Источник молекулярных пучков

Номер патента: 1638220

Авторы: Войтенко, Заславский, Санфиров

ZIP архив

Текст

(51) 5 ОП Е ЕТЕН А ВТОРСКОМУ ЕТЕЛЬСТВ 668448/266.01,89О. 03. 91. Бюла чно-тех 22 (46 иненк та. труъединени есентИзобретениеночной техноло тносится тенко и, молекулярно-луче может быть использо эпитаксии ано в научных и анных с разрабо едованиях, свяй новых материали. роэлектрон изобретен повышение ст бильности работы На чертеже пре общий вито чника авлен источник,Исторолитично ти гл мно Гослигля 1 ло 4, и ля 1. К тельнотермопплеч те ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР 71) Н у ническое обАН СССР(54) ИСТОЧНИК МОЛЕКУЛЯРНЫХ ПУЧКОВ(57), Изобретение относится к получению тонких пленок методом молекулярно-лучевой эпитаксии, Обеспечиваетповышения стабильности работы источдчник содержит тигель 1 из пиеского нитрида бора. Коаксиалью 1 установлены нагреватель 2ойный экран 3, Нижняя часть помещена в металлическое седмеющее форму нижней части тиг" седлу 4 симметрично относиоси вращения приварены плечи ры 5, Симметричное размещение рмопары 5 необходимо для исклюника, Источник содержит тигель. Тигель окружен нагревателем и многослоным экраном. На нижнюю часть тиглянадето металлическое седло, соедное с термопарой, Седло поджатотиглю при помощи упругого элеменУпругий элемент выполнен в видебы с поперечными прорезями. Тигель иупругий элемент выполнены из пиролитического нитрида бора. Упругий элемент и седло обеспечивают надежныйконтакт термопары с тиглем, что обпечивает возможность выращивать плку со строго определенными парамерами, 1 ил,чения погрешности в определении температуры, обусловленной радиапьнымградиентом температур. Седло 4 поджи- ффеф мают к тиглю 1 при помощи упругого фф элемента из нитрида бора, выполненно- (1 го в виде трубы 6 с поперечными про- (ф резями 7. При сборке источника трубу Я 6 сжимают так, что при любых изменениях температуры в пределах рабочегодиапазона она остается в сжатом состоянии. Кроме того, упругое состояние трубы 6 обеспечивается наличием вкорпусе 8 снизу вставки 9, а сверху тигель 1 зафиксирован лапками 10.Источник молекулярных пучков рабо"аю 3 тает следующим образом.В тигель 1 загружают исходное ве- щество и размещают источник в камере роста установки молекулярно-лучевой эпитаксии Тигель 1 нагревают,16 38220 Составитель Н. ДавыдТехред Л Сердюкова рректор Н Ревская Редактор А. Маковская Тираж 2 Заказ 904 ВНИИПИ Гос одписное ри ГКНТ ССС открытия д. 4/5 омитета по изобретениям осква, Ж, Раушская н рственн 1130иэводственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгорол, ул. Гагарина, 101 величину температуры контролируют спомощью термопары 5 осуществляющейобратную связь между мощностью, выделяемой нагревателем, и температурой вещества находящегося в тигле 1.Изменение относительных размеровдеталей источника при изменении температуры компенсируют упругим элементом. При этом нарушения жесткости всей 1 Оконструкции не происходит и обеспечивается неизменное взаимное положениеседла 4, соединенного с термопарой 5и нйжней части тигля 1,Предлагаемый источник обеспечивает полное соответствие между показаниями , термопары 5 и плотностью потокаизлучаемого источником вещества, чтообеспечивает возможность выращиванияпленки со строго определенными пара-. 20метр амн. Формула изобретения Источник молекулярных пучков дляустановок молекулярно-лучевой эпитаксии, содержащий тигель иэ пиролитичес.кого нитрида бора, установленные коаксиально ему нагреватель и экраны, упругий элемент, охватывающий нижнюючасть тигля дпя контакта его с термопарой, установленной под тиглем, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения стабильности в работе источника, он снабжен металлическим седлом,соединенным с термопарой, размещенныммежду тиглем и упругим элементом иимеющим форму нижней части тигля, аупругий элемент выполнен в виде трубыс поперечными прорезями иэ материалатигля,

Смотреть

Заявка

4668448, 26.01.1989

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ АН СССР

ВОЙТЕНКО СЕРГЕЙ МИХАЙЛОВИЧ, ЗАСЛАВСКИЙ СЕРГЕЙ ЛЕОНИДОВИЧ, САНФИРОВ ЮРИЙ ЗАХАРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C30B 23/08

Метки: источник, молекулярных, пучков

Опубликовано: 30.03.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1638220-istochnik-molekulyarnykh-puchkov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Источник молекулярных пучков</a>

Похожие патенты