Устройство для получения изделий из газовой фазы

Номер патента: 594866

Опубликовано: 15.06.1980

Авторы: Гончар, Звягинцева, Митин

МПК: H05H 1/18

Метки: возбуждения, газового, диэлектрической, камере, разряда, тороидальной

...нечетное число зт, В соответствии сэтим чисЛо К должно быть нечетным. С другой стороны, для устранения подэлектродныхзон разряда с пониженной ионизацией, необхо.димо, чтобы в каждый период ВЧ поля подкаждым электродом создавалось электрическоеполе двумя соседними электродами, лежащими.по разные стороны от него. При этом каждыйподэлектродпый участок с пониженной иониза.цией будет перекрываться разрядом, возбужда.емым двумя соседними электродами, Дляполучения этого эффекта сдвиг фаз междупоследними не должен быть равен 2 Лп, гдеи - целое число.Это условие запишется как2% -2 ХпКкоткуда - ф П, т. е, к не кратно М,На фиг. 1 изображен один из возможныхвариантов предлагаемого устройства; на фиг, 2 -второй вариант,На фиг. 1 тороидальная...

Номер патента: 658535

Опубликовано: 25.04.1979

Авторы: Андрушев, Ефремов, Уткин, Чернов

МПК: G05D 23/19

Метки: газового, камере, потока, температуры

...Газового потокабаллонасжатого газа, соединенного через заюрнорсгулируюций вентиль 2 подачи газов с. Нагревателем 3 Г 230 ВОГО потока, Вы.ходная часть газового потока которого соединена трубопроводом с проточной камерй 4, являюсцейся объектом регулироваПН 51 тсмпсрятуры, реулируеъ 10 ГО источника питания 5, вход которого соединен с регулятором 6 температуры. Датчик 7 )емпературы и задатчик температуры 8 соединены с элементом сравнения 9.Между элементом 9 и регулятором 6 вклочен блок компенсации 10 изменений коэффи(С)С(та передачи объекта регулирования, состоящий из Операционных усилителей 1, 12, 13 (13 - основной, 11 и 12- дополнительные). В прямую цепь усилителя 11 включен блок 4 извлечения квадратного корпя из температуры: а в обратную...

Номер патента: 954512

Опубликовано: 30.08.1982

Авторы: Костенков, Крашенинников, Михайлов, Шумков

МПК: C23C 11/00

Метки: газовой, нанесения, паровой, покрытий, фазы

...и отвода хладоагентов. В крышке 2 укреплен патрубок 19 для подачи исходного химсоединения, а в днище корпуса 1 патрубки 20 для отвода продуктов разложенияи 21-23 для вакуумной откачки. В днище корпуса 1 предусмотрен патрубок 24для сбора конденсата. В кольцевой камере 3 смонтированы рабочий электронагреватель 25 (в зоне нагрева 7)и конденсационный электронагреватель26 (в зоне осаждения 8). Сверху кольцевая камера 3 ограничена крышкой 27,снизу опорой 28 и поворотным подом 29,установленным с минимальным зазоромна опоре заподлицо с ней и расположенными на кольцевом крсуштейне 30 супорным подшипником 31. На поворотном поде 29 укреплен подложкодержатель 32 с покрываемым иэделием 33.Вращение пода 29 осуществлено с помощью ручного или...

Номер патента: 1338451

Опубликовано: 10.03.1995

Авторы: Гусев, Костенков, Крашенинников, Тюгина, Чапля

МПК: C23C 16/00

Метки: газовой, осаждения, паровой, покрытий, фазы

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ (ПАРОВОЙ) ФАЗЫ на наружную поверхность цилиндрических изделий, содержащее горизонтальную цилиндрическую реакционную камеру, нагреватель изделия, подложкодержатель, патрубки для ввода исходного химсоединения и отвода продуктов реакции, расположенные соосно друг другу, и привод для вращения обрабатываемого изделия, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий и повышения эффективности процесса, оно снабжено ограничительной вставкой, установленной внутри реакционной камеры симметрично относительно патрубков и выполненной в виде двух кольцевых перегородок, жестко связанных радиальной перемычкой, расположенной под острым углом за вводным патрубком.2. Устройство по п.1,...

Номер патента: 440999

Опубликовано: 25.08.1976

Авторы: Звягинцев, Митин, Прядкин

МПК: H05H 1/18

Метки: возбуждения, газового, диэлектрической, камере, разряда, тороидальной

...потребл сокочастотной мощности,генератору, причем между электродами включена стабилизирующая индуктивность.Устройство содержит высокочастотныйгенератор 1, к которому через высокочастотный трансформатор 2 подключены возбуждающие электроды 3, выполненные ввиде колец и размещенные в диаметральнопротивоположных местах снаружи тороидальной диэлектрической камеры 4, Между электродами включена стабилизирующая индуктивность 5,В опытном образце устройства используюВЧ-генератор с рабочей частотой 150 мгци стационарной мощностью 1-5 квт, Генератор нагружают на медный виток, являющийся первичной обмоткой повышающегоВЧ-трансформатора. К концам двухвитковойвторичной обмотки присоединяют кольцевыеэлектроды, между которыми включена стаО билизирующая...