Способ контроля процессов травления покрытий
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 905619
Авторы: Бизюков, Ивановский, Маишев, Микулин, Фареник
Текст
О П И С А Н И Е ,1,905619ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик 61) Дополнительное к авт. свид-ву -22) Заявлено 27.11.79 (21) 284490918-28с присоединением заявки-23) Приоритет -151) М Кл а 6 01 В 7/06 Государственный ком ятет 53) УДК 621.317. .39:53 .7171088.8) Опубликовано5.02.82. Бюллетень6Дата опубликования описания 25.02.82 ло делам нзобретеннй н открытийА. А. Бизюков, В. И. Фареник, Ю. П. Маишев, А. Й.Микли 1 т-=" - , и Г. Ф. Ивановский 72) Авторы изобретения Харьковский государственный университет им," А. М, Горького(71) Заявитель 54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССОВ ТРАВЛЕНИЯ ПОКРЫТИ" 1/21(Ь=-- ,)4 Кпе 1Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля процессов травления покрытий веществами в плазменной фазе.Известен способ контроля. процессов травления покрытий, заключающийся в том, что 5 металлопокрытие подвергают электролитическому растворению, окончание которого фиксируют по сигналу электролитического взаимодействия с основной, используя в качестве сигнала магнитные шумы Баркгаузена 1.Недостатки этого способа состоят в наличии зависимости показаний измерений от температуры, а также в том, что собственные шумы устройств травления затрудняют выделение шумов Баркгаузена. 15Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ контроля процессов травления покрытий, заключающийся в том, что производят определение параметров, характеризующих взаимодействие травяшего вещества с контролируемой поверхностью 2.Недостатком указанного способа является влияние примесей в стравливаемом слое на точность контроля. 2Цель изобретения - повышение точности контроля.Эта цель достигается тем, что устанавливают одиночный ленгмюровский зонд по отношению к контролируемой поверхности на расстоянии где Ь - величина дебаевского слоя;Т - температура электронов;е - заряд электронов;и - плотность электронов, и осуществляют контроль по изменению тока насыщения зонда, соответствующему изменению химического состава покрытий.На фиг. 1 представлена структурная схема устройства, реализующего способ; на фиг. 2 - график изменения тока насыщения зонда в процессе травления.Устройство содержит вакуумную камеру 1, ленгмюровский зонд 2, источник 3 ионов миллиамперметр 4, источник 5 питания, контролируемый образец 6.Устройство работает следующим образом.905619 Форлу,го изобретения фиг.1 Р,2 Л агнии Составитель Н. БирюковаТехред А Бойкас Корректор А. ФеренцТираж 613 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патент, г Ужгород, ул. Г 1 роектная, 4 В вакуумную камеру 1 помещают контролируемый образец 6. От источника 3 ионов на контролируемую поверхность образца 6 направляют пучек ионов, производящих травление покрытий. На расстоянии т от контролируемого образца 6 устанавливают одиночный ленгмюровский зонд 2. На зонд 2 от источника 5 питания подают положительный потенциал. При стравливании очередного слоя покрытис или полного стравливания покрытия ток зонда 2 измсняется скачкообразно (фиг. 2).Предлагаемое изобрстение дает возможность осуществлять локальный кони роль травления контролируемой поверхности, и также производить контроль травлснпя многослойных покрытий Способ контроля процессов травления покрытий, заключающийся в том, что производят определение параметров, характеризую 1 цих взаимодействис травящего вещества с контролируемой поверхностью, от,гичающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, устанавливают одиночный ленгмюровский зонд по отношению к контролируемой поверхности на расстоянии)в1)1 - (-= -- )4 Кпе 2 где Ь - величина дебаевского слоя;Т температура электронов;1 С е - заряд электронов;и плотность электронов, и осуществляют контроль по изменению тока насыщения зонда, соответствующемуизменению химического состава по крытий.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе. Авторское свидетельство СССРМ 563556, кл. сд 01 В 706, 1977.2. Авторское свидетельство СССР 2 О,хв 430276, кл. сз 01 В 706, 1974 (прототип).
СмотретьЗаявка
2844909, 27.11.1979
ХАРЬКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. А. М. ГОРЬКОГО
БИЗЮКОВ АЛЕКСАНДР АНАТОЛЬЕВИЧ, ФАРЕНИК ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ, МАИШЕВ ЮРИЙ ПЕТРОВИЧ, МИКУЛИН АЛЕКСАНДР ИВАНОВИЧ, ИВАНОВСКИЙ ГЕННАДИЙ ФОМИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 7/06
Метки: покрытий, процессов, травления
Опубликовано: 15.02.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-905619-sposob-kontrolya-processov-travleniya-pokrytijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля процессов травления покрытий</a>
Способ контроля толщины электропроводных покрытий в процессе их напыления и устройство для его осуществления
Номер патента: 1682762
Опубликовано: 07.10.1991
Автор: Можаев
МПК: G01B 7/06
Метки: напыления, покрытий, процессе, толщины, электропроводных
...электрических методов контроля толщины покрытий.Цель изобретения - расширение диапазона контролируемых толщин и повышение точности измерения толщины электропроводного покрытия в процессе напыления за счет дискретизации процесса контроля,На чертеже приведена блок-схема устройства, реализующего способ.Устройство содержит датчик 1, измеритель 2 сопротивления, пороговый спок 3, блок 4 формирования высоковольтного импульса и счетчик 5. С помощью этого устройства способ был реализован на установке магнетронного распыления ВЭУ - 120, Распыляясь медная мишень, установленная на плоском магнетроне. Напыление проводилось на изделие и датчик, находящиеся на расстоянии 200 мм от мишени.Устройство работает следующим образом.Датчик 1...
Способ измерения толщины электропроводных покрытий в процессе нанесения
Номер патента: 896381
Опубликовано: 07.01.1982
Авторы: Ермолаев, Кудряшов, Лернер
МПК: G01B 7/06
Метки: нанесения, покрытий, процессе, толщины, электропроводных
...цель достигается тем, что на неактивный участок иэделия наносят измеряемое покрытие и нагревают его пропусканием стабилизированного электрического тока.На чертеже изображен эскиз устройства, посредством которого на изделие наносят измеряемое покрытие.В качестве изделия 1 используют электроакустический резонатор, включенный в схему автогенератора (не показан) посредством электродов 2. Измеряемое покрытие 3 наносят на неактивный, с точки зрения колебательного режима, участок резонатора и одновременно нагревают его пропуска896381 Формула изобретения ююрюяюру Х истоминуглюйяанмй мгоаюрхююве Составитель А.Духанин актор А.Шишкина Техред А, Бабинец Корректор А,Дзяткоираж 613 Подписноеударственного комитета СССРизобретений и открытийсква, Ж,...
Раствор для травления покрытий из нитридов и карбонитридов титана
Номер патента: 1470811
Опубликовано: 07.04.1989
Авторы: Михель, Нечкина, Рубцов, Рябов, Шкурко
МПК: C23F 1/30
Метки: карбонитридов, нитридов, покрытий, раствор, титана, травления
...растравливанию хромового покрытия, что особенно заметно на острых углах, а через поры покрытия и самой основы. Блеск покрытий резко ухудшается. Образцы к дальнейшему использованию не пригодны.Далее проводят испытания травильных растворов, состав которых Приведен в табл. 3, для удаления покрытий из нитридов и карбонитридов титана с корпусов 6 раслетов часов, изготовленных из латуни ЛС, и корпусов часов, изготовленных из нейзильбера с гальваническим покрытиемрромом 4-6 мкм.На детали наносят покрытия из нит" ридов и карбонитридов титана 0,5 мкм методом ионно-плазменного напыления в вакууме на установке УРИЗ 279,048. Химическое травление проводят при комнатной температуре на установке УЛУГМ.Полученные результаты даны в табл, 4 (номер...
Способ определения параметров электропроводных покрытий в процессе нанесения
Номер патента: 727978
Опубликовано: 15.04.1980
Авторы: Ермолаев, Капитонов, Кудряшов, Цыпин, Чернышев
МПК: G01B 7/06
Метки: нанесения, параметров, покрытий, процессе, электропроводных
...из кварцевого резонатора 10 тон, струна и т. д.) и, в частности, само 1 с электродами 2, 3. подключенными покрываемое изделие, однако с целью пок автогенератору. Измеряемое покрытие вышения чувствительности и линейности 4 наносится на активный участок 5 резо- функций преобразования наиболее целесонатора 1 через маску и подключается к образно применять кварцевые резонаторы источнику регулируемого напряжения с по 9 - среза.мощью предварительно нанесенных на ре- Изобретение позволяет определять в зонатор 1 электродов 6, Электрическая процессе нанесения покрытий одновремениэоляция покрытия 4 и электродов 6 ст но их толщину, удельное сопротивление электрода возбУждениЯ 3 осУществлЯет- и плотность. роме того, для двухкомпося с помощью...
Устройство для моделирования процесса выбора контролируемых параметров
Номер патента: 1418766
Опубликовано: 23.08.1988
Авторы: Баранов, Любенков, Пакус, Рябков, Самойлов, Шевцов
МПК: G06G 7/122
Метки: выбора, контролируемых, моделирования, параметров, процесса
...еслиК 3 1свой ключ. Таким образом, производится преобразование матрицы 2, заключающееся в том, что отключаютсястобцы, соответствующие элементам,проведенным,д-м параметром.Когда на очередном цикле моделирования все ключи блока 1 ключей отключены, то от элемента И 11 поступает сигнал на Я-вход триггера 9, покоторому происходит блокировка сигналов ждущего мультивибратора 8 длявключения источника 4, и выдаетсясигнал окончания моделирования вблок 12 индикацииТаким образом, происходит последовательный выбор строк матрицы 2,соответствующих параметрам объектаконтроля, причем блок 12 индикациификсирует совокупность параметров ипорядковый номер этого параметра, соответствующий стратегии контроля выбраиной совокупности параметров, позволяющей...
Предыдущий патент: Двухотсчетное устройство для измерения длины изделий, перемещаемых в продольном направлении
Следующий патент: Толщиномер диэлектрических покрытий
Случайный патент: Металлическая форма для отливки штампов, половинок литейных металлических форм и т. п.