159371
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 159371
Текст
Класс 48 д, 6 ЧПК С 23 с Заявлено 1 О. Х.1962 (М 794214/26-9) ГОСУДАРСТВЕННЫИКОМИТЕТ НО ДЕЛАМИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙСССР Опубликовано 07.Х 11.1963. Б 1 оллегень М 24 В, М. Кочегаров, Л, Н, Колесов, О В. Д. Самуйленкова и К. Л. Афанасьев ЕРХНОСТИ ГЕРМАНИЯСПОСОБ ЗАЩИТЪ П кууме смеси кремнияГ)двуокиси кремния, нагретых до температуры 1500 - 1600 С при вакууме порядка 5.10 в л 1 л рт. ст. При этом расстояние испарителя до пластинки равно 50 л 1 лг, время напыления - 10 л 1 ин, толщина полученных пленок менее 0,5 л 1 н. Далее пластинку с нанесенной пленкой окиси кремния в течение 40 л 1 ин нагревают до 200 С, затем 20 л 1 ин выдерживают при той же температу. ре, после чего охлаждают до комнатной температуры со скоростью 7 град/л 1 ин. Пластинка с напыленной пленкой окиси кремния при указанном режиме поступает на операцию проявления, при которой снимают пленку фотоэмульсии и получают заданный рисунок. Пленку полиамидной эмульсии снимают погружением пластины в 6%-ный раствор перекиси водорода при 60 - 70 С на 1 - 2 л 1 ин. В результате на поверхности германиевой пластинки образуется рисунок из защитной пленки окиси кремния на тех участках, где не должно быть диффузии примесей из газовой среды.Полученная таким образом защитная пленка обладает хорошей адгезией к поверхности германия, эластична и беспориста при нагревании до 1000 С. Защитную пленку легко мОжнО снять раствором плавиковой кислоты.Описанный способ может быть использован в радиотехнической промышленности при производстве различных микроэлементов и микИзвестен способ защиты поверхности германия от диффузии примесей путем окисления поверхности германия. Известен также способ получения пленок окиси кремния, напыляемых на подложки из различных материалов путем испарения в вакууме,В предлагаемом способе защиты поверхности германия для упрощения способа и повышения надежности защиты поверхности германия от диффузии примесей по заданному рисунку в качестве испаряемого защитного материала используют смесь кремния и двуокиси кремнр 1 я.Предложенный способ позволяет получить эластичные защитные пленки, обладающие хорошей адгезией к поверхности германия и выдерживающие температуру до 1000 С,Сущность способа заключается в том, что на поверхности германия создают окисную пленку путем напыления в вакууме смеси кремния и двуокиси кремния. Для этого герм аниевую пластинку подвергают физико-химической обработке - шлифованию, обезжириванию и травлению. Затем на пластинку наносят слой фотоэмульсии (например, на основе полиамидной смолы) и фотолитографическим способом создают рисунок 1 негатив для заданного рисунка при диффузии). Потом пластинку помещают в вакуумную камеру для напыления окиси кремния. Пленки окиси кремния получают при испарении в ваПодписная группа211 г;с.111Пасичны,159371 Редактор Т. В. Данилова 1 ехред А. А. Камыщникова Корректор Т, Д. Хромцева Подл, к печ. 6/111 - 64 г. Формат бум, 60)(90/з Объем 0,23 изд. л. Заказ 3544 Тираж 1775 Цна 5 коп ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР Москва, Центр, пр, Серова, д. 4.Типография, пр. Сапунова, 2. рорадиоузлов как в виде твердых схем, таки в пленочном исполнении. Предмет изобретен и я Способ защиты поверхности германия позаданному рисунку от диффузии примесей с помошью окисной пленки, напыляемой путем испарения в вакууме, отл ич а ющи й с я тем, что, с целью упрощения способа и повышения надежности защиты, в качестве испаряемого защитного материала используют смесь кремния и двуокиси кремния,
СмотретьЗаявка
794214
МПК / Метки
МПК: C23C 14/10
Метки: 159371
Опубликовано: 01.01.1963
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-159371-159371.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">159371</a>
Способ очистки полимеризатов окисей алкиленов от кислых примесей
Номер патента: 747861
Опубликовано: 15.07.1980
Авторы: Бычков, Кладькова, Лебедев, Прохоров, Рогинская, Рыжов, Сименидо, Шульга
МПК: C08G 65/30
Метки: алкиленов, кислых, окисей, полимеризатов, примесей
...например, на основе сополимеров стирола и дивинилбензола с различными степенью ешивки и удельной поверхностью.Как было сказано выше, в случае очистки полимеризатов катионной полимеризации,.перед обработкой указанных полимеризатов высокоосновными анионитами рекомендуется проводить нейтрализацию основной массы (до 95-99 от исходного количества) кислых примесей соединениями основного характера (например, гидроокисями, карбонатами, силикатами щелочных и щелочно-земельных металлов, аммиаком), в том числе в среде непрореагировавшего мономера. Указанную нейтрализацию предпочтительно осуществлять при 5-20 О С. Образовавшиеся в виде осадка продукты нейтрализации отделяют от очищаемых полимеризатов фильтрованием центрифугированием и др, Затем...
Способ приготовления пленкообразующих растворов для получения поверхностного источника диффузии примесей в кремний
Номер патента: 1400376
Опубликовано: 27.06.2000
Авторы: Локтаев, Нисневич, Пайвель
МПК: H01L 21/225
Метки: диффузии, источника, кремний, пленкообразующих, поверхностного, приготовления, примесей, растворов
Способ приготовления пленкообразующих растворов для получения поверхностного источника диффузии примесей в кремний, содержащих органический растворитель, воду, катализатор гидролиза тетраэтоксисилана, соединения легирующих примесей и тетраэтоксисилан, включающий растворение части компонентов, включая тетраэтоксисилан; гидролиз тетраэтоксисилана и растворение оставшихся компонентов в растворе гидролизованного тетраэтоксисилана, отличающийся тем, что, с целью улучшения параметров диффузионных слоев за счет повышения вязкости растворов, раствор гидролизованного тетраэтоксисилана перемешивают, нагревая до температуры 50 - 90oC, пока его объем не уменьшится в 1,2 - 2,5 раза.
Способ определения коэффициента диффузии примесей в тонких металлических пленках
Номер патента: 1346977
Опубликовано: 23.10.1987
Авторы: Верченко, Колесниченко
МПК: G01N 13/00
Метки: диффузии, коэффициента, металлических, пленках, примесей, тонких
...значение),где 0 55 по 1 134697Изобретение относится к исследованию физических свойств веществ и может быть использовано для определения коэффициента диффузии примесей5в тонких металлических пленках, атакже для изучения размерных явленийв проводимости тонких пленок.Целью изобретения является повышение точности определения путем исклю Очения влияния диффузионного рассеянияносителей тока на результаты измерений.П р и м е р. Определение коэффициента диффузии примесей золота в 15тонкой металлической пленке серебра,Пленку серебра толщиной й = 5 к1.0 см помещают в магнитное полекатушки так, что магнитное поле перпендикулярно поверхности пленки, 20Измеряют электропроводность пленкипри различных значениях напряженности Н магнитного поля и...
Способ предотвращения диффузии примесей из изделий из кварцевого стекла в расплав полупроводникового металла
Номер патента: 141999
Опубликовано: 01.01.1961
Авторы: Ботвинкин, Запорожский
МПК: C03C 23/00
Метки: диффузии, кварцевого, металла, полупроводникового, предотвращения, примесей, расплав, стекла
...составляет 50 - 100 милливатт на 1 слР рабочей поверхности 7 изделия 4, Величину напряжения отрицательного смешения прннимаюг в пределах 100 - 200 в на 1 лл толщины стенки 8 изделия 4, но не менее 400 в при толщине стенки, меньше 3 л,ц,При подаче отрицательного электрического смещения на нару.к ную поверхность 3 изделия 4 в системе расплав 2 - изделие 1- -катод б возбуждают слабый электрический ток, обусловленньш диффузионным перемещением примесных катионов, содержащихся в кварцевом стекле изделия 4, от внутренней положительно заряженной поверхности 7 изделия 4 к наружной поверхности 3, находящейся под1999 отрицатеджйым потенциалом. Этим снижают термодиффузию примесныхкатионов из материала изделия 4 в расплав 2 полупроводникового...
Способ количественного определения кремния и германия в их сплаве
Номер патента: 305368
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Кучер, Лалыкина, Лебедев, Овчинников, Соколова
МПК: G01N 24/08
Метки: германия, количественного, кремния, сплаве
...Сх/е/о/ = 100 /о - Сьи + СОе 1 (З)Анализ характеризуется наибольшей точностью, если добавлять к сплаву кремний в весовом соотношении 2: 1 при содержании германия в сплаве Сс,) 70/о, и германий в том же соотношении для сплавов с Сас(70%.Измерения ЯМР проводят при - 52 С, Измеряют отношение амплитуд (5) линий поглащения Р от фторидов кремния и германия. По измеренным отношениям в растворе чистого сплава и сплава с добавкой германия (или креыии 11) 11 по калиброво 1 ной кр 11 вой,ПОСтрОЕННОй В КООрдИНатаХ 5 эт (Ся 1/Ссе)эт вычисляют абсолютное содержание кремния, германия и примесей, используя соотношения (1), (2), (3).5Предмет изобретенияСпособ количественного определения кремния и германия в их сплаве по отношению амплитуд сигналов...