Способ измерения времени релаксации энергии носителей заряда в полупроводниках

Номер патента: 857889

Авторы: Ашмонтас, Олекас

ZIP архив

Текст

Союз СоветскнхСоцналнстнческнхРеспублик ОП ИСАНИЕИЗЬБРЕТЕ Н ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ1857889(51) М. Кл,з б 01 К 31/26 Гооударетвенимй комитет ло делам изобретеиий и открытий(72) Авторы изобретения С. П. Ашмонтас и А. П. Олек с Ордена Трудоаого Красного Знамени институт физики полупроводников АН Литовской ССР е(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВРЕМЕНИ РЕЛАКСАЦИИ ЭНЕРГИИ НОСИТЕЛЕЛ ЗАРЯДА В ПОЛУПРОВОДНИКАХ"ве)ч 5Изобретение относится к измерению физических параметров полупроводников и может быть использовано для контроля полупроводниковых СВЧ приборов,Феноменологическое время релаксацииэнергии носителей заряда е является основным параметром, определяющим чувствительность полупроводниковых датчиковСВЧ мощности, ее частотную зависимостьи т. д. Величина .в зависит от различныхфакторов, в частности от степени легирования полупроводника. 10Известен способ измерения времени релаксации энергии носителей заряда в полупроводниках, основанный на измерениях электрических параметров как на СВЧ, так и напостоянном токе, заключающийся в том,что создают специальные тестовые диодныеструктуры, содержащие п - и+ переход, пропускают через них постоянный ток и измеряют продольные и поперечные составляющие токов, по которым определяют параметры полупроводника.Недостаток этого способа заключаетсяв том, что он требует изготовления сложных тестовых структур. Известен также способ, основанный на том, что в полупроводнике создают неоднородное электрическое поле с различными градиентами, один из которых является плавным, другой - резким. К образцу прикладывают напряжение в противоположных направлениях и по величине разности токов определяют параметры полупроводника 2.Однако этот способ пригоден для измерения параметров однородных образцов и не может быть использован для структур, содержащих переходы.Наиболее близким к предлагаемому является способ измерения времени релаксации энергии носителей заряда в полупроводниках, заключающийся в приложении к образцу напряжения заданной величины, разогревающего носители заряда, и измерении его сопротивления, из которого используя расчетную формулу находя время релаксации,3 йд 2 гдето Ио-м) -коэффициент нелинейности соЙ ) противления образца;

Смотреть

Заявка

2832545, 25.10.1979

ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ АН ЛИТССР

АШМОНТАС СТЕПОНАС ПОВИЛО, ОЛЕКАС АНДРЮС ПРАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01R 31/26

Метки: времени, заряда, носителей, полупроводниках, релаксации, энергии

Опубликовано: 23.08.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-857889-sposob-izmereniya-vremeni-relaksacii-ehnergii-nositelejj-zaryada-v-poluprovodnikakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения времени релаксации энергии носителей заряда в полупроводниках</a>

Похожие патенты