Номер патента: 365238

Авторы: Бабицкий, Зайдель, Фейгинов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ365238 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 12.11,1971 ( 1620964/25-8)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 08.1.1973. Бюллетень6Дата опубликования описания 21.П 1.1973 М. Кл. В 23 т 1 И 4 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР. И. Фейгинов, Г. И. Зайдель и Н. А. Бабицкий Заявитель ФССОЮзнффр . тз х 4 Г; Д 45 1 Я ИеТ Е К ДВУХКООРДИНАТНЫЙ СТОЛ Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам, осуществляющим точные шаговые перемещения по двумкоординатам, и используется при производстве полупроводниковых и микроэлектронныхприборов.Известны двухкоординатные столы, по направляющим основания которых от приводного двигателя, жестко закрепленного на основании, перемещаются по одной из координатпромежуточные салазки со вторым приводнымдвигателем, несущие направляющие для предметной плиты.Предлагаемый стол отличается от известныхтем, что второй приводной двигатель такжежестко закреплен на основании, а ходоваягайка приводимой им пары винт-гайка подвижно связана с жестко соединенным с предметной плитой кронштейном, проходящим черезокно, выполненное в промежуточных салазках.,Такое выполнение позволяет повысить точность и скорость координатных перемещенийи уменьшить инерционные моменты перемещаемых масс,На чертеже показана схема предложенногодвухкоординатного стола.Стол состоит из предметной плиты 1 скронштейном 2, промежуточных салазок 3,основания 4, приводных двигателей б и б, соединительных муфт 7 и 8, передач винт 9 - гайка 10 и винт 11 - гайка 12 и линейки 13,Перемещение предметной плиты по координате У осуществляется вместе с промежуточ ными салазками через ходовую гайку 12 ивинт 11, соединенный муфтой 8 с выходным валом двигателя б. Перемещение предметной плиты по координате Х осуществляется от двигателя б через муфту Т, винт 9, гайку 10, О которая удерживается от проворота линейкой.Гайка 10 имеет ведущий палец, входящий в паз кронштейна, проходящего через окно в салазках. Паз кронштейна вставлен параллельно направляющим по координате У, что 5 обеспечивает постоянство координаты Х приперемещении предметной плиты по этой координате. Предмет изобретения Двухкоординатный стол, по направляющимоснования которого от приводного двигателя, жестко закрепленного на основании, перемещаются по одной из координат промежуточ ные салазки со вторым приводным двигателем, несущие направляющие для предметной плиты, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и скорости координатных перемещений и уменьшения инерционных мо- О ментов перемещаемых масс, второй приводнойаказ 545/10 Изд.1120 Тираж 888 ПодписноЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж.35, Раушская наб., д, 4/5 Типография, пр. Сапунова,2 двигатель также жестко закреплен на основании, а ходовая гайка приводимой им пары винт-гайка подвижно связана с жестко соединенным с предметной плитой кронштейном, проходящим через окно, выполненное в промежуточных салазках.

Смотреть

Заявка

1620964

Авторы изобретени витель

Н. И. Фейгинов, Г. И. Зайдель, Н. А. Бабицкий

МПК / Метки

МПК: B23Q 1/66

Метки: всесоюзная, пдтшно

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-365238-vsesoyuznaya-pdtshno.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Всесоюзная пдтшно-</a>

Похожие патенты