Проссовский
Способ калибровки кварцевого датчика, расположенного в измерительной головке автоматической системы контроля толщины тонких слоев
Номер патента: 1446481
Опубликовано: 23.12.1988
Авторы: Брик, Проссовский, Тюрникова
МПК: G01G 3/16
Метки: автоматической, головке, датчика, измерительной, калибровки, кварцевого, расположенного, системы, слоев, толщины, тонких
...например, нагревают ее до температуры Т. Заносят в память управляющего компьютера числа М и Ь а также другие параметры технологического процесса (скорость роста пленки, давление кислорода, мощности испарителей и т.д.), где М и Ь - объемная плотность иромтолщина слоя. Проводят в автоматическом режиме испарение требуемого вещества до тех пор, пока поверхностная плотность слоя не достигнет величины д = М Ь , Процесс испаренияртм ртмпрекращается автоматически, Во время45 испарения вещества второй кварцевый датчик, нагретый до температуры Т, может быть неподвижным или совершать движение, например, по окружности, Приемная апертура (площадь слоя) первого и второго кварцевых датчиков50 одинакова, После испарения слоя вещества вакуумную камеру...