Фосфорсодержащие арилазиды в качестве светочувствительных компонентов фоторезистов

ХКА% б.:.:блнотекк МЬА ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистицеских Республик(61) Дополнительное к авт. свид-ву -1) М. Кл,С 07 Р 9/5 603 С 1/ 22) Заявлено 0 1)2072958 соединением за киГосударственный комит Совета Министров ССС по делам изобретений н открытий. К. Сквор В, Ельцо А. Юрре и Н. А, Семерки Заявитель нинградский ордена Трудового Красного Знамени технологический институт им. Ленсовета 54) ФОСФОРСОДЕРЖАЩИЕ АРИЛАЗИДЫ В КАЧЕСТВЕ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ КОМПОНЕНТОВ ФОТОРЕЗИСТ бретение относится вым химичес- фосфорсодер- улы оединениям, конкретном арилазидам общей фор жащ(я Х 66 Н) д РВ 0 гут н твит и ьного ходРдан ых в пользу ности. Укеств 8 пе или м-ИС Некоторые моименение в качестве светочувомпонента фоторезистов, исрадиоэлектронной промышленазанные соединения, их свойства и споения в литературе не описаны,стны светочувствительные мышьяксодержащие арилазиды, используемые в кач е светочувствительных компонетовслоя фоторезиста, которые способны поддействием света сшивать слой полимера, образуя рельеф, обратный рисунку шаблона, иодновременно легировать полупроводниковые1,-или СЕ -пластины для создания р-иреходов в полупроводнике 11,2,Введение в молекулу арилазида вместомышьяка другого элемента У группы периодической системы, например фосфора, позволяет создать новые светочувствительные соединения, которые обеспечивают одновременно с получением рельефа внедрение фосфора в полупроводниковую пластину.фосфорсодержащие арилазиды приведенной выше формулы могут быть использованы для создания фоторезистов, содержащих фосфор и служащих в качестве источника диффузии, а также позволяющих получать р- и пере, отличный по природе и энергетике от т 1 перехода, который может быть созпри помощи легирования мышьяком.С использованием целевых соединений, например три(м-азидофенил) фосфиноксида, могут быть получены негативные фоторезисты на основе эпоксидированного циклокаучука, Полученные фоторезисты можно использовать в качестве источника диффузии. При нанесении фоторезиста на центрифуге на кремниевые пластины р-типа с Я =50 ом.см после экспонирования и проведения диффузии наовоздухе при температуре 1300 С в течение 4-5 час может быть получен тт - тт переход, имеющий вольт-амперную характеристику, близкую к теоретической, Фосфорсодержащие5239 Составитель Л. ЗахаровТехред О. Луговая Корректор А. Лакида Редактор Н, Вирко Заказ 5059/386 Тираж 575 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 арилазиды получают диазотированием соответствующих окисей м-аминофенилфосфинов с последующей заменой диазогруппы на азидную группу при действии азида натрия.В качестве исходных окисей м-аминофенилфосфинов используют окись три(м-аминофенил)фосфина или окись метилди(м-аминофенил)фосфина, в качестве диазотируюцлего реагента - нитрит натрия, Реакцию проводят в присутствии соляной кислоты. 10П р и м е р, Получение окиси три(м-азидофенил)фосфина. К раствору 3,1 г (0,01 г моль) окиси три(м-аминофенил)фосфина в 20 мл концент о рированной НС при температуре 5-12 С добавляют раствор 2, 1 г ( О, 03 г моль ) нитрита натрия в 10 мл воды в течение 0,5 час,После получасового перемешивания избытокнитрита натрия снимают мочевинои, а диазоч20раствор фильтруют. К фильтрату при темпераотуре 0-5 С прибавляют раствор 2,3 г(0,035 г,моль) азида натрия в 5 мл воды,Продукт выделяют в виде масла. Водный25слой декантируют. масло растворяют в бензоле. При отгонке бензола в вакууме выпадает блед.:-желтый осадок окиси три(м-азидофенил)фосфпа, который промывают эфироми сушат в вакуум-эксикаторе, Выход составо 30ляет 3,2 г (83%); т.пл, 109 С (ацетонгексан).Данные элементарного анализа:Найдено, %; й 34,4, 31,7; С 53,4,53,6; Н 3,0, 3,3; Р 7,5, 7,3,10 4 129 О рВычислено, %: М 31,4; С 53,8; Н 2,9;Р 7,7.Электронный спектр: 1 Б 5 нм ИрЕ 1,62);ЯМР-спектр 3 1 Р: 2 3 м.д, ( относитель 403 4ИК-спектр: 2120 см(характеристическая полоса поглощения Й ).Найдено: мол.вес, 390, 395 (в бензолеметодом обратной эбулиоскопии.45Вычислено: мол,вес, 401.Продукт растворим в этаноле, бензоле,толуоле,.четыреххлористом углероде, хлористом метилене.П р и м е р 2, Получение окиси метилди(м-азидофенил)фосфпна,054К раствору 1,7 г (0,005 моль) окисиметил-ди(м-аминофенил)фосфина в 20 млконцентрированной НСпри температуре 1 5 о20 С добавляют раствор 1,03 г (0,015 моль)нитрита натрия в 10 мл воды. После получасового перемешивания избыток нитрита натрияснимают мочевиной и диазораствор фильтруют.К фильтрату добавляют 1,0 г (0,015 моль)азида натрия в 10 мл воды. Окись метил-ди(м-азидофенил)фосфина выпадает в видетемной смолы, Полученную смолу растворяютв ацетоне и медленно выливают в воду. Выпадает поршкообразный осадок окиси метил-ди( и-азидофенил ) фосфина, который отфильтровывают и сушат в вакуум-эксикаторе.Выход составляет 0,45 г (30%); т.пл. 89 о31 С (с разложением).Найдено, %: М 29 65,29 2 С 50,0, 49,8Н 3,8, 3,9; Р 10,4, 10,2.Сь Нл 1 МОРВычислено, %; М 29,6; С 50,2; Н 3,6;Р 10,7,Электронный спектр; МпЫ 2 нм (1 ЦЯ 1,2 б);ЯМР-спектр: р: 25 м.д, (относительно Н РО );ИК-спектр: 21 1 0 см ( Й )Найдено, мол.вес: 290, 285 (в ацетоне,методом обратной эбулиоскопии).Вычислено, мол,вес; 298.Продукт растворим в спирте, ацетоне, диоксане, тетрагидрофуране, нерастворим вбензоле, толуоле. Формула изобретения Фосфорсодержащие арилазиды общей фор- мулы(в-хн,)д УиЦОгде Р -СН или м - ИС Нв ка 3честве светочувствительных компонентов фоторезистов,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Патент США3679670, кл. 260240 Ь, 72.2. Патент ФРГ2256839, кл. 120,26/03, 73 прототип.