Патенты с меткой «389172»

Номер патента: 389172

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Авторы, Кузнецов, Серебренникова

МПК: C23C 16/32

Метки: 389172

...паро-газовой смеси устанавливают и поддерживают путем изменения скорости откачки форвакуумным насосом. Далее производят нагрев изделий до 900 - 100 С и осуществляют изотермпческую выдержку, По окончании процесса формирования карбидных покрытий прекращают подачу метана и охлаждение проводят до 00 - 150 С при включенном форвакуумном насосе в парах хлоридов.П р и м е р 1, Для получения карбидного покрытия в нижней области гомогенности состава КзС 0,78 процесс осуществляют при температуре 1000 С, давлении 4 мм рт. ст., соотношешш метана к хлориду ниобия - 0,5 и скорости, потока смеси 1,3 мчас. Для обеспечения указанного соотношения расход хлорп. да ниобия составляет 9,7 г/час, метана 0,4 л/час. Указанное соотношение метана к пентахлориду...