Гевло

Микроконтактный датчик для контроля толщины тонких покрытий и пленок

Загрузка...

Номер патента: 339763

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гарасимюк, Гевло

МПК: G01B 7/06

Метки: датчик, микроконтактный, пленок, покрытий, толщины, тонких

...с полусферическим торцом, а микроэлектроды выполнены в виде четырех изолированных секторов, напыленных на полусферический торец,Г 1 рименение предлагаемого датчика позволяет значительно уменьшить расстояние между потенциальными и измерительными контактами и соответственно уменьшить диапазон контролируемых толщин металла,На чертеже изображен предлагаемый датчик. Датчик состоит из капролонового стержня1, который свободно передвигается вдоль оси в капролоновой головке 2, Взаимно перпендикулярные канавки 3 образуют четыре омед ненные контактные площадки 4. Пружина 5обеспечивает равномерное прижатие контактной головки к контролируемой поверхности металла. Провода б служат для подачи измеренного сигнала от электродов на схему 10...