Устройство для измерения толщины и показателя преломления пленки

) 4 С 01 В 11/16 ПИС О ВТОРСКОМУ Сви ЬСТВУ ольэовано приоказателя прел Целью иэобрете ние достоверно ний за счет сн х ма зеркал формирует зера два луча света на подложку под ра рации. Сист излучения л аправяяет и и ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГННТ СССР(088. 8)видетельство СССР01 В 11/16, 1987.ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ПЛЕНотносится к измее и может быть исизмерении толщины и омления покрытий. ия является повышети и точности измер ижения влияния внешни Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении толщины и показателя преломления покрытий.Целью изобретения является повышение достоверности и точности измерений за счет снижения влияния внешних вибраций.На чертеже изображено устройство для измерения толщины и показателя переломления пленки,Устройство содержит лазер 1, подложку 2 для крепления пленки, систему зеркал 3-5 для формирования двух лучей света и направления их на подложку 2 под разными углами, систему 6-9 регистрации отраженного от подложки 2 излучения, камеру 10 трав.пеными углами,.отраженное от подложкиизлучение поступает в систему регистрации. Одновременно с этим излучение от второго лазера поступаетна светоделитель, расщепляющий излучение на опорный и измерительныйпучки. Результат их интерференциификсирует система регистрации интерференционной картины. В процессе измерений пленку стравливают и по изменению интерференционной картиныопределяют толщину и показатель преломления пленки. Для повышения достоверности и точности измерений отражающим элементам опорного и измерительного каналов сообщают синфазныеколебания, для чего используют вибраторы, подключенные к низкочастотномугенератору. 2 з.п.ф-лы, 1 ил.ния с регулируемым уровнем травителя,второй лазер 11, светоделитель 12,опорное зеркало 13 и систему 14 регистрации интерференционной картины, 3размещенные по схеме интерферометра 4 ЬМайкельсона, в измерительном канале фП1 которого расположена подложка 2, сво- ффбодный край, который оптически связансо светоделителем 12, а другой крайзакреплен в камере 10 травления такимобразом, что лучи света, падающиена подложку 2 под разными углами, юсефсходятся на ней вблизи точки закреп-Зьления, низкочастотный генератор (непоказан), два вибратора 15 и 16, каждьцй из которых подключен к одному изего полюсов, один иэ вибраторов 15,16, размещен на свободном крае подпоперечные колебания, совпадающиепо амплитуде, Фазе и частоте. Этопозволяет снизить влияние внешнихвибраций. Формула и з обретения 1. Устройство для измерения толщины и показателя преломления пленки, содержащее лазер, подложку длякрепления пленки, систему зеркалдля Формирования двух, лучей света инаправления их на подложку под разными углами, систему регистрации отраженного от подложки излучения, камеру травления с регулируемым уровнемтравителя, второй лазер, светоделитель, опорное зеркало и систему регистрации интерференционной картины,размещенные по схеме интерферометраМайкельсона, в измерительном каналекоторого расположена подложка, свободный край которой оптически связансо светоделителем, а другой край закреплен в камере травления так, чтолучи света, падающие на подложку подразными углами, сходятся на ней вблизи точки закрепления, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с, целью ловьппения достоверности и точности измерений, оно снаЬжено низкочастотным генератором и двумя вибраторами, каждыйиз которых подключен к одному из егополюсов, один из вибраторов размещенна свободном крае подложки, а другойна опорном зеркале интерферометра.2, Устройство по п.1, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что опорноезеркало интерферометра выполнено ввиде консольно закрепленной подложки,на одной поверхности незакрепленногокрая которой нанесено зеркальноепокрытие, а на другой размещен второйвибратор,3, Устройство по пп. 1 и 2, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что вибра"торы выполнены в виде неэкранированных проводящих элементов. 3 1497453 ложки 2, а второй - на опорном зеркале 13 интерферометра, опорное зеркало 13 интерферометра выполнено в виде консольно закрепленной подложки, 5 на одной поверхности незакрепленного края которой нанесено зеркальное покрытие, а на другой размещен второй вибратор 16, вибраторы 15 и 16 выполнены в виде неэкранированных проводящих элементов.Устройство раЬотает следующим образом.Излучение лазера 1 поступает в систему зеркал 3-5, которая формирует из него два луча света и направляет их на подложку 2 под разными углами в точку, расположенную вблизи места крепления. подложки 2 в камере 10 травления с регулируемым уровнем 2 О травителя. Отраженное от подложки 2 излучение поступает в систему 6-9 регистрации, Одновременно с этим излучение от лазера 11 поступает на светоделитель 12, который расщепляет его на два пучка, один из которых ццет на зеркальное покрытие опорного зеркала 13, выполненного в виде консольно закрепленной подложки, а другой - на свободный край подложки ЭО 2, консольно закрепленной в камере 10 травления. Отразившись от свободного края подложки 2, этот пучок возвращается на светоделитель 12. Туда же поступает и первый пучок :отразившийся от зеркального покрытия опорного зеркала 13. Светодели тель 12 направляет оба пучка в систему 14 регистрации интерференционной картины. При травлении пленки в каме-щ ре 10 травления подложка 2 изгибает" ся и система 14 регистрации интерференционной картины Фиксирует изменения интерференционной картины, по которым получают информацию о толщине и показателе преломления пленки.В процессе измерений вибраторы 15 и 16, подключенные к низкочастотному генератору, сообщают подложкам1497453 Составитель В.КостюченкоТехред И.Ходанич Корректор Э.Лончакова Редактор Н.Горват Заказ 4429/41 Тираж 683 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101