Способ изготовления тонких ферромагнитных пленок с прямоугольной петлей гистерезиса

Номер патента: 139029

Автор: Рабкин

ZIP архив

Текст

Класс 21 д, 31 в Ло 139029 Ссс р БРЕТЖИТЕЛЬСТВУ ПИСАНИЕ И МУ Н АВТО Лидппрна.ч грс 1 ппа,6 Л. И. Р ТОНКИХ ФЕРРОМАГНИТНЫХ НОЙ ПЕТЛЕЙ ГИСТЕРЕЗИСА СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИ ПЛЕНОК С ПРЯМОУГО Заявлено 6 сентября 960 т. за678в Комитет но лелам изобретений и открытий при Сове/26Анниетров Сс:С стенийЧ 6 Опубликовано н Бюллетене и Известны способы получения тонких ферромагнитных пленок с прямоугольной петлей гистерезиса, основанные на электролитическом или вакуумном осаждении металлов.Предлагаемый способ изготовления тонких ферромагнитных тонких пленок с прямоугольной петлей гистерезиса из сплавов железа, никеля и кобальта в отличие от известных основан на разложении паров карбонилов этих металлов на окись углерода и металл при соприкосновении паров карбонилов с горячей подложкой, на которой производится осаждение Для получения магнитной структуры пленки неферромагнигную камеру, в которой производится разложение паров карбонилов. псмещают в магнитное поле.На чертеже показана схема установки для осуществления описываемого способа.Установка состоит из основания 1, стеклянного колпака 2, двух электроплиток 3 и 4 и катушки Гельмгольца 5. Основание 1 снабжен т патрубком б для откачки воздуха из-под колпака 2.Для изготовления ферромагнитной пленки смесь карбонилов, например железа и н неля, наливается в сосуд 7, который помещается нэ электроплитку 3. На электроплитку 4 помещается подложка для осаждения ферромагнитной пленки, например пластинка или лента из стекла или высокотемпературной пластмассы. Затем надевается колпак 2 и с помощью вакуумного насоса из рабочего пространства камеры откачпвается воздух, С помощью катушки Гельмгольца 5 в камере создается однородное магнитное поле, направленное вдоль поверхности подложки 8, С помощью электроплитки 8 смесь карбонилов в сосуде 7 нагревается до получения давления паров карбонилов, близкого к атмосферному. С помощью плитки 4 подложка 8 нагревается до нужной температуры.139029При соприкосновении с горячей подложкой пары карбонилов разлагаются на металл и окись углерода. Количество смеси карбонилов, температура их нагрева, а также температура подложки 8 выбираются та. ким образом, чтобы получался однородный слой пленки заданной толщины - от 200 до 2000 ангстрем. Напряженность магнитного поля выбирается в пределах от 10 до 100 эрстед.Получаемые описанным способом ферромагнитные пленки имеют прямоугольную петлю гистерезиса и коэрцетивную силу в пределах 5 - 25 эрстед. Для снижения коэрцетивной силы до 5 - 10 эрстед пленку следует подвергнуть обжигу в магнитном поле при темперагуре 300 - 600 в атмосфере водорода или другого защитного газа.Описанный способ прост, технологичен, обеспечивает получение пленок заданного состава и с успехом может быть применен особенно в тех случаях, когда требуется получить ферромагнитную пленку на поверхности сложной конфигурации.Предмет изобретенияСпособ изготовления тонких ферромагнитных пленок с прямоуголь. ной петлей гистерезиса из сплавов железа, никеля, кобальта, от л и ч а - ;о щи йс я тем, что, с целью упрощения технологии и обеспечения по лучения пленок заданного состава, смесь карбонилов железа, никеля, кобальта нагревают в замкнутой неферромагнитной камере, полученные пары при соприкосновении с горячен подложкой разлагают на окис углерода и сплав железа, никеля, кобальта, который осаждают на го рячей подложке в виде тонкой пленки, и магнитную структуру пленки получают, помещая камеру в магнитном поле.формат бум. 70(108/г,Тираж 1200ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытийпри Совете Министров СССРМосква, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6 11 очп. к пец. 191 Х.61 г Лик. 9353 ТипографияБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Ггтрвка, 14.

Смотреть

Заявка

678294, 05.09.1960

Рабкин Л. И

МПК / Метки

МПК: C23C 16/16

Метки: гистерезиса, петлей, пленок, прямоугольной, тонких, ферромагнитных

Опубликовано: 01.01.1961

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-139029-sposob-izgotovleniya-tonkikh-ferromagnitnykh-plenok-s-pryamougolnojj-petlejj-gisterezisa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления тонких ферромагнитных пленок с прямоугольной петлей гистерезиса</a>

Похожие патенты