Способ измерения линейного размера прецизионного эталона

О П И С А Н И Е 344264ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоеетскилСоциалистическими Республик Зависимое от авт. свидетельства ЛЪ М. Кл. 6 01 Ь 11/02( 1600285,25 аявлено 11,Х 11,1 присоединением аявкириоритетпубликовано 07 Л"11,1972, Бю Комитет оо делам изобретений и открытий ори Сосете й 1 инистрое СССРУД 1 531.715.1(088.8) тень219 Х 11,1972 та опуоликова описани изобретения. Б. Каи явите СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНОГО РАЗМЕРА ПРЕЦИЗИОН НОГО ЭТАЛОНАИзобретение относится к контрольно-измерительной технике.Известен способ измерения линейного размера прецизионного эталона, например плоскопараллельной концевой меры, в длинах световых волн с применением интерференционного прибора, заключающийся в том, что эталон притирают к образцовой стеклянной пластине. Затем устанавливают эту пластину с эталоном вверху на столик прибора и определяют по интерференционным полосам расстояние от свободной измерительной поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины.При этом считают, что плоскость притертой поверхности эталона и свободная поверхность пластины или лежат в одной плоскости, или плоскость эталона выше поверхности пластины на толщину адгезионного слоя между притертыми поверхностями,В связи с этим вносится поправка на толщину слоя и для оценки качества притирки. Однако известно, что при различных притирках толщина адгезионного слоя изменяется в пределах 0,03 - 0,15 мкм. Измерение толщины адгезионного слоя практически исключено в процессе аттестации меры на интерферометре, поэтому внесение дифференцированной поправки на размер в зависимости от конкретной притирки меры также исключается. Таким образом, при аттестации мер имеетсяпогрешность измерения, обусловленная неопределенностью толщины слоя смазки и качеством притирки, так как не производится из мерение положения притертой поверхности меры относительно свободной поверхности стеклянной пластины, к которой притерта мера.Предлагаемый способ позволяет повыситьточность измерения,10 Для этого устанавливают пластину с эталоном внизу на столик прибора, определяют по интерференционным полосам расстояние от притертой поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины и опре деляют размер эталона как алгебраическуюсумму расстояний от свободной и притертой измерительных поверхностей эталона до свободной измерительной поверхности образцовой стеклянной пластины.20 Предлагаемый способ поясняется чертежоми осуществляется следующим образом.Образцовую стеклянную пластину 1 с притертым к ней эталоном (мерой) 2 устанавлиливают на столик 3 интерференционного при бора, например интерференционного компаратора, образцом вверх и определяют по интерференционным полосам расстояние 1 от свободной измерительной поверхности эталона (меры) до свободной измерительной поверхно сти стеклянной пластины. После этого устаЗаказ 219818 Изд.941 Тираж 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете МинистровСССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 навливают пластину с образцом так, чтобы эталон был внизу.Монохроматический свет проходит через стеклянную пластину на плоскость эталона. При этом получают две системы интерференционных полос: одну - на притертой поверхности эталона, другую - на свободной измерительной поверхности стеклянной пластины. По взаимному положению интерференционных полос определяют расстояние 1 притертой поверхности эталона относительно свободной измерительной поверхности пластины, Это позволяет определить точно размер Ь эталона как алгебраическую сумму размеров;1.= 1,+1. Таким образом, размер эталона (концевой меры) определяется на интерференционном приборе - комп араторе как алгебраическая сумма расстояния от свободной измерительной поверхности эталона до свободной измерительной поверхности стеклянной пластины и расстояния от притертой поверхности эталона до той же свободной измерительной пластины.Предлагаемый способ позволяет повысить точность аттестации концевых мер первого и второго разрядов, практически устранить расхождение размеров при аттестации мер на интерференционном компараторе и контактноминтерферометре. Предмет изобретенияСпособ измерения линейного размера прецизионного эталона, например плоскопараллельной концевой меры, в длинах световых волн с применением интерференционного при бора, заключающийся в том, что притираютэ 1 алон к образцовой стеклянной пластине, устанавливают эту пластину с эталоном вверху на столик прибора и определяют по интерференционным полосам расстояние от свобод ной измерительной поверхности эталона досвободной измерительной поверхности пластины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, устанавливают пластину с эталоном внизу на столик прибора, 20 определяют по интерференционным полосамрасстояние от притертой поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины и определяют размер эталона как алгебраическую сумму расстояний от свободной 25 и притертой измерительных поверхностейэталона до свободной измерительной поверхности образцовой стеклянной пластины,