Способ получения электропроводящих покрытий

О П И С А Н И Е 255394ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства М аявлено 01.Ъ 1 52425/26-9) л. 21 с, 54/05 присоединением заявки ПриоритетОпубликовано 28.Х.1969. Бюллетень МДата опубликования описания 6.17.197 МПК НО УДК 621. Комитет по делам изобретений и открыти при Совете Министров ссср49(088.8 торыобретен Б. П, Крыжановский и Л. А, Через явител ПОКРЫТИЙ ЭЛ ЕКТРОП РОВ СПОСОБ ПОЛУЧЕ Целью настоящего из обре разработка способа получения диэлектриков покрытия, удель ное сопротивление которо 10 е - 101 о ом, а электрические меняются при действии восста мосферы в интервале темп 1000 С,тения является на поверхности ное поверхност го составляет свойства его не новительной агератур от 20 до30 аз ту но Настоящее изобретение относится к технологии изготовления радиоэлектронной аппаратуры, а именно к способам получения электропроводящих покрытий на диэлектриках, используемых, например, в качестве электродов фотоэлектронных и люминисцентных приборов,Известны способы получения электропроводящих покрытий, основанные на нанесении на поверхность диэлектриков тонких слоев ме талла или полупроводникового материала.Однако известными способами невозможно получить покрытне, устойчивое к восстановительной атмосфере при повышенных температурах. Так, например, полупроводниковые слои двуокиси олова и окиси индия разрушаются в среде водорода, окиси углерода, сернистого водорода и других восстановителей при температуре выше 300 С, а слои окислов вольфрама и молибдена в этих условиях постепенно восстанавливаются до металла. Для этого на поверхности диэлектрика вначале наносят слой пз смеси двуокиси кремния и двуокиси титана (ЯО - ТО.), который затем обрабатывается в атмосфере сухого ам. миака при температуре 800 - 1000 С. Слой смеси ЯО 2 - Т 10 можно нанести, например, химическим методом, путем гидролиза спиртового раствора, содержащего этиловые эфиры ортокремнпевой и ортотитановой кислот, На центр поверхности горизонтально расположенной вращающейся детали подается дозированное количество раствора, В результате растекания раствора, испарение растворителя (спирта) гидролиза эфира 51: (ОС. Н-), Т 1 (ОС. Н-) ц последующего прогрева при температуре 350 С на поверхности диэлектрика образуется слой смеси двуокиси кремния и двуокиси титана, толщина которого зависит от общей концентрации эфиров, количества подаваемого раствора и скорости вращения детали. Возможно также нанесение слоя смеси поливом пли одновременным катодным распылением титана и кремния.После обработки покрытия в потоке сухого аммиака при 800 в 10 С образуется слой смеси нитрида титана и двуокиси кремния (510 - Т 1 М), Время обработки для полногоотирования покрытия зависит от темперары, обработки аммиаком, толщины исходго слоя и концентрации в нем двуокиси ти255394 Предмет изобретен ия Составитель Э. ФридолинаТехред Л. В, Куклина Корректор С. А. Кузовенкова Редактор В. Кузнецов Заказ 650/12 Тираж 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква Ж.35, Раушская паб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 тана. Чем ниже содержание Т 102 в слое, тем выше электросопротивление и меньше свето- поглощение покрытия.В условиях вакуума (10 4 мм рт. ст.) и восстановительной атм осферы покрытия 510 в - Т 1 М устойчивы до температуры 1000 С.Слои ЯО 2 - Т 1 Х обладают высокой механической прочностью и адгезией к таким диэлектрикам, как плавленный кварц, корундиз и другая керамика на основе окиси алюминия. Для удаления слоев требуется шлифовка порошком электрокорунда.Длительное пребывание в воде не меняет свойств покрытия.Описанный способ получения электропроводящих слоев может быть использован для создания стабильных резисторов, прозрачных электродов и покрытий, служащих для выравнивания высоковольтного градиента потенциала на поверхности диэлектриков в восстановительной среде при повышенных температурахх. Способ получения электропроводящих покрытий, отличающийся тем, что, с целью по вышения поверхностной электропроводностидиэлектриков и устойчивости их к восстановительной среде (например водорода, окиси углерода, углеводородов), на поверхность диэлектриков наносят слой из смеси двуокиси 15 кремния и двуокиси титана и подвергают егообработке в атмосфере сухого аммиака при температуре 800 - 1000 С,