Электродуговой испаритель металлов

(5)5 САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМУ СВ ЕЛЬ ТВ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(71) Институт электроники им. У.А.Арифоваи Специализированное конструкторско-технологическое бюро Института электроникиАН УЗССР(56) Авторское свидетельство СССРМ 461163, кл. С 23 С 13/06, 1972,Авторское свидетельство СССРМ 1096963, кл. С 23 С 15/00, 1982,(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ(57) Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может найти применение в машиностроении. Целью изобретенияявляется повышение качества покрытий засчет увеличения равномерности толщины.Устройство для нанесения покрытий состоит из расходуемого катода 1, анода, выполненного иэ двух электроизолированных секций 2, симметрично расположенных по обе стороны катода. двух экранов 3 и поджигающего электрода 6. Положительная клемма источника 4 постоянного тока подключена через токопереключатель 5 к каждой секции анода. Электродуговой испаритель работает следующим образом.При давлении в камере порядка 10 -10 Па включаются источники питания 4 и с помощью переключателя 5 токоподводов обеспечивается управление перемещением катодных пятен дугового разряда от одной секции анода к другой. Для предотвращения погасания дуги переключатель работает следующим образом: на первом этапе подключают обе секции анода к своему источнику, на втором - одну из них, на третьем - З снова обе, на четвертом - одну из них и т.д, В случае погасания одной иэ дуг срабатывает поджигающий электрод 6 и автоматически инициируется дуговой разряд. При а осаждении металла на движущуюся ленту 8 материал катода осаждается на ней, образуя равной толщины покрытие. 2 ил.Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий и может найти применение в машиностроении и станкоинструментальной промышленности,Целью изобретения является повышение качества покрытий за счет повышения равномерности толщины,На фиг.1 схематично представлена конструкция электродугового испарителя; на фиг,2 - вид по стрелке А на фиг.1,Электродуговой испаритель состоит из катода 1, съемная часть которого выполнена из испаряемого материала. Катодом может служить стержень, пластина или протяженный тигель с помещенным в него испаряемым материалом. Вдоль катода расположен анод, состоящий из двух электроизолированных секций 2, симметрично расположенных по обе стороны катода, Между катодом 1 и секциями 2 анода с двух сторон расположены электроизолированные экраны 3. Источники 4 постоянного тока отрицательным полюсом подключены к катоду 1 так, чтобы на его поверхности обеспечить поле одинакового потенциала, а положительным полюсом подключены через токопереключатель 5 к каждой секции анода. Поджиг дуги осуществляется с помощью поджигающего электрода б. который через токоограничивающее сопротивление 7 подключен к .положительному полюсу источника 4, Нанесение покрытия осуществляют на движущуюся перпендикулярно продольному катоду ленту 8, Отключение злектродугового испарителя осуществляется с помощью выключателя 9.Электродуговой испаритель металлов работает следующим образом.8 технологическй камере создается рабочее давление 10 -10 - Па. Включаются источники 4 питания дуги. При помощи поджигающего электрода 6 инициируется дуговой разряд между катодом 1 и каждой секцией 2 анода. Переключатель 5 токоподводов обеспечивает управление перемещением катодных пятен на катоде, принуждаяих перемещаться от одной секции анодов кдругой.5 Для предотвращения возможности погасания дуги переключатель 5 работает следующим образом. На первом этапеподключают обе секции анода к своему источнику 4 тока, на втором - одну из них, на10 третьем - снова обе, на четвертом - вторуюих них и т,д. 8 случае погасания одной из дугсрабатывает поджигающий электрод б иосуществляется автоматическое инициирование дугового разряда, При осаждении ме 15 талла на движущуюся ленту 8 материалрасходуемого катода осаждается на ней, образуя покрытие равной толщины,Переключение токоподвода к секцияманода обеспечивает повышение качества20 покрытий вследствие равномерного распределения катодных пятен в зазоре междусекциями анода, что соответственно обеспечивает равномерное истечение паровогопотока в пространство и равномерное его25 осаждение на движущейся подложке. Приосаждении материала катода на подложку,движущуюся перпендикулярно размещению продольного катода, образуя покрытиеравной толщины,З 0 Формула изобретенияЗлектродуговой испаритель металлов,содержащий расходуемый протяженный катод, аноды с токоподводами, размещенные.вдоль катода, экраны и поджигающий элекЗ 5 трод, отл ича ющи йс ятем,что, с цельюповышения качества покрытий, аноды выполнены в виде двух секций, каждая из которых размещена симметрично по обестороны катода, причем каждый анод снаб 40 жен источником питания и переключателемтокоподводов с возможностью последовательного попарного подключения секций кисточнику питания и последующего подключения каждой из них,1466264 ставитель В. Милославскред М.Моргентал едактор В. Трубченко .Тех Корректор М. Куль иэводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина Заказ 567 ВНИИПИ Госуд Тираж венного ко 113035, Мо Подписноеитета по изобретениям и открытиям при ГКНва, Ж, Раушская наб., 4/5