Способ изготовления корпусов гибридных интегральных схем

файф%Щ СОГОЭ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК БО 1700640;51)5 Н 21 48 мд 6 1 руД,); : авива юм НИЕ ИЗОБРЕТЕ КОМУ СВИДЕТЕЛЬ(54) СПОСОБ ИЗГОТО ГИБРИДНЫХ ИНТЕГР (57) Изобретение отно технике и может быть готовления гибридных из материалов, вступаю активное плввление, повышение герметичн ЛЕНИЯ КОР АЛЬНЫХ СХ ится к алек спользовано интегральн щих в конта Цель изобре сти и точно П роннои для изх схем тно-реения -о ом ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР Изобретение относится к электроннойтехнике и может быть использовано для изготовления гибридных интегральных схем вметаллических герметичных корпусах из материалов, вступающих в контактно-реактивное плавление,Цель изобретения - повышение герметичности и точности геометрических размеров корпуса.На фиг.1 приведена схема конструкциикорпуса; на фиг,2 - разновидности рельефных поверхностей концевых граней пластин, несущих частичное покрытиеметаллом (показан штихпунктирной линией), образующим с основным металломэвтектику; на фиг,3 и 4 - схема соединенийпластины с помощью сварного шва и егогерметизации за счет эвтектики,Способ осуществляют следу,ощим обраческих размеров корпуса, Способ претривает изготовление заготовок из лического материала (титана), из котодна пара заготовок имеет рельефную хность концевых граней, сборку загона оправке, сжатие заготовок и пропуе тока с использованием шунтируюставок. Новым является покрытие конечных тооцовых поверхностей мем (никелем), образующим с основным лом (титаном) эвтектику. Самый верх,асток рельефа в месте касания со свамой стенкой оставляют непокрытым, э у осуществляют нагрев одновременно етырех швов одним коротким импульлектрического тока, 3 ил. метри дусма метал рых о повер товок скани щих в остро талло метал ний уц ривае сверх всех ч сом з Изготавливают заготовки граней 1 и 2 а корпуса из листового металлического материала, например титана, На боковых гранях 2 формируют торцевые остроконечные про- . р фили 3 и 4. На торцевые остроконечные профили заготовки 2 боковых граней наносят металлическое покрытие 5, образующее с Ь материалом заготовок эвтектику. Затем пе- О ред сборкой удаляют с вершин профилей покрытие. Сборку корпуса проводят на оп-, 3 равке 6, зажимая заготовки между электродами 7 и 8. При этом устанавливают шунтирующие вставки 9 и 10, пропускают ток по образовавшейся цепи между электродами 7 и 8 в виде короткого импульса продолжительностью 2 - 3 с в защитной среде.При достижении температуры образования эвтектики, например, никель-титан, происходит оплавление боковых поверхно 1700640стей остроконечных профилей. Одновременно с разогревом на острие профиля действует приложенное к электродам давление.. В процессе сварки (через непокрытые участки) и осадки вытеснений на периферию расплав собирается в углублении фаски (фиг.З) или образует галтель (Фиг,4).Осаженный остроконечный профиль об;разует после сварки монолитное соедине ние со стенками корпуса.Предлагаемый способ сварки полностью сохраняет геометрию пластин и корпуса в целом за счет распределения , симметричных тепловых нагрузо одновременно по всем четырем швам. За счет сварки в местах со снятым покрытием и пайки эвтектикой на периферии сварного шва обеспечивается получение наиболее прочного и герметичного шва. Вследствие одновременной сварки 4-х швов и отсутствия ; необходимости механической обработки швов после сварки (отсутствуют наплывы на швах и на входе и на выходе электродов) значительно повышается производительность труда; технологический процесс может быть автоматизирован,Ф о р мул а изоб рете н и я 5 Способ изготовления корпусов гибридных интегральных схем, включающий изготовление заготовок граней корпуса йз листового металлического материала, нанесение на заготовки боковых граней металли ческого покрытия, образующего сматериалом заготовок эвтектику, сборку заготовок на оправке, нагрев и выдержку до соединения, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения герметичности и точно сти геометрических размеров корпуса, приизготовлении боковых граней корпуса торцевые поверхности граней Формируют с остроконечным профилем, после нанесения металлического покрытия с вершин остро конечного профиля снимают покрытие, а нагрев осуществляют одновременным пропусканием импульса электрического тока через все места соединений граней при одновременном прижатии граней в местах 25 соединений,Составитель С, МанякинРедактор Н, Лазоренко Техред М,Моргентал Корректор О, КундрикЗаказ 4472 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушскэя наб., 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101