Способ очистки хлоридов кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 504699
Авторы: Бочкарев, Сивошинская
Текст
) Приорите Гасударственнын комитет Совета Министров СССР 546.281(088.8) Бюллетень М 8 писания 04,05.7(53 публиковано 28,02.ата опбликования по делам изобретений н откоытий(54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ХЛОРИДОВ КРЕМ с одержание примесей Сос в трихлорсилан после очисткие обнаружено5 10е обнаружено же Изобретение относится к способу очисткихлоридов кремния от примесей и может найти применение в полупроводниковой промышленности,Известен способ очистк хлоридов кремнияот примесей, например, помощью силикагеля. Однако такой способ не обеспечиваетглубокой очистки хлоридов кремния от примесей хлоридов элементов 111 и Ъ групп периодической системы им. Д. И. Менделеева. 10С целью устранения указанного недостатка,предлагается пары хлорида кремния пропускать через титановую губку, нагретую до 200 -300 С.Описываемый способ позволяет получатьпродукт с низким содержанием примесей бора, фосфора, углерода, меди алюминия, железа и магния.П р и мер. Пары трихлорсилана 51 НС 1 з пропускают через титановую губку марки ТЯ - Оили ТЯ - 1 с размером в поперечнике 5 - 10 мм,нагретую до 200 в 3 С.Расход титановой губки 1 % от веса хлорида. При этом получают продукт со следующиодержанием примесей в вес %.504 о 99 Формула изобретения Составитель Н. ГродзовскаяТекред Е. Подурушиа Корректор Т, Добровольская Редактор Т. Пилипенко Заказ 914/7 Изд. М 1162 Тираж 630 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, К, Раушская наб д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 Спосоо очистки хлоридов кремния от примесей хлористых соедимемий бора, фосфора, углерода, меди, алюминия, железа и магпия с примепемием абсорбеитов, о т л п ч а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения содержания указаммых примесей до концентрации 10 - % и ниже, пары хлорида кремния пропускают че рез титамовую губку, нагретую до 200 в 3 С
СмотретьЗаявка
717032, 11.07.1962
БОЧКАРЕВ ЭЛЛИН ПЕТРОВИЧ, СИВОШИНСКАЯ ТАТЬЯНА ИСААКОВВНА
МПК / Метки
МПК: C01B 33/08
Опубликовано: 28.02.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-504699-sposob-ochistki-khloridov-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ очистки хлоридов кремния</a>
Предыдущий патент: Углеродная композиция для получения фрикционного материала
Следующий патент: Способ получения глинистого сорбента
Случайный патент: Устройство для раскладки нити