Многозондовая измерительная головка

Номер патента: 545018

Автор: Калнач

ZIP архив

Текст

ВСЕСОЮЗНАЯт тЕт г 01 и Гт,1библиотека МБА ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУц 11 54508 Сава Советских Социалистических Республик(5 осударственный комитет овета Министров СССР 21.382. (088.8 53) делам изобретении и открытий исания 14.03.77 та опубликованияА. А. Калначий ордена Трудового Красного Знамени политехническийинститут ения Ри цтел(54) МНОГОЗОНДОВАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ГОЛОВКА Изобретение может оыть использовано для измерения электрических параметров образцов, например полупроводниковых, в магнитном поле.Известны зондовые головки в которых зонды выполнены в виде упругих разжимных лепестков, расположенных по обеим сторонам измеряемых изделий 11.Известны многозондовые головки для измерения электрических параметров образцов в магнитном поле с зондами в виде заостренных проволок с цилиндрическими пружинами для прижима зондов к образцу 121.Однако такие головки имеют тот недостаток, что наличие цилиндрических пружин не позволяет изготовить головку, толщина которой (размер в направлении магнитного поляе. в направлении, перпендикулярном к полюсам магнита) была бы минимальной, Это необходимо для того, чтобы зазор между полюсами магнита можно было бы установить минимальными ц тем самым получить максимальную напряженность магнитного поля. Кроме того, в известных зондовых головках зонды не могут перемещаться вдоль образца, что не позволяет выставлять противоположные зонды на эквипотенциальные линии и уменьшает точность измерений.Целью изобретения является уменьшение толщины измерительной головки,Эта цель достигается тем, что зонды подпружцнены фигурными гнутыми пружинамии расположены друг над другом, причем содной стороны онц размещены на перемещае 5 мой планке,На чертеже схематически показана предлагаемая головка. В основании головки 1 установлен изолятор 2 с отверстиями для зондов.Зонды 3, представляющие собой заостренные10 проволоки, подпружинены фигурными гнутыМи пружинами 4, которые электрически изолированы между собой ц от основания 1 изолирующими прокладками ц скреплены скобой 5. Правая часть головки подобна левой,15 за исключением того, что зонды с пружинамиустановлены на передвижной планке б, которую можно перемещать вдоль образца 7 с помощью винта 8, Верхний токовый контакт 9прикреплен к изолятору 10 на планке 11,20 подпружиненной пружиной 12. Тонкце изолированные провода, которые присоединены кзондам 3 ц к контакту 9 не показаны.Тонкая часть измерительной головки помещается между полюсамц магнита непосредст 25 венно цлц будучи помещенной в сосуд с охлаждающей цлц подогревающей жидкостью.Выставление зондов на эквипотенццальныелинии производится вращением винта 8 содновременным слежением за показаниями30 измерительного прибора.545018 Формула изобретения Составитель Н. Островская едактор Н. Коляда Техред А. Камышникова Корректор В. Доказ 20926ЦИИИПИ Подписноов СССР Тирана 1019овета Миниоткрытийая наб., д. 4 Изд.166Государственного комитетапо делам изобретений и 13035, Москва, К, Раушс биография, пр. Сапунова,Многозондовая измерительная головка с прижимными зондами для измерения электрических параметров образцов в магнитном поле, отличающая ся тем, что, с целью уменьшения ее толщины зонды подпруяинены фигурными гнутыми пружинами и расположены друг над другом, причем с одной стороны они размещены на перемещаемой планке. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Патент США3405361, кл. 324 в 1,1966.5 2. Гаваленко М. П. Самопишущая установка для измерения гальвано- и термомагнитных эффектов в полупроводниках как функции температуры и магнитного поля. Украинский физический журнал, 1964, т. 9,2, 10 с. 150 (прототип).

Смотреть

Заявка

1613838, 25.01.1971

РИЖСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

КАЛНАЧ АЙЯ АНТОНОВНА

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: головка, измерительная, многозондовая

Опубликовано: 30.01.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-545018-mnogozondovaya-izmeritelnaya-golovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Многозондовая измерительная головка</a>

Похожие патенты