Расплав для электроосаждения молибдена

ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистнцесюа Республик(22) Заявлено 0 21) 2417469/22-0 заявкирисаедннением ) Приоритетеаударатеннний ввепо СССР делам нзобратенн н ютнрытнй.79.баюл я описа 5 ио 15,0 публиков ата опуб я 19,02. ов Н. Барабош К. П. Т н, Л, Т. Косихин, Л. Н, Заворохин,асова и В. П. Бычин) Авторы изобретения ститут электрохимии АН ССС(54) РАСПЛАВ ДЛЯ ЗЛЕКТРООСАЖДЕНИЯ МОЛИБДЕНАлектроосажв частности Изобретение относится к эдению металлов из расплавов,к электроосаждению молибдена,Известны хлоридные и хлоридно.оксидные расплавы для электроосаждения молибдена 111. Однако эти расплавы нестабильныпри работе на воздухе и требуют использования защитной атмосферы инертного газа,например аргона.Наиболее близким к изобретению по составу компонентов является расплав дляэлектроосаждения молибдена, содержащийтрехокись молибдена, метабораты и молибдаты щелочных металлов, например лития 121,Известный расплав обладает высокой агрессивностью, что ограничивает выбор материала электролнзеров, так как электролит загрязняется продуктами их коррозии. Крометого, электролит плохо растворим в водеи его трудно удалить с полученных покрытий,Предложенный расплав отличается отизвестного тем, что, с целью снижения агрессивности расплава и повышения его растворимости при последующей промывке покрытий, в качестве соли щелочного металлаон содержит вольфрамат щелочного металлапри следующем соотношении компонентов,вес О/ альского научного центр Трехокись молибдена 0,5 -2,0Больфрамат щелочного металла ОстальноеИз предложенного расплава на подложках из меди и графита, осаждают плотные, 5 хорошо сцепленные с основой осадки молибдена толщиной 250 мкм. Параметр решетки осадка 1,1467 А, что соответствует чистому молибдену. Микротвердость осадков 195 - 220 кгс/см.Материал электролизера - кварц, алунд,высокоглиноземистый фарфор. Электролиз осуществляют на воздухе при температуре расплава 850 в 9 С, катодной плотности тока 0,01 - 0,5 А/см с анодами из молибдена, ацодцая плотность тока 0,05 - 0,005 А/см, 15 При содержании трехокиси молибДена в расплаве менее 0,5% на катоде образуется порошкообразць 1 й осадок, а при содержании МоО, в расплаае более 2% на катоде осаждаются окислы молибдена.расплав готовят путем сплавления воль. фрамата щелочцого металла и окиси молцб. дена в алуцдовом тигле чрн 850 С, после чего его подвергают очистному электролизу ц 1 ечецие 6 - 0 ч прц плотности тока 0,5 А/см,147360 Форму,га тооретения Остальное Состава елв Е. КВас(тта Редактор 1. Нозожигива Техед О. Луговаи Корр ктор Т, ВаиковиЗаказ 25 З/24и)а)к 7 В1 г)ЛписиоР ЦНИ 4 ПИ Государствеииого комитета г;С(:Р по делам изобреейиг и открвпий 3 3035, Москва, Ж-,5, Раушскаи и во., д. 4/5 Филиал ППП Патеггта, г. УжгоГкд, ул. Проектиаи, 4Пленку расплава с поверхности псиучеццых осадков удаляют путем кипячения в воде.При этом вследствие более низкой вязкостиъ предлокецного расплава по сравнениюс известным привес его ца поверхности осадков в 4 раза меньше, а растворимость в водев 6 раз превышает растворимость боратногорасплава.Хримар 1, В алуцдовом электролизе цзрасплава, содержащего, вес,%:Трехокись молибдена 0,5Вольфрамат натрия 99,5при температуре 850 С и Дк 25 мА/см" цамедной подложке осаждали покрытия толщиной 30 мкм,17 римар 2, Из расплава, содеркащего,вес.%:Трехокись молибдена 2,0Вольфрамат натрия 98,0в кварцевом электролцзере при температуре850 С и Дк 50 мА/см- ца графитовой подложке осаждали покрытия толщиной БО мкм.Лример 3. Из расплава, содеркащего,вес.%:Трехокись молибдена 1,0Вольфрамат лития 99,0при температуре 850 С и Дк 50 мА/см валуцдовом электролцзере осаждали покрытия толщиной 50 мкм ца медной подложке.Лрилгер 4. В алуцдовом электролпзереиз расплава, содержащего, вес.в/в:Трехоись молибдена 2,0Зквимолярцая смесь вольфрэмата цатри 5 г и калия 98,0 цри тсмнературе 8 г 0 С и Дк 25 мАсм осаждали покрьпие толщиной 50 мкм ца медной подложке.Предлок.нный расплав позволяет получать молибденовые покрытия цри работе на воздухе без использования защитной ат.мосферы в электролизерах цз кварца, алунда.высокоглииоземистого фарфора, которые выдерживают сотни часов эксплуатации без следов коррозии.гв Расплав для электроосаждения молибден на, содержащий трехокись молибдена и сольщелочного металла, отличигощийся тем, что, с целью снижения агрессивности расплава и, повьпнецця его растворимости при последующей цромывкс покрытий, в качестве соли целочного металла он содержит вольфрамат щелочного мег алла при следуюц 1 ем соотношении компонентов, вес,",:Трехокись молибдена 0,5 - 2,0 Вольфрамат щелочногометалла")5Источники информации, принятые во внимацие при экспертизе1. Патент США215093, кл, 204-10,1955. 3 о 2. Патент США3369978, кл. 204-б 4, 1968.