Полировальный состав

(511 М КлС 096 1/02 с присоединением заявкиГосударствеккью комитет Совета Чинистрав СССР ло делам изобретенийи открытий(45) Дата опуоликовацця оппсацтя 30.03,78(54) ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ СОСТАВ Изобретение относится к полировальным составам, применяемым, в частности, для полировки твердых и сверхтвердых материалов, при изготовлении полупроводниковых кристаллов (пластин) и диэлектрических подложек.Известны полировальные составы для указанной цели, включающие мелкодисперсные карбиды цлц окислы мсталлов с различными добавками, например, растворов щелочей или солей щелочных металлов 11.Нацбол с близок по технической сущности и достигаемому эффскту к предлагаемому состаь, вкл,очающцй мслкодиспсрсную кристаллическую двуокись кремния, глицерин, перекись водорода, этилецдиамин и воду 2.Однако известные составы имстот следуощие недостатки.Недостаточная скорость съема поверхностного слоя, невозможность многократного использования состава, а также его токсичность, поскольку присутствие этилендиамцна цли дцэтиламица вызывают заболевание кожи и другие аллергические явления.В случае работы с полирующими составами, включающими аминосоедцнения, контакт работающих с последними неизбежен, как на стадии приготовления композиции, так и на стадии ее использования.За счет трения полировальника об обрабатываемый материал, температура на стадии полировки значительно возрастает, что приводит и повышсцшо ле-"чести ядовитых паров амцносоединений,Цель изобретения - повышение эффектцв ности обработки полцруемой поверхности цисключение токсичности состава.Достигается это использованием в качествеабразива амцнооргацокремнезема прц следующем соотношении компонентов, вес. ч.: 10 Амцноорганокремцезем 5 - 30Вода 70 - 95Аминоорганокремнезсм (амцноэтоксцаэросцл) представляет собой очень легкий порошок белого цлц слегка кремового цвета и цме ет следующую общую формулуЛ.= - т - О -11, - ( 1 т - .хН 2. Гцдрофильный характер этого продукта позволяет очень легко вводить его в водные сре ды и получать стабильные водные дисперсии.Применение таких дисперсий для хцмцкомеханической полировки пластин из кремния наряду с высокой эффективностью (скорость съема слоя на замшевом полировальнике не 25 менее 0,3 мк/мцц) позволяет получить высокое качество отполированной поверхности (чцс-ота до 14 класса вклю цттельцо).Продук-ы, образующиеся прц полировке,удаляются с поверхности за счет хорошей абЗп сорбццоццой способности (обусловленной600160 Предлагаемый Прототи и" Показатели 20 20 20 Время полировки, мин 20 0,52 0,54 0,51 0,30 Зеркальная поверхность без дефектовЯдовт Физиологическая активность фСостав для полировки, включаощий 15 г аэросилараствора этилендиамина, 10 мл глицерина и 60 мл воды, После каждого цикла раствор фильтруют через сито марки А15 мл 70 М-ногоМо 005,Формула изобретения 20 Составитель Л. Жукова Тсхред И. МихайловаКорректоры: Л. Котова и И. Позняковская Редактор А. Соловьева Заказ 572/14 11 зд. М 315 Тираж 841 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Подписное Типография, пр. Сапунова, 2 3сильноразвитой поверхностью) аминоэтокспаэросила, а также благодаря комплексообразованию (за счет аминогрупп). Последнее очень важно, так как удается избежать замазывания дефектов поверхности и добиться высокой эффективности на всем протяжении операции.П р имер 1, 10 г аминоэтоксиэросила при перемешивании вводят в 80 мл деионизованной воды марки Б. При достижении однородности суспензии, она готова к употреблению.Технология приготовления и применения полирующего состава,П р и м е р. В фарфоровую кружку наливают 850 мл воды, а затем при перемешивании стеклянной палочкой вводят предварительно отвешенные в стеклянном стакане 150 г аминоорганоаэросила. Скорость съема поверхностного слоя, мкм/мин Кратность использования раствора Полировальный состав, включающий абразив и воду, отличающийся тем, что, сцелью повышения эффективности обработки поверхности и исключения токсичности состав, он содержит в качестве абразива аминоорганокремнезем при следующем соотношении компонентов, вес. ч,: Раствор перемешивают с помощью мешалкив течение 10 мин, после чего он может бытьиспользован по назначению.Свежеприготовленный 15%-ный водный рас твор аминоэтоксиаэросила характеризуетсяследуощими показателями:Коэффициент рефракции 1,35Вязкость при 20 С (ест) 40рН 10,7 10 Удельный вес 1,8Внешний вид - жидкость бело-молочногоцвета, устойчивая против расслаивания.С помощью лекальной линейки ЛД-80 проверяют плоскость шлифовального стекла.15 Сравнительные данные физико-механических свойств известного и предлагаемого составов приведены в таблице. Лминоогранокремнсзем 5 - 30Вода 70 - 95Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент СШЛ299 бЗб 9, кл. 260 - 334,опублик. 19 б 1.25 2. Лвторское свидетельство СССР 334852,кл, С 096 1/02, опублик. 1971.