Способ приготовления пленкообразующих растворов для получения поверхностного источника диффузии примесей в кремний

Номер патента: 936743

Опубликовано: 07.02.1985

Авторы: Колоскова, Локтаев, Нисневич, Пайвель, Чернова, Шицель

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузии, источника, поверхностного, раствор

...обеспечивает получение гомогенного .раствора со сроком службы более 10 суток, . - Увеличение концентрации эфира ортоборной кислоты более 47 мас.нецелесообразно, так как при этом не увеличивается уровень легирования, а уменьшение ниже 32,2 мас.% - может привести к нарушению гомогенности раствора из-за образования борной кислотыпри избытке воды по отношению к эфиру ортоборной кислоты,. Концентрациятетраэтоксисиланаобеспечивает получение вязкости раствора не менее 5 сСт и связываниелишней воды, содержащейся в растворе 10и растворимых соединениях алюминияили галлия.Количество этилового спирта и воды должно обеспечить растворение соединений легирующих элементов и продуктов гидролиза тетраэтоксисилана,Уменьшение концентрации воды...

Номер патента: 1040975

Опубликовано: 23.04.1985

Авторы: Локтаев, Нисневич, Пайвель, Щицель

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузии, донорный, источника, поверхностного, раствор

...тем,что донорный раствор для полученияповерхностного источника, содержащийрастворитель 1 тетраэтоксисилан, ката"лизатор и ортофосфорную кислоту со"держит компоненты в следующем количественном соотношении, мас.7:Растворитель 45-62Катализатор 0,2-1,5Тетраэтоксисилан 19,4-28,5Ортофосфорная кислота 70 -ная 18-25.Причем в качестве растворителяиспользуется смесь воды и этиловогоспирта при их объемном соотношенииот 1:30 до 1:6,Соотношение компонентов растворапозволяет получить пленку легированного окисла (после термодеструкции)толщиной около 1 мкм с содержаниемв нем окисла фосфора около 60 мас,Е,которая является практически неограниченным источником фосфора при создании дидйузионных слоев и+-типа толщиной до 200 мкм.В то же время...

Номер патента: 669695

Опубликовано: 23.03.1986

Авторы: Берлин, Локтаев, Лягущенко, Марквичева, Нисневич, Петрова

МПК: C30B 31/06

Метки: диффузии, донорной, источника, примеси, раствор

...при диффузии,происходит уменьшение поверхностной концентрации фосфора ниже требуемых значений.Тетраэтоксисилан 7 - 19Кроме того, раствор может содержать азотнокислые соли элементов 111 группы главной подгруппы при содержании азотной кислоты 0,2-1,0 мас.7 или элементов 11 группы главной подгруппы при содержании азотной кислоты 1,0-9,0 мас. .При приготовлении раствора в эти-, ловом спирте растворяют сначала азотнокислые соли элементов, затем ортофосфорную кислоту. При этом часто выпадают в осадок фосфаты элементов, которые затем растворяются при введении в раствор азотной кислоты.П р и м е р. Было испытано несколько растворов для получения источника диффузии (составы представлены в табл.1-3), которые наносят на поверхность пластин...

Номер патента: 1035050

Опубликовано: 15.08.1983

Авторы: Белых, Лебедев, Муравьев, Новиков, Рыжов

МПК: C09K 7/02

Метки: буровой, приготовления, раствор

...Буровой, раствор содержит глину, силикат натрия, полиакрилами (ПАА) с молекулярной массой 110 у.е. и воду (21Способ приготовления этого раствора не предусматривает определенной последовательности операции.Недостатком этого состава является большой расход ПАА для обеспечения крепящих свойств и потеря стабильности при введении и глину ПАА перед силикатом.Цель изобретения - обеспечение стабильности и крепящих свойств раствора при снижении расхода полиакриламида,Постанленная цель достигается тем,что буровой раствор, содержащий глину, силикат натрия, полиакриламид смолекулярной массой менее 110 у.е.и воду, содержит полиакриламид, состепенью гидролиза 3-1 0 при следующем соотношении ингредиентов, кг/м.Глина 25-100Силикат натрия...

Номер патента: 1118662

Опубликовано: 15.10.1984

Авторы: Белов, Миллер, Сидоров, Ядрышникова

МПК: C09K 7/02

Метки: буровых, глинистых, приготовления, растворов, реагент

...путем смешения метил- или этилсиликоната натрия с алюминатом натрия, перед смешением метил- или этилсиликонат натрия растворяют в воде до концентрации по крем" нию 0,77-1,14 мас,.Используемый в качестве алюмината натрия отход производства фенилэтило-, вого спирта представляет собой белый кристаллический порошок и содержит в своем составе (в пересчете на окислы) Зб,1 А 120 и 37 . НаО. Продукт не содержит токсичных примесей, растворимость в воде составляет 99,0- 99,5%.Гидрофобизирующие кремнийорганические жидкости (метилсиликонат натрия ГКЖи этилсиликонат натрия ГКЖ) выпускаются согласно ТУ 6-02- -69 бб.Предлагаемый способ обработки бурового раствора не только объединяет положительное действие кремний- органических жидкостей и алюмината...