Гвардионов
Устройство для измерения толщины и показателя преломления пленки
Номер патента: 1497453
Опубликовано: 30.07.1989
Авторы: Гвардионов, Трунов
МПК: G01B 11/16
Метки: пленки, показателя, преломления, толщины
...пленки, содержащее лазер, подложку длякрепления пленки, систему зеркалдля Формирования двух, лучей света инаправления их на подложку под разными углами, систему регистрации отраженного от подложки излучения, камеру травления с регулируемым уровнемтравителя, второй лазер, светоделитель, опорное зеркало и систему регистрации интерференционной картины,размещенные по схеме интерферометраМайкельсона, в измерительном каналекоторого расположена подложка, свободный край которой оптически связансо светоделителем, а другой край закреплен в камере травления так, чтолучи света, падающие на подложку подразными углами, сходятся на ней вблизи точки закрепления, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с, целью ловьппения достоверности и точности...
Устройство для измерения толщины и показателя преломления пленки
Номер патента: 1397722
Опубликовано: 23.05.1988
Авторы: Гвардионов, Трунов
МПК: G01B 11/16
Метки: пленки, показателя, преломления, толщины
...10 травления с регулируемымуровнем травителя, лазер 11, светоделитель 12, опорное зеркало 13 исистему 14 регистрации интерференционной картины. Элементы 11-14 раз" 25мещены по схеме интерферометра Майкельсона, в котором вместо зеркала,размещенного в измерительном плече,использован свободный край подложки2, которая консольно закреплена в камере 10 травления так, что лучи света, падающие на подложку под разнымиуглами, сходятся на ней вблизи точки закрепления,Устройство работает следующимобразом, ционной картины, где они интерферируют,При стравливании пленки с подложки 2 получают информацию о толщине,показателе преломления и распределе"нии напряжений по толщине пленки, Дляраспределения напряжений по толщинепленки справедлива...