Бараненкова

Номер патента: 1420933

Опубликовано: 07.06.1991

Авторы: Бараненкова, Мазин, Родионов

МПК: C09G 1/02

Метки: пластин, полирования, стеклянных, суспензии

...абразивная суспензия постоянно йодается нагОполировальные диски через отверстиев верхнем диске,После Финишного полирования стеклянные пластины подвергают 15-ступенчатой отмывке с использованием ультразвука, высушивают в парах иэопропнло-55ного спирта и контролируют качествоповерхности в коллимированном пучкесвета,Затем пластины дополнительно отмывают в 10-ступенчатой УЗ-лцпии отмывки и наносят маскирующий слой хрома нли окиси железа. Количество проколов и маскированном слое и невьггравленных точек после стандартного процесса ФотолитограФии оценивают визуально и с помощью микроскопа г 1 ССОпри 50" увеличении.Результаты испытаний приведены втаблице,При содержании сульФата цинка менее 0,005 мас.7. время осаждения рабо чей Фракции...