Способ предотвращения диффузии примесей из изделий из кварцевого стекла в расплав полупроводникового металла
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 141999
Авторы: Ботвинкин, Запорожский
Текст
Подпасная группа14 э" А. И. Запорожский и О. К. Ботвинкин СПОСОБ ПРЕДОТВРАЩЕНИЯ ДИФФУЗИИ ПРИМЕСЕЙИЗ ИЗДЕЛИЙ ИЗ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА В РАСПЛАВПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МЕТАЛЛА Заявлено 20 марта 1961 г. за ЛЪ 722900/29 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРОпубликовано в Бюллетене изобретений Лв 20 за 1961 г. Известны способы предотвращения диффузии примесей из изделий из кварцевого стекла в расплав полупроводникового металла. Однако эти способы недостаточно эффективны.В описываемом способе для предотвращения термодиффузии примесных ка 1 ионов из изделия, изготовленного из кварцевого стекла, и усиления сорбционных свойств его внутренней поверхности на наружную поверхность изделия от маломощного источника постоянного тока подают ток мощностью 50 - 100 милливатт на 1 слР рабочей поверхности изделия из кварцевого стекла.На чертеже изображено устройство для осуществления способа.Способ предотвращения диффузии примесей состоит в том, что при выращивании монокристалла 1 из расплава 2 полупроводникового металла на наружную поверхность д изделия 4 из кварцевого стекла, в котором происходит процесс плавки и выращивания монокрнсталла 1, подают отрицательное смещение от маломощного источника тока, имеющего хорошую стабилизацию. С этой целью между изделием 4 и графитовым катодом б помещают тонкий слой б графитового порошка. Электрическая мощность, обусловленная напряжением смешения, составляет 50 - 100 милливатт на 1 слР рабочей поверхности 7 изделия 4, Величину напряжения отрицательного смешения прннимаюг в пределах 100 - 200 в на 1 лл толщины стенки 8 изделия 4, но не менее 400 в при толщине стенки, меньше 3 л,ц,При подаче отрицательного электрического смещения на нару.к ную поверхность 3 изделия 4 в системе расплав 2 - изделие 1- -катод б возбуждают слабый электрический ток, обусловленньш диффузионным перемещением примесных катионов, содержащихся в кварцевом стекле изделия 4, от внутренней положительно заряженной поверхности 7 изделия 4 к наружной поверхности 3, находящейся под1999 отрицатеджйым потенциалом. Этим снижают термодиффузию примесныхкатионов из материала изделия 4 в расплав 2 полупроводникового мЬалла ввиду наличйя искусственно возбужденного энергетиче кого барьера, обусвевленного постоянным электрическим полем, в котором находится материал изделия 4, Одновременно происходит усиление сорб 1 ионйых "свойств внутренней поверхности 7 изделия 4, что способствуетудержанию примесных частиц, содержащихся в расплзве 2 полупроводникового металла, вблизи поверхности 7 вследствие усиления поляризационного пограничного эффекта,Описываемый способ позволяет резко повысить чистоту и качество полупроводниковых монокристаллов. Предмет изобретения Способ предотвращения диффузии примесей из изделий из кварцевого стекла в расплав полупроводникового металла, о т л и ч а ющи йся тем, что, с целью предотвращения термодиффузии примесных катионов из кварцевого изделия и усиления сорбционных свойств его внутренней поверхности, на наружную поверхность кварцевого изделия маломощным источником постоянного тока подают ток мощностью 50 в 1 милливатт на 1 см рабочей поверхности кварцевого изделия. Составитель В. А. Бродский Редактор А, К. Лейкина Техред А. А. Кудрявицкая Корректор Ю. М. Федулова Поди, к печ, 29.Х 1-61 гЗак, 3055 Формат бум 70 Х 108 /,Тираж 750 ЦБТИ прн Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, М. Черкаскнй пер., д, 2/б, Объем 0,18 нзд. л, Цена 4 коп. Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14.
СмотретьЗаявка
722900, 20.03.1961
Ботвинкин О. К, Запорожский А. И
МПК / Метки
МПК: C03C 23/00
Метки: диффузии, кварцевого, металла, полупроводникового, предотвращения, примесей, расплав, стекла
Опубликовано: 01.01.1961
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-141999-sposob-predotvrashheniya-diffuzii-primesejj-iz-izdelijj-iz-kvarcevogo-stekla-v-rasplav-poluprovodnikovogo-metalla.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ предотвращения диффузии примесей из изделий из кварцевого стекла в расплав полупроводникового металла</a>
Предыдущий патент: Способ дозирования жидкого металла
Следующий патент: Способ получения полупроводниковых слоев двуокиси олова
Случайный патент: Устройство для обжатия переднего конца