Красанов

Номер патента: 812148

Опубликовано: 23.11.1982

Авторы: Атаманов, Буравцев, Иванов, Красанов, Левадный, Логунов, Митин, Наседкин, Перышкин, Сатаров, Шапкин

МПК: H05H 1/00

Метки: плазмохимический, пучком, реактор, электронным

...магнитного поля, диафрагмы дифференциФальной откачки электронной пунпси, устройство.для установки обрабатываемых деталей,электронная пушка выполнена формирующейтрубчатый пучок электронов, а устройство напус 20ка газа расположено на оси электронной пушки,коаксиально с устройством для установки обрабатываемых деталей, а диафрагмы дифференциальной откачки выполнены в виде кольцевыхщелей, повторяющих форму поперечного сечениямиэлектронного пучка.При этом весь поток рабочего газа проходитчерез зону разряда трубчатой формы и обтекание невозможноНа чертеже схематично изображен плазмохи- З 0мический реактор с электронным пучком.Плазмохимический реактор содержит реакционную камеру 1, На фланце реакционнойкамеры 1 смонтированы устройство 2...

Номер патента: 512249

Опубликовано: 30.04.1976

Авторы: Ельчанинов, Зиновкин, Красанов, Панкратов

МПК: C23C 13/12

Метки: вакуумная, нанесения, поверхностью, подложки, покрытий, рельефной

...расположены испарители 3. На барабане закреплены подложкодержатели 4 с подложками 5, на которые наносится пленка 6 (фиг. 2). С внутренней и внешней сторон барабана расположены нагреватели 7.Установка работает следующим образом.Вакуумная камера 1 откачивается до давления, необходимого для термического испарения напыляемого материала. Затем включается вращение барабана 2. Подложкодержатели 4 начинают вращаться вокруг своей оси. Включаются нагреватели 7, и барабан с подложками нагревается до необходимой температуры, Затем испарители 3 нагреваются до температуры термического испарения наносимых материа лов. Пары материала при соприкосновении сболее холодными подложками осаждаются на них в виде тонких пленок.В связи с тем, что...