Устройство для ориентированной резки монокристаллов

О П И С А Н И Е 376235ИЗОБРЕТЕНИЯИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сааз Советских Сониалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 14,1 "1 г,1971 ( 1658285/29-33)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 05,17,1973. Бюллетень17Дата опубликования описания 17.И 1.1973 М. Кл. В 284 5/02 Комитет по делам иэобретеиий и открытий при Совете Мииистров СССРАвторыизобретения А, Ю, Малинин, Ю, М, Украинский, Б. Н. Ушков, И. П. Коровин,В, В, Ермаков и В, П, Сверлов Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАННОЙ РЕЗКИ МОНОКРИ СТАЛЛОВИзобретение может быть использовано на предприятиях, занимающихся производством полупроводниковых структур или приборов и схем на их основе,Известно устройство для ориентированной резки монокристаллов, содержащее основание, поворотный кронштейн со шкалой и держатель слитка.Текстолитовая оправка предназначена для приклейки слитка и крепится в неподвижном гнезде одного из кронштейнов. Однако такое устройство не может широко использоваться в промышленном производстве интегральных схем на структурах со скрытым слоем, ввиду отсутствия фиксированного поворота слитка на 90 С, что не позволяет производить резку слитка по двум взаимно- перпендикулярным направлениям без дополнительной операции - переклейки слитка. Кроме того, у этого устройства при ориентированной резке за счет введения дополнительной операции (переклейка слитка) снижается производительность. А в связи с большим числом контрольных резов при введении необходимых поправок для получения заданной точности ориентации происходит большой расход дорогостоящего материала.Цель изобретения - обеспечить резку слитка по двум взаимно-перпендикулярным направлениям при сокрашении времени обработки и уменьшить расход монокристаллов,Это достигается тем, что держатель слитка 5 смонтирован с возможностью поворота его на90 и фиксации с помощью фиксатора в вырезах кронштейна, который соединен с основанием посредством оси.Сущность изобретения поясняется черте жом,Устройство имеет основание 1, поворотныйкронштейн 2, держатель 3 слитка, стопорные винты 4, фиксатор б и ось б.Поворотный кронштейн и основание имеют 15 шкалу с конусом для отсчета углов поворотапилы в диапазоне -1-10 С точностью -1-10 ман.Поворот и закрепление кронштейна в требуемом положении производится стопорными винтами 4.20 Держатель 3 слитка А состоит из спутника иповоротного основания. Спутник изготовлен из текстолита и предназначен для наклейки слитка. Он закрепляется на поворотном основании винтами. Поворотное основание имеет 25 ось для подвижного соединения с кронштейном 2 и вырезы под фиксатор б, обеспечивающие поворот слитка на 90 с точностью -+-10 мин вокруг оси У - У. Закрепление поворотного основания в фиксированном положе нии производится гайкой."е 46 агк 676 Подписное аказ 2150/1 Типография, пр. Сапунова,Предлагаемое устройство позволяет производить на стандартных станках с внутренней режущей кромкой резку монокристаллов на пластины, ориентированные по двум взаимно- перпендикулярным направлениям с точностью -1-30 мия, и с минимальными потерями материала и времени.Порядок выполнения операций на станке с устройством для ориентированной резки моно- кристаллов следующий.Сначала проводят предварительную ориентацию слитка на рентгеновском дифрактометре с нахождением направления резки (плоскость). Затем режут слиток по базовой плоскости и проверяют ориентацию контрольного среза по отрезанной пластине, Далее корректируют положение слитка разворотом вокруг осей У - У и Л - Л и разрезают его по базовой плоскости в направлении с заданной точностью.После этого слиток с держателем 3 разворачивают вокруг оси У - У на 90 и поворачивают его вокруг оси Х - Х для установки плоскости базового среза перпендикулярно плоскости пилы.Затем поворачивают слиток вокруг оси 2 - Л на угол, равный углу корректировки, и устанавливают плоскость пластины реза параллельно плоскости пилы. Определяют точность ориентации слитка вНаправлении по отрезанной пластине и вводят необходимые поправки в ориентацию слитка поворотом его вокруг осей У - Е и 5 У - У.Проводят разориентацию слитка в направлении с точностью +30 мин вращением вокруг оси Л - Л и режут его на пластины. 10 Число контрольных резов при использовании устройства для ориентированной резки сокращается (до 1 - :2) и не зависит от квалификации оператора. Предмет изобретения Устройство для ориентированной резки монокристаллов, содержащее основание, пово ротный кронштейн со шкалой и держательслитка, отличающееся тем, что, с целью обеспечения резки слитка по двум взаимно-перпендикулярным направлениям при сокращении времени обработки и уменьшения расхода 25 монокристаллов, держатель слитка смонтирован с возможностью поворота его на 90 и фиксации с помощью фиксатора в вырезах кронштейна, который соединен с основанием посредством оси.