Источник ионов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 355253
Авторы: Беккер, Заболотнов, Заумыслов, Храброе
Текст
ОП ИСАЙИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт, свидетельствааявлено 05.Х 1,1971489777126-2 М, Ь,л. С 23 с 13/ОН 011 3/38 Н 01 3710 рисоединением з иПриоритетОпубликовано 16.Х,1972, Бюллетень Дата опубликования описания 15.1.1 митет по делец изобретений и открытий ори Совете тлинистрое СССР. В. Заумысло Заявитель ИСТОЧНИК ИОНО Изобретенеие относится кя ионного напыления, а также й технике.В известном источнике ионов, содержащем спиральный накальный катод и соосно расположенный с ним цилиндрический анод, плотность ионов в разряде мала.Предлагаемый источник позволяет увеличить плотность ионов в разряде за счет того, что анод расположен внутри спирали катода.На чертеже представлен предлагаемый источник, ионов, содержащий цилиндрический анод 1, спиральный накальный катод 2, вакуумную оболочку 8. Анод расположен внутри спирали катода. Ток накала катода поддержиаппаратуре длк ускорительно вает температурууровне и одновремле, требуемое длянов в плазме разрдом. 2,н здае ения жду определенном магнитное полотности иоатодом и аноенно с увели яда м 1 ет изобретени 0 Источник исодержащий р асположенн анод, отличичения плотно 5 ложен внутри напылительнои льный накальн осно ему цил ся тем, что, с цнов в разряде, али катода,оновспираый союи 1 ийсти испир установки,й катод и ндрический елью увелианод распоСоставитель Н. Соловьевовская Техред Л. Богданова Корректор О. Тюрин едактор Т. я, пр. Сапунова Типогр аказ 4245/10 Изд, М 1815 Тираж 406 Подписно1 НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
1489777
Б. Г. Беккер, В. Ф. Заболотнов, В. Заумыслов, Ю. Н. Храброе
МПК / Метки
МПК: C23C 14/32
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-355253-istochnik-ionov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Источник ионов</a>
Предыдущий патент: Устройство для нанесения гальваническихпокрытий
Следующий патент: Способ подготовки поверхности стальных изделий перед эмалированием
Случайный патент: Чугун