Серянов

Номер патента: 1820831

Опубликовано: 10.03.1996

Авторы: Орлова, Серянов, Соколова

МПК: H05K 3/18, H05K 3/42

Метки: диэлектрической, металлизации, отверстий, подложке

...в растворе РсС 2, после финишной химической игальванической металлизации составляли0,016-0,03 Ом, что не отличается от результатов, обеспечиваемых технологией-прототипом и удовлетворяет техническимтребованиям (менее 0,5 Ом).Активация в растворе МС 12. Процесспроводится так же, как указано выше, но сцелью устранения расхода драгметалла РОиспользуется раствор Й 1 С 12 5 г/л ИС 2 4.5НгО, После лазерной прошивки с одновременной растворной активацией образуютсяконические отверстия со средним радиусомй = 117-148 мкм (фиг,З) при скорости осаждения= 11-12 мкмс и толщине активирующего слоя гт= 11 - 13,5 нм. Сопротивлениеактивированного никелем отверстия составляет 3,9 10 Ом. что отвечает обраэо 9ванию сплошной пленки узкозонногополупроводникового...

Номер патента: 1812646

Опубликовано: 30.04.1993

Авторы: Нестеренко, Серянов, Таушканов

МПК: H05K 3/22

Метки: гибридных, защитных, интегральных, лазерно-электрохимической, плат, покрытий, реставрации, схем

...можно оценить по величине коэффициента лазерного ускорения Ку злектрохимической реакции, представляющего собой отношение "лазерной" плотности тока осаждения металла к "темновой", Из хода кривой 1140 45 50 5 10 15 20 25 30 Ку-Е можно заключить, что наибольшая эффективность лазерного электроосаждения золота с использованием заявленного устройства наблюдается при потенциале Е= -0,89 В второго локального максимума КУ=151 кривой Ку-Е при скорости "лазерного" осаждения золота 12,12, мкм/мин и "темнового" осаждения золота 0,08 мкм/мин, (Первый локальный максимум Ку=195 на кривой 1 И отвечает режиму селективного осаждения золота. непригодному для реставрации ГИС из-за слишком малой скорости "лазерного" осаждения, составляющей 0,078...