Способ травления монокристаллов метаниобата лития

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских.Социалистическик Республик(11 М. К 3 С 30 В 33/00 С 30 В 29/30 с йрисоединением заявки Йф(23) Приоритет -Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(088. 8) Опубликовано 2101,83,Бюллетень йо 3 Дата опубликования описания 23.01. 83 Н.Ф. Евланова(72) Автор .изобретения дМосковский ордена Ленина, ордена Октябрьской, Революциии ордена Трудового Красного Знамени государственныйуниверситет им. М.В. Ломоносова(54) СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ МЕТАНИОБАТА ЛИТИЯ Изобретение относится к области выявления внутренней доменной и дис-, локационной структуры кристаллов метаниобата лития .и может быть использовано при изготовлении материалов для квантовой электроники.Известен способ травления кристаллов ниобата лития в смеси 2 ч. 30-ной перекиси водорода и 1 ч. гидроокиси натрия при 50 фС (1.Недостатком этого способа является нечеткая, картина травления.Известен также способ травления ниобата лития в расплаве гидроокиси калия при 400 С (1).К недостаткам ртого способа также можно отнести не очень четкую картину травления. Кроме того, будучи высокотемпературным, этот способ не может применяться к крупным около 5 мл) кристаллам из-за возникновения разрушакзцих термических напряжений,Наиболее близким к изобретению является способ травления кристаллов метаниобата лития в смеси 1 об,ч. плавиковой кислоты и 2.об. ч. азотной кислоты при температуре кипения. ,смеси. Этот способ. дает четкую картину травления (1). Однако вследствие достаточно высокой температуры процесса этот способтакже, неприменим к крупным кристаллам. Осуществление .известного способа требует использования тиглей изплатины или иридия,Целью изобретения является травление крупных кристаллов и исключениевозникновения термических напряжений.Поставленная цель достигается способом травления монокристаллов метаниобата лития в смеси плавиковой иазотной кислот, при этом процесс ве"дут в смеси, содержащей 1 об.ч. пла;15 виковой и 3,2-4 об.ч. азотной кислотпри комнатной температуре в течение18-20 ч.Травление в течение времени менее18 ч дает менее четкую картину травления, а при травлении более 20 ччеткость картины травления также падает из-за появления вуалирующегослоя. П р и м е р 1. Образецс полированными поверхностями размером5 х 5 х 2 мм погружают в травнтель состава 1 об.ч. НР н 3,2 об.ч. ННОпри комнатной температуре на 18 ч. З 0 По окончании процесса образец про- Составитель А. Коломийцев .Редактор Н. Рогулич ТехредЙ.Гергель Корректор М. Шароши Р Заказ 67/41 Тираж 368 Подпи сиое ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП Патентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ьювают дистиллированной водой и осушают фильтровальной бумагой.В результате травления достаточно четко выявляется доменная структура образца.П р и м е р 2. Образец с полиро ванными поверхностями размером 5 х 5 х х 2 мм погружают в травитель состава 1 об.ч. НГ н 3,5 об. ч. НВО при ком" натной температуре на 20 ч. По окон" чанни процесса образец промывают дистиллированной водой и осушают фнльтровальной бумагой. В результате травления четко выявляется домен-, ная структура образца.П р и м е р 3, Образец с полированными поверхностями погружают в травитель состава 1 об.ч. НР и 4,0 об.ч. НИО при комнатной температуре на 19 ч. По окончании процесса образец промывают дистиллированной водой и осушают фильтровальной бумагой. В результате травления доменная структура образца выявляется нечетко, особенно на поверхностях Х и У"среза.Преимущества предлагаемого способа химического травления монокристал лов метаниобата лития заключается в том, что возникает возможность травления больших монокристаллов, разме-ром более 2 х 5 х 5 мм (кристаллы не растрескиваются при травлении), а также отпадает необходимость употребления дорогостоящих неактивных температуроустойчивых материалов, такихкак платина, иридий. Травление можнопроводить в сосудах из пластмассы,Способ травления монокристалловметаниобата лития в смеси плавиковойи азотной кислот, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью обеспечения травления крупных кристаллови исключения возникновения термических напряжений, процесс ведут в смеси,содержащей 1 об. ч. плавиковой и 3,24 об.ч. азотной кислоты, при комнатной температуре в течение 18-20 ч.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Уавваи К. а 1 а 11 Реггое 1 ес 1 г 1 с ИСЬ 1 ип Ь 1 оЬае.1. СгоюйЬйова 1 п эгисиге, 61 в 1 оса 1 опз апдеСсЫпд в 3 РЬуз. СЬев. Бо 11 йз,1966, 27, 9 6/7(прототип)