Устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбирующий оксидно-пленочный элемент

Номер патента: 1446580

Авторы: Бернитский, Вольф, Гаккер, Доле, Лаут, Мейер

ZIP архив

Текст

СОЮа СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБ ЕТЕНИйц И ЯНРЫтинмОРИ ГННТ СССР ПО 230 б 51 (48) О7773549/24-10 47а И 6)(54) УСТОЙЧИВЫЙ К ВОЗДЕЙСТВИЮ ЛАНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НЕАБСОРВИРУЮЩИЙОКСИДНО-ПЛЕНОЧНЫЙ ЭЛЕМЕНТ(72) Юрге (53) ОЗ.О 9.84МР С 02 М 2558652.0.83Ю23.2,88, Бюл.ФЕБ Карл Цейсс ЙБернитский ГельмуГаккер Эрик Лань и Др. Волф Рай535.345.6(088.8)(57) Изобретение относится к оптическому приборостроению н позволяетповысить стойкость к лазерному излученщо непоглощающих оксидно-пленочныхэлементов. Устойчивый к воздействиюлазерного излучения неабсорбирувщийоксидно"пленочный элемент состоит иэподложки с нанесенным на нее слоемокисла металла, причем количествоатомов кислорода, связанных в слое,на 2-82 больше, чем количество атомов кислорода, которое необходимодля сохранения стехиометрическогосоотношения кислород - металл оксидного соединения металла наивысшейвалентности.144 б 580 Формула изобретения Устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбирующий оксиднопленочный элемент, состоящий по крайней мере иэ одного слоя окисла метал" ла, нанесенного на подложку, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения стойкости к воздействию лазерного излучения, количество атомов кислорода, связанных в слое, на 2-82 больше, чем количество атомов кислорода, которое необходимо ддя. сохранения стехиометрического соотношения кислород - металл оксидного соединения металла наивысшей валент- ностиф Составитель Б. Киреева,Техред Л.Олийиьдс Корректор О. КРавцова,Редактор Н. Тупица Заказ б 744/51 Тираж 533 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Иосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к устойчивым к лазерному излучению непоглощающим оксидно-пленочным элементам, например, зеркал, фильтров и делителей излучения.Известны неабсорбирующие оксиднопденочные элементы, устойчивые к воздействию лазерного излучения, (О содержащие дополнительный слой оптической толщиной в " с низким показа 2тедем преломления, улучшающий стойкость к воздействию лазерного иэлу15 чеиия (Ж.Н. ЬочдехшхИс ес а 1. Ийп Зо 1 И И 1 ав, 73, 1980, с. БЯ, .Эта конструкция связана со значительными затратами при изготовлении и контроле и обладает незначительной эффективностью.Известен также устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбирующий оксидио-пленочный оптический элемент, состоаций по крайней мере из одного слоя окнсда металла, нанесенного на подложку (Б,И. Арйе 1 В ТЬж Зо 1 Ы Р 3.1 шз, 73, ИЗО, с.167);Недостатками известной конструкции явлеотся низкие эксплуатационные качества, а также низкая стойкость к воздействию лазерного излучения.Цель изобретения - повышение стойкости к воздействию лазерного излу" чеиияаУказанная цель достигается тем, что количество атомов кислорода,связанных в слое, на 2-ЗЖ больше, чем количество атомов кислорода, которое необходимо для сохранения стехиометрического соотношения кислород - металл оксидного соединения металла наивысшей валентности.Устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбирующий оксиднопленочный оптический элемент состоит из одного слоя Та О уВЪОо, ЯЗОз), нанесенного на подложку иэ стекла, Количество атомов кислорода, связанных в слое, на 27 больше, чем это требуется по стехиометрическому соотношению кислород - тантал (ниобий, кремний). Количество атомов кислорода, связанных в слое ТО , на 8 больше, ЕгО - на 5 Х больше, чем это требуется по стехиометрическому со.отношению.

Смотреть

Заявка

7773549, 03.09.1984

ФЕБ КАРЛ ЦЕЙСС ЙЕНА

БЕРНИТСКИЙ ГЕЛЬМУТ, ДОЛЕ РЕЙНХАРД, ГАККЕР ЭРИК, ЛАУТ ГАНС, МЕЙЕР ЮРГЕНЬ, ДР. ВОЛЬФ РЕЙНХАРД

МПК / Метки

МПК: G02B 5/28

Метки: воздействию, излучения, лазерного, неабсорбирующий, оксидно-пленочный, устойчивый, элемент

Опубликовано: 23.12.1988

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1446580-ustojjchivyjj-k-vozdejjstviyu-lazernogo-izlucheniya-neabsorbiruyushhijj-oksidno-plenochnyjj-ehlement.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбирующий оксидно-пленочный элемент</a>

Похожие патенты