Устройство для юстировки ионного источника
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 470012
Автор: Малышев
Текст
(и) 420012 Союз Советских Социалистических Республик. присоединением заявкпГосударственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийи открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ 1 ОСТИРОВКИ ИОННОГО ИСТОЧ Н ИКАИзвестны параллелограммные механизмы перемещения для юстировки ионного источника, Эти механизмы имеют сложную конструкцию, поскольку содержат скользящие или подшипциковые пары в шарнирах. Наличие шарниров, кроме того, приводит к возникновению свободного хода в механизме и неточности установки источника.Цель изобретения - упрощение конструкции устройства ц повышение точности установки источника ионов.Поставленная цель достигается за счет того, что рычаги параллелограмма выполнены в виде плоских упругих элементов, а регулировочные механизмы установлены независимо: один между промежуточной и опорной платформами, а другой - между промежуточной и несущей платформами.На чертеже показано предложенное устройство.Устройство для юстировкц ионного источника содержит опорную платформу 1, являющуюся основанием источника ионов. Собственно источник закреплен на несущей платформе 2 на штанге 3. Несущая платформа имеет две степени свободы перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях, Промежуточная подвижная платформа 4, имеющая одну степень свободы перемещения, связана с помощью двух упругих элементов 5, расположеццых по обе стороны от штанги, с основанием и с помощью аналогичных двух элементов - с цесуцей платформой. Упругие элементы соединены с платформами жестко (сваркой5 цлц пайкой).Регулировочные механизмы 6 и 7, служащиедля взаимно перпендикулярного независимого перемещения штанги источника, расположены: один - между опорной и промежуточцоц 10 платформамц, дру гой - между п 1 зомежуточцой ц несущей платформами.Устройство работает следующим образом.При работе регулировочного механизма 7платформа 2 перемещается относительно про межуточной платформы 4 и, следовательцо,относительно опорной платформы 1, Прц этом штанга источника ионов перемещается в одном из направлений.При работе регулировочцого механизма 6 20 промежуточная платформа 4 перемещается относительно опорной 1 и, следовательно, происходит перемещение платформы 2 и штацгц источника в другом, перпендикулярном по отношению к первому, направлении.25Предмет изобретенияУстройство для юстировки ионного источника, выполненное в виде двойной параллелограммной подвески, содержащее несущую, 30 промежуточную ц опорную платформы, ры470012 Составитель В. Ким Корректор 3, Тарасова Текред Т. Миронова Редактор Т. Орловская Заказ 1873,18 Изд.694 Тираж 833 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретении и открытий Москва, )К.35, Раушскан наб., д. 4,5Типография, пр. Сапунова, 2 чаги, регулировочные механизмы, о т л и и аю щ ее с я тем, что. с целшо упрощения конструкции и повышения точности, рычаги выполнены в виде плоских упругих элементов, а регулировочные механизмы установле ы незави.симо; один - между промежуточной и опорной, а другой - между промежуточной и несущей платформами.
СмотретьЗаявка
1974253, 30.11.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7904
МАЛЫШЕВ ИВАН ФЕДОРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 3/04
Метки: ионного, источника, юстировки
Опубликовано: 05.05.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-470012-ustrojjstvo-dlya-yustirovki-ionnogo-istochnika.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для юстировки ионного источника</a>
Предыдущий патент: Реле минимального напряжения
Следующий патент: Способ обработки электродов ламп тлеющего разряда
Случайный патент: Устройство для одноканального синхронного фазового управления многофазным вентильным преобразователем