

Номер патента: 1078502

Опубликовано: 07.03.1984

Авторы: Коляда, Нагорная, Черепин

МПК: H01J 49/26

Метки: вторичной, значения, ионно-ионной, компонент-поверхности, коэффициентов, относительного, твердых, тел, эмиссии

...при постоянном значении тока ионов первичного пучка ионное легирование производят тем же пучком первичных ионов с энергией, превышающей энергию ионов первичного пучка при распылении, при этом длительность масс-анализа устанавливают больше времени прекращения спада тока вторичных ионов с массой, соответствующей массе ионов первичного пучка.На фиг. 1 - 4 представлены варианты масс-спектров и временные зависимости токов (в.и.и.э.).При проведении масс-анализа происходит распыление ионнолегированного слоя, поэтому в спектре в.и.и.э., снятом в момент времени 0 ТсТ, наблюдаются вторичные токи компонент А (пики А, А, Аз, А 4) и вторичный ток 1-, который складывается из двух составляющих - вторичного тока 1 от ионов первичного пучка, легирующих...

Номер патента: 1211645

Опубликовано: 15.02.1986

Авторы: Васильев, Коляда, Нагорная, Черепин

МПК: G01N 27/62, H01J 49/26

Метки: вторичной, ионной, компонентов, коэффициентов, образца, эмиссии

...очиЗ 5 щают поверхность от загрязнений,возникающих при контакте поверхности образца с окружающей средой впроцессе пробоподготовки и вакуумирования. После этого с помощью на гревателя с источником питания произ.водят кратковременный 1-2 минразогрев до 800 С для термическогообезгаживания поверхности образца.После остывания образца в камеру 45 напускают из баллонов с редукторамиактивную по отношению к железу газовую смесь - водород и азот, устанавливая парциальные давлениясоответственно 9 1 О и 3 10 Па.50 Выбор в качестве активного газаазотно-водородной смеси обусловлентем, что в зависимости от темпеО 15 20 25 ния определяется по значению токавторичных ионов в реперной (экстремальной) точке.Тип соединения опреде:,лением активного...

Номер патента: 444101

Опубликовано: 25.09.1974

Авторы: Лебедев, Морозов

МПК: G01N 27/62

Метки: ионных, массам, пучков, сепарации

...д, , условия равновесия выполняться не будут, и. они будут смещаться в зависимости. от массы либо на большие, либо на меньшие радиусы.1 аким образом, осуществляется сепарация ионов по массам. датем для того, чтобы компенсировать закрутку, йриобретенную ионами в радиальном магнитном доле, их вновь пропускают через радиальное магнит. ное поле, равное первому по величине, но противополоао направленное. В результате получают ионы без азимутальной скорости, но уже разделенные по массам.При оолее точном РассмотренииСоставитель Г, Йв т Ро ВЗ.РедакторЗ 1 Ъердохлеоова ТехредА.Чавутньяк Корректор.11,6 елр 8 сор Изд Мй/2 Тираж Яф Заказ 5Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, 113 О...