Патеитнотехническая10киблиотека

232392 О П И С А Н И ЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республиквисимое от авт. свидетельства Ло -явлено 20.111.1961. (Лоо 710344/26-25присоединением заявки М -МПК Н 011 риорите Комитет по дел изобретений и откр при Совете Минно СССРубликовано 03,Х 11.1969. икования описания ата опу ОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОВОЛЪТНЫХ КРЕМНИЕВЫХ СИЛОВЪХ ВЕНТИЛЕЙИзобретение относится гии производства полупр кремниевых вентилей.Предлагаемый способ чисто диффузионный мет но-дырочного перехода ни и. к области технолоодниковых мощных представляет сооои од создания электрон- в электронном крем 5б ида тип Диффузионныи метод получения высоковольтных вентилей основан на том, что пробивное напряжение зависит и от глубины залегания электронно-дырочного перехода, Это означает, что, увеличивая температуру и время диффузионного прогрева, можно получить вентиль с большим пробивным напряжением из сравнительно низкоомного кремния.Предлагаемый способ делится на ряд основных операций:напыление борного ангидр на поверхность кремниевой пластины а- а в вакууме с целью создания источника диффундирующего вещества;прогрев кремниевой пластины с напылением борного ангидрида при температуре 1300"С в течение 15 - 30 час на воздухе для создания плавного электронно-дырочного перехода;односторонняя шлифовка кремниевой пластины на шлифовальном станке с целью удаления диффузионного слоя с одной стороны;одностороннее химическое никелирование кремниевой пластины с последующим вжиганием при 1200 С в течение 10 лшн на воздухе для получения хорошего активного контакта с базовой областью элемента;химическое никелирование кремниевой пла стины и вжигание при 800 10 мин в атмосфереводорода с целью получения хороших омическпх контактов;обслуживание припоем отникелированныхповерхностей пластинки и припайка токоотводящих электродов в виде молибденовых дисков, покрытых оловом;снятие фаски на специальном приспособлении для предотвращения возможного закорачивания электронно-дырочного перехода;травление в кипящей щелочи без каких-лио защитных покрытий с целью упрощенияочистки области электронно-дырочного перехода от загрязнений;сборка выпрямительного элемента в корпус. О Следует отметить, что такая технология неограничивает размеры получаемых выпрями- тельных элементов. Можно изготовлять выпрямительные элементы площадью от нескольких квадратных миллиметров до максимального 5 размера, ограниченного сечением монокристалла кремния.При изготовлении предлагаемым методомвентилей полностью исключен сплавной метод.Это позволяет, помимо устранения недостат ков сплавной технологии, полностью избежать232392 Предмет изобретения Составигель О, федюхинаТскред Л. Я. Левина Корректор Л. Б. Бадылама Редактор Е, Мельникова Заказ 794/4 праги 500 Подписное4 НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Сонете Министров СССР Москва, К. Раушская иао, д. 4/5 Типог 1)а(1 ииг, пр. Сайт иова, 2 возникновения каких-либо механических напряжений в выпрямленном элементе, неизбежных при сплавной технологии, Диффузионный вентиль представляет собой механически весьма прочную конструкцию.Существенным преимуществом предлагаемой технологии является возможность унификации производства всех классов силовых вентилей на заводе, начиная с вентилей на токи в несколько ампер и кончая токами до сотен ампер, получая при этом большой выход высоковольтных вентилей. 1. Способ изготовления высоковольтныхкремниевых силовых вентилей, основанный на диффузии примеси в кремний, от.гичагощийся тем, что, с целью упрощения процесса изготовления вентилей и повышения величины пх пробивного напряжения, на низкоомный кремний напыляют слой борного ангидрида и проводят диффузию бора в поверхностный слой кремния в атмосфере воздуха.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что,с целью упрощения очистки р-гг-перехода с по верхности кремния от загрязнений, с поверхности кремниевой пластины снимают наклонную фаску и травят пластину в кипящей щелочи.3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, 15 с целью упрощения конструкции вентиля и сокращения его габаритов, внутреннюю втулку стеклоизолятора вентиля используют для размещения гибкого вывода.