Патенты с меткой «многозондовая»

Номер патента: 545018

Опубликовано: 30.01.1977

Автор: Калнач

МПК: H01L 21/66

Метки: головка, измерительная, многозондовая

...точность измерений.Целью изобретения является уменьшение толщины измерительной головки,Эта цель достигается тем, что зонды подпружцнены фигурными гнутыми пружинамии расположены друг над другом, причем содной стороны онц размещены на перемещае 5 мой планке,На чертеже схематически показана предлагаемая головка. В основании головки 1 установлен изолятор 2 с отверстиями для зондов.Зонды 3, представляющие собой заостренные10 проволоки, подпружинены фигурными гнутыМи пружинами 4, которые электрически изолированы между собой ц от основания 1 изолирующими прокладками ц скреплены скобой 5. Правая часть головки подобна левой,15 за исключением того, что зонды с пружинамиустановлены на передвижной планке б, которую можно перемещать вдоль...