Способ изготовления зеркал

(1 1) 810637 ОП ИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик43) Опубликовано 07.03.8 па делам изобретен н открьтий(45) Дата опубликования описания 07.03,8 2) Авторы изобрете Н. Г. Герасимова, Н. А, Горбачева и С, И. Сагитов с(71) Заявител 4) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗЕРКАЛ етение относится к техн ожет быть применено в троении в качестве о й для зеркал, дифракц фильтров и других по ественно для вакуумы вой областей спектра, а ких и астро-физически Наиболее близким по техническои сущности и достигаемому результату к изобретению является способ изготовления зеркал путем последовательного нанесения слоев алюминия и фтористого магния на стеклянную подложку с последующим нанесением на слой МдРз двуокиси титана 2.Недостатком способа является низкий коэффициент отражения в ультрафиолетовой области спектра и невозможность его применения в вакуумной ультрафиолетовой области спектра.Целью изобретения является повышение коэффициента отражения и прочности зеркал. временномдля отр их элем ен ультрафио еняются в истемы,оптическомажающих птов, работалетовой облысокоотраи приборооверхностей ющих в ваасти спектающие плестроении оптическ куумной ра, прим ночные с Достигается эта цельизготовления зеркал пного нанесения на стеслоев алюминия и фтослой фтористого магииносят слой карбида креПример конкретногоГотовое зеркало сонапример, кварцевогоность которого методомвысокочастотного распри разрежении не менапример, на установкемы Ва 1 гег (или в ваВА в 4 в соответствии Известен способ изготовления зеркал путем последовательного нанесения слоев алюминия и фтористого магния на стеклянную подложку 1. Это зеркало имеет для Л 120 нм коэффициент отражения = 65%, в более длинноволновой области отражение увеличивается и для Л 100 нм резко падает - до 10 - 157 о. Наносимое покрытие обладает 11 группой механической прочности по Н 03611 - 61/10.33.307 и устойчивостью в атмосфере с низкой влажностью, Во влажном воздухе и при запотевании покрытие быстро портится. Покрытие не устойчиво к щелочным средам,Изобрзике и мприбороспокрытишеток,преимущфиолетокосм ичесваниях.В со ической фиоптическом тражающих ионных реверхностей, ой ультра- также при х исследотем, что в способе утем последователькляк кую подложку ристого магния на я дополнительно намния.выполнения способа. стоит из подложки, стекла, на поверхионно-плазменного пыления, в вакууме нее 10 -мм, рт. ст ЬрШгоп - 11 фиркуум-аппарате типа с РМО 1828-66 или810637 Составитель Г, Буровцева Техред И. Пенчко Редактор И. Квачадзе Корректор Л. Орлова Заказ 502/3 Изд.231 Тираж 530 Подписное НПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий П 3035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 других аналогичных, наносится трехслойное покрытие.а) непрозрачный слой алюминия (толщина 70 - 100 нм) в качестве отражающего покрытия; 5б) прозрачная пленка фтористого магния (толщина 25 нм) в качестве защитного слоя, препятствующего окислению алюминия и за счет интерференции увеличивающего его отражение, 10Для нанесения слоев используются алюминий марки не ниже А(ГОСТ 3549 - 55) и фтористый магний (ГОСТ 7204 - 54) .Последовательно на слои А 1+МдР до полнительно наносят слой карбида кремния. Поликристаллическая пластинка карбида кремния длиной 60 мм толщиной 5 мм приклеивалась к медному электроду и устанавливалась в вакуумную камеру. 20 При достижении давления 10 -мм рт, ст. в камеру напускается Аг до давления в камере 10 -мм рт. ст. Затем зажигается тлеющий разряд) 1 р 40 А, 1.1 р 40 В), а на мишень 31 С подается высокочастотное напряжение (ж -1356 МГц, мощность - 1,5 кВт). Скорость распыления мишени определяется величиной подводимой к ней мощности и при данных параметрах процесса составляоет 30 А/мин. Разогрев подложки во время нанесения пленки примерно 90 С,Зеркала, изготовленные указанным способом, имеют высокую термическую устойчивость, исключительную химическую и радиационную стойкость и могут быть отнесены к нулевой группе прочности, они имеют высокий коэффициент отражения и низкий рассеянный свет, что позволит эффективно использовать спектральные приборы с дифракционными решетками, повысит их светосилу, точность измерений, упростит методику работы, позволит, например, вместо двух сменных дифракционных решеток с покрытиями из платины и фтористого магния использовать для спектральной области - от 60 до 500 нм только одну дифракционную решетку. Формула изобретенияСпособ изготовления зеркал путем последовательного нанесения на стеклянную подложку слоев алюминия и фтористого магния, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента отражения и прочности, на слой фтористого магния дополнительно наносят слой карбида кремния. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. РМО - 1828 - 66. Алюминированные зеркала с повышенным отражением в вакуумной УФ-области спектра, 1966.2, Авторское свидетельство СССР Мо 176052, кл. С ОЗС 17/12, 1963 (прототип).