Устройство для перемещения полупроводниковых пластин
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1352675
Авторы: Березников, Лобиков, Масленников, Ращинский, Федорин
Текст
(5 ц 4 Н 05 К 1 ВСРюцмта САНИЕ ИЗОБРЕТ ОТЕКА ДЕТЕЛЬСТ РСКОМ моугольными о расположены Г имеющие на ра ориентирующие в них ППП 14. жата пружиной зубчатую пару.ныи упор 10 н Г-образная гу ной 12, образ лость для под рез штуцер 13 тую конструкц плуатационные ф-лы, 3 ил. зможности. 1 з.п азР ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН(57) Изобретение относится к областирадиотехники. Устройство для перемещения полупроводниковых пластин (ППП)содержит корпус 1 с направляющими пря. верстиями, в который образные губки 2, 3, очей части У-образные канавки для размещения Г-образная губка 2 под, усилие которой через воспринимает эластичкрьппке 11 корпуса 1. ка 3 связана с мембраующей с крышкой 11 почи сжатого воздуха чеУстройство имеет просию и расширенные экс1 13526Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано длябездефектной перекладки полупроводниковых пластин с помощью манипулятора.5Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей и упрощение конструкции.На фиг. 1 показано устройство,общий вид; на фиг. 2 - то же, видсверху; на фиг. 3 - сечение А-А нафиг. 1,Устройство содержит корпус 1 с направляющими прямоугольными отверстия".ми, в которых размещены подвижныеГ-образные губки 2, З,имеющие на рабочей части, выполненной из фторопласта, Ч-образные канавки 4. Губки 2 и 3 снабжены рейками 5 и 6, расположенными на направляющей части гу Обок, и связаны между собой зубчатымколесом 7, установленным на оси 8,Губка поджата пружиной 9, усилие которойчерез зубчатую пару воспринимает эластичный упор 10 на крышке 11 2корпуса 1, Губка 3 связана с мембраной 12, образующей с крышкой 11 корпуса 1 полость для подачи сжатоговоздуха через штуцер 13. Пластина 14опирается на Ч-образные канавки 4выполненные в нижней части поддержи.вающего элемента 15, закрепленногона корпусе 1.Устройство работает следующим образом,Устройство должно быть установлено на манипулятор. В устройствоподается сжатый воздух через штуцер13, подвижные губки 2 и 3 раздвигаются, преодолевая усилие пружины 9.40Устройство опускается, поддерживающий элемент 15 вводится в кассету таким образом, чтобы пластина 14 оказалась над Ч-образной канавкой поддерживающего элемента 15, Устройство4поднимается, пластика 14, опирающаяся на дно канавки 4 губки 15, выводится из кассеты до уровня, когда 75 2нижний край губок 2 и 3 оказется над поверхностью кассеты.Сжатый воздух удаляется из устройства через штуцер 13, губки 2 и 3 сближаются, охватывая пластину Ч-образными канавками 4, Между пластиной 14 и губками 2 и 3 остается гарантированный зазор, так как ход губок 2 и 3 под воздействием пружины 9 ограничивается эластичным упором 10. Устройство поднимается, пластина 14 перемещается в лодочку и укладывается в гнезда в порядке, обратном описанному,Формула изобретения1. Устройство для перемещения полупроводниковых пластин, содержащее корпус, подвижно установленные в нем губки для захвата пластин, причем губки выполнены с зубчатыми рейками на направляющих частях и кинематически связаны между собой зубчатым колесом, и приводной механизм, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, оно снабжено подцерживающим элементом, размещенным между губками и неподвижно закрепленным на корпусе, причем губки. выполнены Г-образными, а на рабочих поверхностях губок и поддерживающего элемента выполнены Ч-образные ориентирующие канавки,2. Устройство по п.1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции, приводной механизм выполнен пневматическим, с мембраной, возвратной пружиной и эластичным упором, причем возвратная пружина соединена с одной из .губок, эластичный упор установлен с возможностью взаимодействия с другой губкой, а мембрана размещена в корпусе между эластичным упором и второй губкой.Госу елам Москв ак 799 Подписноеарственного комитета СССРзобретений и открытийЖ, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
4039151, 17.01.1986
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8495
РАЩИНСКИЙ ВЛАДИМИР ПЕТРОВИЧ, ФЕДОРИН НИКОЛАЙ ГЕННАДЬЕВИЧ, ЛОБИКОВ ЛЕОНИД ВЛАДИМИРОВИЧ, БЕРЕЗНИКОВ ГЕННАДИЙ ИВАНОВИЧ, МАСЛЕННИКОВ СЕРГЕЙ ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H05K 13/02
Метки: перемещения, пластин, полупроводниковых
Опубликовано: 15.11.1987
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1352675-ustrojjstvo-dlya-peremeshheniya-poluprovodnikovykh-plastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для перемещения полупроводниковых пластин</a>
Устройство для продольного перемещения грузов внутри полых корпусов
Номер патента: 1376482
Опубликовано: 30.03.1994
Авторы: Гамаюн, Никитин, Сидоркин, Тумашев
МПК: B62D 57/02, B66F 3/24
Метки: внутри, грузов, корпусов, перемещения, полых, продольного
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОДОЛЬНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ГРУЗОВ ВНУТРИ ПОЛЫХ КОРПУСОВ , содеpжащее паpаллельно установленные одно под дpугим основания, соединенные между собой пpиводом пpодольного шагового пеpемещения и снабженные выдвижными механизмами фиксации для попеpеменного блокиpования каждого основания относительно внутpенней стенки коpпуса, отличающееся тем, что, с целью pасшиpения функциональных возможностей путем обеспечения его pаботы на внутpенних повеpхностях сложной фоpмы, оно снабжено повоpотными платфоpмами, установленными на основаниях, и механизмами повоpота платфоpм относительно оснований, а механизмы фиксации pадиально закpеплены на платфоpмах.
Станок двусторонней химико-механической полировки полупроводниковых пластин
Номер патента: 485858
Опубликовано: 30.09.1975
Автор: Ситников
МПК: B24B 37/04
Метки: двусторонней, пластин, полировки, полупроводниковых, станок, химико-механической
...упорные выступы 6 для удержания пластин.Станок работает следующим образом.Полупроводниковые пластины подаются спомощью транспортирующей ленты 4 ь зонуобработки, где онп подвергаются воздействиюсуспензии, подаваемой через шпиндели 1 нлабиринтные канавки инструментов 2, Шпиндели вращаются в противоположные сторонысо скоростью 10 - 12 тысяч оборотов в мин.Благодаря тому, что давление суспензии, подаваемой через нижний шпиндель, выше давления суспензии, подаваемой сверху, полупроводниковая пластина находится во взвешенном состоянии на определенном расстоянииот поверхности инструментов, Лабиринтныеканавки в инструментах разделяют струю суспензии на несколько потоков, направляемыхчерез отверстия в поверхности инструментов,О что позволяет...
Способ утонения пластин с кристаллами полупроводниковых приборов и интегральных схем
Номер патента: 1787295
Опубликовано: 07.01.1993
Авторы: Дереченик, Кононов, Олтушец, Пеньков, Полонин, Яцук
МПК: H01L 21/304
Метки: интегральных, кристаллами, пластин, полупроводниковых, приборов, схем, утонения
...стороны пластины с плоскостью держателя, Кроме того, нанесение защитного покрытия на планарную сторону пластины не улучшает ее геометрию в части прогиба и клина по отношению к держателю, на котором пластина крепится для проведения механического утонения. Поэтому в процессе закрепления ее на держателе происходит механическая деформация пластины с изме-. нением исходных геометрических параметров, это приводит к нарушению металлизации и соответственно к снижению выхода годных на операции "функ 1 ионирование".Целью изобретения является повышение выхода годных за счет исключения разрушения пластины и кристаллов.Цель достигается тем, что по способу водниковых приборов и интегральных схем, включающему нанесение высокомолекулярного соединения...
Соединение двух частей и-образного элемента между собою
Номер патента: 14033
Опубликовано: 31.03.1930
Автор: Липский
Метки: двух, и-образного, между, собою, соединение, частей, элемента
...экономайзера,тяжкою люковых дл ейПредлагаемое изобретение касается устройства для соединения двух частей 0-образного элемента экономайзера между., собою с применением для этой цели клиновых задвижек,На чертеже фиг. 1 - 5 изображают различные формы выполнения устройства для соединения двух частей Ы-образного элемента между собою, в разрезе; стрелками показан путь прохождения воды по трубам.- фиг. 1 представляет соединение нижних концов труб 2, 2 О-образного элемента экономайзера. Приливы 10 и 11 соединены своими фланцами 5 помощью затяжных частей б и 7, заделанных в тело клиновых задвижек 3, 3, При затяжке гайки 8 одновременно уплотняются ка.к фланцы 5, так и люковые отверстия 9; последние уплотняются помощью крышек 4 и прокладок...
Способ совмещения рисунка фотошаблона с рисунком полупроводниковой пластины
Номер патента: 398067
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Герхарт, Иностранцы, Пауль
МПК: H01L 21/027
Метки: пластины, полупроводниковой, рисунка, рисунком, совмещения, фотошаблона
...и полупроводниковой пластиной 5 образуется зазор, равный высоте базового выступа эталона.На фиг. 1 представлено устройство длясовмещения,и экспонирования, общий вид; на фиг. 2 - устройство для совмещения, реали О зующее предложенный способ; ца фиг. 3, 4показано положение элементов устройства для совмещения вмомецты установки полупроводниковой пластины по эталону и установки в рабочем положении фотошаблона.15 Параллельность между полупроводццковой пластиной 1 и фотошаблоном 2 обеспечивается юст 11 ровкой пластины Относительно эталона 3. После поджима пластины к э.ало ну ее закрепляют в этом положении, смещают 20 эталон, а а его место устанавливают фотошаблон. При этом фотошаслсн устанавливается параллельно над цолуцровод 1 гцковой...
Предыдущий патент: Устройство для поштучной подачи плоских преимущественно электропроводных деталей
Следующий патент: Устройство для автоматической сварки
Случайный патент: Чугун