Елункина

Номер патента: 980311

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Елункина, Иванов, Левин, Лобов, Синчук, Соболева

МПК: B01D 3/42

Метки: процессом, ректификации, хлорсиланов

Способ управления процессом ректификации хлорсиланов путем измерения разности температур абгазов на выходе и охлаждающей воды на входе конденсатора, регулирования расхода охлаждающей воды в конденсаторе в зависимости от его нагрузки по конденсируемым продуктам, регулирования расхода абгазов, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода готового продукта высокого качества за счет повышения точности регулирования, расход охлаждающей воды корректируют по ее температуре на входе конденсатора и по разности температур абгазов и охлаждающей воды, а расходы абгазов и инертного газа, дополнительно вводимого в колонну, регулируют в зависимости от давления в колонне.

Номер патента: 1067642

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Владимирский, Елункина, Иванов, Капралова, Лобов, Синчук, Соболева

МПК: B01D 5/00, G05D 27/00

Метки: водорода, парогазовой, процессом, регенерации, смеси

Способ управления процессом регенерации водорода из парогазовой смеси в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода хладагента в зависимости от температуры парогазовой смеси на выходе вымораживателя, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода регенерированного водорода, дополнительно измеряют рН раствора в смесителе, по величине которого определяют общую концентрацию хлористого водорода в смеси, определяют по температуре смеси, измеряемой на выходе вымораживателя, концентрацию хлористого водорода, соответствующую состоянию насыщения при данной температуре, по разности указанных концентраций...

Номер патента: 1464638

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Елункина, Иванов, Капралова, Лобов, Синчук, Соболева, Тимощенко, Шепель

МПК: F25J 3/08, G05D 27/00

Метки: водорода, непрерывной, парогазовой, процессом, регенерации, смеси

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и распределении общего потока хладагента регенерированного водорода перед вводом его в очередной теплообменный аппарат на два потока, один из которых пропускают через теплообменник, а другой направляют по обводному каналу в зависимости от температуры конденсации компонентов регенерируемой парогазовой смеси, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени очистки регенерированного водорода, в поток регенерированного водорода, пропускаемого через теплообменник при температуре окружающей среды дополнительно вводят высокочистый водород,...

Номер патента: 702565

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Бронштейн, Елункина, Иванов, Лобов, Синчук, Соболева

МПК: B01D 3/42, G01M 3/04

Метки: аппарата, герметичности, процессе, ректификации, теплообменного, хлорсиланов

Способ контроля герметичности теплообменного аппарата в процессе ректификации хлорсиланов путем измерения технологического параметра на входе и выходе аппарата, в который подают охлаждающий агент, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь готового продукта и предотвращения загрязнения его примесями, измеряют рН охлаждающего агента на входе и выходе теплообменного аппарата, по разности значений рН определяют изменение кислотности охлаждающего агента, по величине которой судят о степени герметичности аппарата.

Номер патента: 1153492

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Гуржий, Дюнов, Елункина, Иванов, Капралова, Лобов, Резниченко, Соболева

МПК: C01B 33/04

Метки: выделения, дихлорсилана, парогазовой, смеси

1. Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси производства полупроводникового кремния путем двухступенчатой низкотемпературной конденсации хлорсиланов при температуре на первой ступени -65 oC -70oC с выводом целевого продукта с второй ступени, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения дихлорсилана в конденсируемый продукт и повышения в нем концентрации дихлорсилана, парогазовую смесь предварительно барботируют через смесь жидких хлорсиланов, состав которой соответствует соотношению хлорсиланов в исходной парогазовой смеси, причем температуру на второй ступени поддерживают равной -75,5 oC -115oC.2. Способ по п.1,...

Номер патента: 1137860

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Волынский, Гуржий, Дюнов, Елункина, Зотов, Иванов, Казакевич, Красовицкий, Лобов, Резниченко, Синчук, Татаринов

МПК: F25J 3/08, G05D 27/00

Метки: водорода, водородного, восстановления, кремния, непрерывной, отходящей, парогазовой, печей, полупроводникового, производстве, процессом, регенерации, смеси

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода исходного хладагента, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода регенерированного водорода, увеличения извлечения трихлорсилана в основной конденсируемый продукт и уменьшения энергозатрат, испаренный азот, выходящий из теплообменника-вымораживателя и направляемый последовательно по теплообменникам процесса регенерации навстречу парогазовой смеси, перед вводом его в очередной теплообменник распределяют в зависимости...

Номер патента: 803162

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Бронштейн, Елункина, Иванов, Лобов, Полохина, Синчук, Соболева

МПК: B01D 3/42

Метки: процессом, ректификации, хлорсиланов

Способ автоматического управления процессом ректификации хлорсиланов путем регулирования расхода охлаждающей воды в конденсаторе в зависимости от его нагрузки по конденсируемым продуктам и регулирования расхода абгазов, выходящих из конденсатора, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь хлорсиланов с абгазами, выходящими из конденсатора, за счет точности регулирования, расход абгазов регулируют в зависимости от отношения парциального давления конденсируемого компонента к давлению абгазов на выходе из конденсатора, а заданное значение указанного отношения корректируют по температуре охлаждающей воды, подаваемой в конденсатор.

Номер патента: 729882

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Бронштейн, Елункина, Левин, Лобов, Сивошинская, Синчук, Соболева

МПК: B01D 3/42

Метки: процессом, ректификации

Способ управления процессом ректификации в процессах очистки хлорсиланов путем регулирования расхода охлаждающей воды в дефлегматоре в зависимости от суммарного расхода флегмы и дистиллята, удаления абгазов из дефлегматора и отбора их в смеситель, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь хлорсиланов за счет повышения точности регулирования, расход удаляемых из дефлегматора абгазов изменяют в зависимости от величины разности значений рН, измеряемых на входе воды в смеситель и в смесителе, и корректируют расход охлаждающей воды по расходу абгазов, удаляемых из дефлегматора, при этом расходы абгазов и воды, подаваемых в смеситель, поддерживают постоянными.

Номер патента: 1018673

Опубликовано: 23.05.1983

Авторы: Елункина, Иванов, Лобов, Резниченко, Синчук, Соболева

МПК: B01D 5/00

Метки: конденсации, кремния, процессом, хлоридов

...компонентов системыв различных агрегатных состояниях(например, жидкость-газ), посколькУ 45учесть количество растворенных инерастворениых в жидкости газообраз.ных веществ весьма, затруднительно,что приводит к снижению извлеченияценных компонентов. 56.Целью изобретения является поВЫшение извлечения трихлорсилана вконденсируеьий продукт и предотвращение попадания полихлоридов в аппарат последующих ступеней эа счетповьанения точности регулирования.Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу управления процессом конденсации хлоридовкремния, заключающемся в ступенчатом ниэкотемпературном охлаждении60парогазовой смеси (ПГС) и регулировании расхода,хладаГента в конденсаторе н зависимости от составапарогазовой смеси на входе...

Номер патента: 351918

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Адлер, Государственный, Елункина, Лобов, Любимов, Проектный, Синчук, Скитин

МПК: C22B 59/00

Метки: 351918

...исчезновения сигнала разбаланса. УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРА Изобретение можно использовать в цветной металлургии, а именно для управления процессом регенерации комплексона при экстракции редкоземельных элементов для поддержания заданной кислотности раствора 5 путем регулирования расхода кислоты.Известно устройство для управления расходом кислоты, включающее датчик рН, преобразователь сигналов датчика, записывающий прибор величины рН, исполнительный 10 механизм и трубопровод для подачи кислоты. Недостатком такого устройства является неточность поддержания кислотности раствора ввиду флуктуации скорости потока кислоты в условиях специфики протекания про цесса регенерации комплексона. Цель изобретения - повышение точности регулирования кислотности...