Малобазный тензодатчик

(45) Двтв опбликования описания 31,05,78 601 В 7(18 Государственный комитетСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий(54) ИАЛОБАЗНЫЙ ТЕНЗОДАТЧИК Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для одновременного измерения деформации и температуры.Известны тензодатчики для измере ния статических деформаций в условиях изменяющихся температур, содержащие тенэо и термочувствительные элементы, расположенные параллельно, и изоляционное покрытие тензочувствительного 3 О элемента. Тенэочувствительный элемент выполнен и виде отрезка микропровода, изоляционное покрытие в виде слоя стек" лянной изоляции на нем, а термочувстВительный элемент выполнен в виде мик Ь ропровода, намотанного на изоляционное покрытие 11 .Известные тензодатчики неудобны тем, что они недостаточно чувствительны к деформациям и температуре. 20Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является малобазный тензодатчик, содержащий тензочувствительный элемент в виде стержня из монокристалла полупроводника, например, в виде нитевидного кристалла, изоляционное покрытие, нанесенное на поверхность тензочувствительного элемента н термочувствительный элемент 2)ЗО Основным недостатком этого датчика является недостаточная чувствительность к деформациям.Цель изобретения - повьааение чувсавнтвльностк малобазного тензодатчнка.Для этого предлагаемый тензоцатчик снабжен дополнительным тензочувствительньэа элементом, выполненным в виде стержня из монокристалла полупроводника с проводимостью, противополож ной типу проводимости основного тензочувствительного элемента и расположенным относительно основного элемента так, что поверхности контактирует с образованием р-п перехода, а в качестве изоляционного покрытия и термочувствительного элемента использован полученный рп переходНа Фиг. 1 изображен малобазный тензодатчик с тензочувствительным эле иентой, выполненным в виде 2-х смежных атараллелепипедов н р-и типа проводимости, общий вид и разрез) на Фиг.2" то же, с коаксиальным расположением 2-х областей тензочувствительного эле мента.Иалобазный тензодатчик состоит иэ тензочувствительного элемента 1 в ви" де стержня из монокристалла полупро" водника, например нитевидного кем614318 Формула изобретения ставитель А.Пвхред А.Алатыреа аМЬ+,-раж 872о комитета Совабретений и отЖ, Раушска С Т ректор 1. ТупицажеееаюшаЭ еашеваеш ор В.Другова исноеССР ета Министровкрытийя наб д; 4/5 лиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 ния, тензочувствительного элемента 2 в виде стержня из монокристалла полупроводника с проводимостью, противоположной проводимости элемента 2.Тензочувствительные элементы 1 и 2 имеют токовыводы 3-6 по два от каждого элемента для включения их в электрическую цепь.Измеритель 7 тока, источник 8 тока и р-п переход, образуемый между кон" тактирующими поверхностями тензоэлеИентов, служащий тврмочувствительным элементом и включенный в запирающем направлении с источником тока, образуют последовательную цепь.Применение твнзодатчика позволяет повысить чувствительность при измерении деФормаций вусловиях переменных температур и создать одинаковые температурные условия тенэо и термочувст, Ьительным элементам. Малобазиый твнзодатчик, содержащийвнэочувствительный элемент в виде Заказ 3682/35 ЦНИИПИ Государственно по делам и 113035, Москвастержня из монокристалла полупроводника, например, в виде нитевидного, кристалла, изоляционное покрытие, нанесенное на поверхность тензочувстви тельного элемента, и термочувствнтельНый элемент, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повьваения чувствительности, он снабжеи дополнительнЫм тенэочувствительным элементом, выполненным в виде стержня иэ монокристалф ла полупроводника с проводимостью, првтивоположной типу проводимости основ- ного тенэочувствительного элемента, и расположенным параллельно относительно основного элемента так, что их поверхности контактируют с обраэова.Йием р-и перехода, а в качестве изоляционного покрытия и термочувствительного элемента использован полу" 4 енный р-п переход.20Йсточники инФормации, принятые вовнимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 25 у 205553, кл, С 01 В 7/18, 662. Авторское свидетельство СССР ф Ю 2342137, кл. 0 01 В 7/18, 76,