Семеркина

Номер патента: 523905

Опубликовано: 05.08.1976

Авторы: Ельцов, Семеркина, Скворцов, Юрре

МПК: C07F 9/53

Метки: арилазиды, качестве, компонентов, светочувствительных, фосфорсодержащие, фоторезистов

...по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 арилазиды получают диазотированием соответствующих окисей м-аминофенилфосфинов с последующей заменой диазогруппы на азидную группу при действии азида натрия.В качестве исходных окисей м-аминофенилфосфинов используют окись три(м-аминофенил)фосфина или окись метилди(м-аминофенил)фосфина, в качестве диазотируюцлего реагента - нитрит натрия, Реакцию проводят в присутствии соляной кислоты. 10П р и м е р, Получение окиси три(м-азидофенил)фосфина. К раствору 3,1 г (0,01 г моль) окиси три(м-аминофенил)фосфина в 20 мл концент о рированной НС при температуре 5-12 С добавляют раствор 2, 1 г ( О, 03 г моль ) нитрита натрия в...

Номер патента: 520559

Опубликовано: 05.07.1976

Авторы: Ельцов, Орлова, Семеркина, Скворцов, Юрре

МПК: G03C 1/52

Метки: негативный, фоторезист

...негатзиста зпоксидирОванный циряют при перемешивании вворитеде напримерБгной тв, ЕРЗТУ 2 Е Ив темноте доб,гвлдю 2 тКОМПОНЕНТУ,Такое проведениеисключить Опеоацию тБикОВых пдастин, кото Л р и м е р 1, Окись три-(м-азидофенип)-4 осфина,,е 255 нм(2,0-5,0 г и зпоксидированный каучук (3,8% эпоксигрупг., 100-100 г) растворяют в о-оксилоле, (1000-1000 мд) и подученный светочувствитедьный состав наносят на подо ложку дентрифугированием, сушат при 60 С обпучают через диапозитивный монтаж УФ- лучами (пампа ДРШ), засвечивают и проявд"пот путем обработки проявитедемксидодом нди уайт-спиритом ( 1000-2000 млЗаказ 4886/185 Тираж 551 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035,...