389172

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 17 Союз Советских Социалистицеских Республик. С 23 с 11/О исоединением заявкииоритет судврственныи комитетоветв Министров СССРпо делам изобретенийи открытий ДК 621 793 16(088 Опубликовано 05.Ч 11,1973. Бюллетень29Дата опубликования описания З.Х 11.973 Авторыизобретени Н, Миикевич, Г. Д. Кузнецов и 8. С. Серебреинико осковский ордена Трудового Красного Знамени институт стали и сплавовявител СПОСОБ ОСА ИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ КАР НИОБИЯ Изобретени термичеокой нию покрыти среды,Известен о крытий на о нии из сред нако отмечае ния составоь пределах его дения кароидных доатмосферном давлениобия и метана. Одожность регулпроваиз карбида ниобия в могенности. пособ осажеталлы прихлоридовтся невозхпокрытияобласти го е относится к области химико обработчики, в частности к нанесе й iа изделия из старо-газово По предложенному способу для долучсния покрытия из карбида ниобия регулируемого состава осаждение проводят в смеси хлоридов ниобия и метана при давлении 4 - 20 мм 15 рт.ст., соотношении концентрации метана к хлориду ниобия 0,5 - 2,0 и скорости потока смеси 1,3 - 10 м/час.Для формирования покрытия на нижнем пределе гомогенности карбида ниобия процесс 20 осуществляют при наименьшем давлении 4 мм рт. ст., наименьшем соотношении концентрации метана к хлориду 0,5 и наименьшей скорости газового потока 1,3 м/час.Карбид с верхним пределом гомогенности 25 (МЬС 0,98) получают при максимальных значениях указанных параметров: давлении 20 мм рт. ст,; соотношении концентраций метана к хлориду ниобия: 2,0; скорости потока О м/час. 30 Способ получения регулируемых покрытий из карбида ниобия заключается в следующем.Перед проведением процесса в реакционной камере с обрабатываемыми изделиями создают разряжение не ниже 5 10 - - лтлт рт, ст., после чего нагревают испаритель с хлоридом ниобия до температуры, обеспечивающей требуемое давление хлорида в печи и его расход. Затем в реактор подают метан, концептрация которого в газовой смеси варьируется расходом метана. Общее давление паро-газовой смеси устанавливают и поддерживают путем изменения скорости откачки форвакуумным насосом. Далее производят нагрев изделий до 900 - 100 С и осуществляют изотермпческую выдержку, По окончании процесса формирования карбидных покрытий прекращают подачу метана и охлаждение проводят до 00 - 150 С при включенном форвакуумном насосе в парах хлоридов.П р и м е р 1, Для получения карбидного покрытия в нижней области гомогенности состава КзС 0,78 процесс осуществляют при температуре 1000 С, давлении 4 мм рт. ст., соотношешш метана к хлориду ниобия - 0,5 и скорости, потока смеси 1,3 мчас. Для обеспечения указанного соотношения расход хлорп. да ниобия составляет 9,7 г/час, метана 0,4 л/час. Указанное соотношение метана к пентахлориду ниобия - 0,5 получают расчет389172 Соотношение метана к пентахлоридуниобия Скорость Структурная формулаЧЬСх Период решетки оРедактор О. Филиппова Заказ 3 8,6 Изд, Мо 809 Тираж 826 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раущская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 ным путем,при переводе расхода хлорида из гчас, а метана из л(час в мольчас. В указанном режиме окорость образования карбидного слоя 7 - 8 мкч(час, микротвердость покрыв тия - 2900 кг/ллР, параметр решетки 4,44 бА.П р и м е р 2, Для получения карбидного покрытия в верхней области гомогенности состава МЬСо,зз процесс ведут при 1000 С, давлении 20 мм рт. ст., соотношении метана к пентахлориду ниобия 2,0 и окорости потока Предлокенный способ химико-термической обработки может быть рекомендован для повышения износостойкости и коррозионной стойкости деталей машин и инструмента. Предм:т изобретения1. Способ осаждения, покрытий из карбида ниобия на поверхность материалов из газовой смеси хлорида ниобия и метана, отличающийся тем, что, с целью получения покрытия регулируемого состава в пределах области гомогенности карбида ниобия, процесс проводят смеси 10 м/час, Для обеспечения указанного соотношения расход пентахлорида ниобия составляет 8 г(час, метана 1,3 л(час, Скорость образования карбидного слоя достигает 9 - 5 10 мкм)час, микротвердость покрытия- 1700 кг/мм, параметр решетки - 4,4 б 9 Л. В таблице даны технологические режимыпроцесса, обеопечивающие иолучение покры тия,карбида ниобия различного состава. при давлении 4 - 20 мм рт. ст., соотношении концентрации метана к хлориду ниобия - 0,5 - 2,0 и скорости ,газового потока 1,3 - 10 м(час.30 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что,с целью получения карбида ниобия на нижнем пределе области гомогенности, процесс проводят при минимальных значениях указанных технологичеоких параметров, а для 35 получения карбида ниобия на верхнем пределе области гомогенности технологические параметры устанавливают максимальными,