Преобразователь давления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 718736
Авторы: Горбенко, Желудков, Костенко, Магден, Овчинникова
Текст
ЪвЯОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯ и 1 71 8736 Союз Советских Социалистических Республик. свид-ву 7.04.78 (21) 2606165/18-10 2) Заявлено 1) М, Клаб 01 Ь 9/06 присое ением заявкиГосударствеииый комитет СССР по делам изобретеиий и открытий) Приорите 43) Опублик45) Дата опу ано 28.02,80. Бюллетень8 ликования описания 28.02.80 53) УДК 531.78) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ НИЯ Изобретение относится к полупроводниковой тензометрии и может быть использовано для измерения давления в широкомдиапазоне.Известен полупроводниковый тензометрический преобразователь давления, в котором давление на элемент осуществляетсяпосредством иглы, жестко закрепленной вметаллической мембране .1,Однако этот преобразователь обладает 10нестабильностью характеристик.Известен преобразователь давления, содержащий корпус, в котором установленупругий элемент с жестким центром, имеющим сферическую поверхность, контакти ярующую с чувствительным элементом, накотором размещен тензодиод,2.Однако этот преобразователь имеетневысокие чувствительность и надежность,так как сфера воздействует непосредственно на тензодиод.Цель изобретения - повышение надежности и чувствительности преобразователя.Поставленная цель достигается тем, чточа одной стороне чувствительного элементавыполнено углубление клиновидной формы,в котором размещен жесткий центр упругого элемента, а тензодиод расположей надругой стороне чувствительного элемента. На фиг. 1 схематично показан предлагаемый преобразователь давления; на фиг.2 - зависимость диаметра пятна контакта от диаметра шара.Монокристаллическая пластина 1 кремния электронного типа проводимости крепится в корпусе датчика 2. На одной стороне пластины формируется клиновидное углубление, например, методом избирательного травления, в которое помещается шар 3, жестко закрепленный в металлической мембране 4. С противоположной стороны кремниевой пластины сформирован тензодиод 5 (например, диод с барьером Шоттки).Устройство работает следующим образом, Под давлением распределенная нагрузка посредством мембраны и шарика преобразуется в сосредоточенную нагрузку в точках А и Б, представляющих собой пятно контакта шара с поверхностью клиновидного углубления. В точках А и Б возникают силы Р, и Р результирующая которых вызывает деформацию в области расположения тензодиода. В то же время появляются изгибающие моменты М 1 и М, вследствие чего тензодиод испытывает деформацию сжатия и сдвига,Подписноний и открытий Заказ 2920/4 Изд.170 Тираж 1033 НПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобр 113035, Москва, Ж, Раушская наб. д. 4/5. Сапунова, 2 ипогр При использовании изобретения увеличивается чувствительность датчиков за счет применения в пластине кремния непосредственно под диодом клиновидного углубления, концентрирующего усилие на малой 5 площади; улучшается стабильность характеристик датчика давления по сравнению с существующими датчиками вследствие того, что давление прикладывается не со стороны контакта металл - полупроводник, 1 О а с противоположной стороны кристалла; повышается надежность и долговечность датчика благодаря применению в качестве индикатора шара; при этом поверхность чувствительного элемента не разрушается, 15 так как шар давит на противоположную сторону кристалла; уменьшается гистерезис, так как давление прикладывается не к чувствительному элементу, а к полупроводниковой пластине. 20 Преобразователь давления, содержащий корпус, в котором установлен упругий элемент с жестким центром, имеющим сферическую поверхность, контактирующую с чувствительным элементом, на котором размещен тензодиод, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности и йадежности, на одной стороне чувствительного элемента выполнено углубление клиновидной формы, в котором размещен жесткий центр упругого элемента, а тензодиод расположен на другой стороне чувствительного элемента.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Патент Японии 48 - 31704, кл. 99/5/1 з, 195,2. Кривоносов И. И. Электромеханические измерительные преобразователи давлений высокотемпературных сред. М Энергия, 1975, с. 68 (прототип),
СмотретьЗаявка
2606165, 17.04.1978
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4371
МАГДЕН ИГОРЬ НИКИТОВИЧ, ОВЧИННИКОВА АЛЛА ПЕТРОВНА, КОСТЕНКО СЕРГЕЙ ПЕТРОВИЧ, ГОРБЕНКО ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЖЕЛУДКОВ АЛЕКСАНДР ВЛАДИМИРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01L 9/06
Метки: давления
Опубликовано: 29.02.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-718736-preobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Преобразователь давления</a>
Предыдущий патент: Способ определения внутренней мощности отсека паровой турбины
Следующий патент: Частотный датчик давления
Случайный патент: Устройство для очистки овощей