Устройство для ориентированной резки монокристаллов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 205152
Авторы: Косов, Мачковский
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 2 О 5152Союз Советсииз Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 14.И,1966 ( 1082566/26-25) 21 ь 1 1 М с присоединением заявкириоритетопубликовано 13,Х 1,1967. Бюллетень23 Комитет по делам зобретеннй и открытий при Совете 3 йинистров СССР. В. Косов и Е. Н, Мачковскнй аявитель ЛЯ РИЕНТИРОВАННРИ СТАЛЛО В ЗКИ СТРОЙС М к шпинкрепится режуьцей дисковой прохож. ремя ориентированная резка проходит в два этапа: сначах оптической ориентации накристаллографическую плоссталл переносят на станок ате этого снижается точность резки,В настоящее монокристаллов ла на установка ходят нужную Кость, затем кр резки, В резуль ориентированно Монокристалл б, который надо разрезатьпо определенным кристаллографическим плоскостям, через переходную пластину 5 крепит.ся к поворотному механизму 4. Включается осветитель 1, и луч света, пройдя через сквоз ной канал шпинделя и отверстие в дне диско.вой головки 3, попадает на поверхность моно.кристалла. Отраженный от поверхности свет дает на экране 2 соответствующую световую картину, По ее виду и положеншо пятен су.дят о положении кристаллографических пло.скостей монокристалла по отношению к опти.ческой оси (оси вращения шпинделя) устрой.ства. Поворачивая с помощью поворотногс механизма 4 монокристалл, следя за световог картиной и используя лимбы поворотного ме ханизма, устанавливают монокрпсталл в та кое положение по отношению к пиле 9, чтобь разрезать его по требуемой кристаллографи ческой плоскости.В результате устранения переноса кристалла между операциями ориентации и резкт 30 точность ориентированной резки возрастает. строистве для п анной резки, о ции совмещена разной пилы, ленная к нему зное отверстие ачестве экран вана внутренн вышения тическая с осью ля чего дисковая вдоль их системы я стенка но описываемое устро мы оптическои ориентаостоит из спстанка резки,ции ической ориентации содержит ающий узкий пучок света, экве которого используется внут- стенка дисковой головки 3, и ханизм 4, к которому через пестину 5 крепится монокрисрезки имеет шпиндель 7, вдоль роходит сквозное отверстие 8; Система опт осветитель 1, д ран 2, в качест ренняя задняя поворотный ме реходную пла талл б, Станок оси которого п В предлагаемом у точности ориентиров ось системы ориента вращения кольцеоб шпиндель и прикреп головка имеют скво оси вращения, а в к ориентации использо дисковой головки.На чертеже привед ство.Оно с исковую головку 3, прикрепленную елю, к которой, в свою очередь,ольцеобразная пила 9 с внутренней ромкой. Внутренняя задняя стенка оловки имеет в центре отверстие длдения луча света от осветителя 1,205152 Устройство для ориентированной резки монокристаллов, содержащее станок резки и систему ориентации, отличагощееся тем, что, с целью повышения точности ориентированной резки, оптическая ось системы ориентации с Составитель В. В. Шведоваскрсд Л. Я. Бриккер Корректоры: Л. В, Наделаеваи Г Й П зешаков Редактор рагетти Тиратк 535 делаи изоорстеиия и откры ги 1 пр Москва, Цеитр, пр. Сеоова, д. 4Заказ 4226/4 1,11 гИПИ Клиитета г одписиое ов СССР овете Мииис ииогргфии, ир. Сапунова, 2 Предмет изобретения совмещена с осью вращения кольцеобразной пилы, для чего шпиндель и прикрепленная к нему дисковая головка имеют сквозное отверстие вдоль их оси вращения, а в качестве экрана системы ориентации использована внутренняя стенка дисковой головки.
СмотретьЗаявка
1082566
А. В. Косов, Е. Н. Мачковский
МПК / Метки
МПК: H01L 21/00
Метки: монокристаллов, ориентированной, резки
Опубликовано: 01.01.1967
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-205152-ustrojjstvo-dlya-orientirovannojj-rezki-monokristallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для ориентированной резки монокристаллов</a>
Предыдущий патент: Электрический конденсатор
Следующий патент: Характериограф для двухполюсников
Случайный патент: Способ получения третигенных винилацетиновых или винилдиацетиленовых спиртов