155872
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 155872
Текст
155872 Класс Н 011; 21 д, 11 е СССР САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ВИДЕТЕЛЬСТВУ К АВТОРСКО гО " . одписная группа8. В, Лубашевская, Т, В, Фадеева, Ю, Х. Гукетлев и Л, А. Бо О ВЫХ СТРУКТУ ПОСОБ БОТКИ ПОЛУПРОВО но 1 марта 1962 г. за766897126-9зобретений и открытий при Совете Министров СССРтепе изобретений и товарных знаков14 за 1963 Заявл о делам ив КомитетОпубликов о в Бюлл Известны способы стабилизации поверхности полупроводниковых приборов путем нагревания их в сухом воздухе или кислороде.Предлагаемый способ обработки полупроводниковых структур, например на германии и кремнии, отличается от известных способов тем, что р - п переходы без предварительной сушки подвергают ультрафиолетовому облучению в течение 30 - 60 мин. Благодаря такой особенности способа значительно ускоряется процесс стабилизации параметров полупроводниковых приборов.Сущность предлагаемого способа заключается в следующем.Полученные по обычной технологии полупроводниковые р - п структуры после травления и промывки деионизованной водой без предварительной сушки подвергают ультрафиолетовому обучению. Источником ультрафиолетового излучения является ртутно-кварцевая лампа типа ПРК, процесс облучения длится 30 - 60 мин при температуре окружающей среды 100 - 200 С (в зависимости от применяемомого полупроводникового материала) и проводится в потоке подогретого воздуха или кислорода. Поверхность стабилизированных таким образом полупроводниковых структур необходимо сразу же, до соприкосновения ее с окружающей атмосферой, защитить влагостойким покрытием либо герметизировать. Дальнейшие операции осуществляютсч по обычной технологии.Применение предлагаемого способа для обработки германиевыхп переходов позволило, например, получить высокую стабильностьраметров и меньшие значения обратных токов при значительном усрении процесса (на 18 час).Предлагаемый способ сокращает технологический цикл производства полупроводниковых приборов, повышает их качество, а также позволяет автоматизировать комплекс операций изготовления приборов. па коМ 155872 Предмет изобретения Редактор Н. С. Коган Техред А. Кудрявйцкая Корректор А. М. Глазова Подп. к печ. 25/И 1 - 64 г, Формат бум, 70)(108 Ч Объем 0,18 изд. л.Заказ 1659/18 Тираж 1050 Цена 5 коп.ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2,Способ обработки получроводниковых структур, например на германии и кремнии, состоящий в том, что протравленные и промытые- а переходы без предварительной сушки подвергают стабилизации в потоке подогретого воздуха или кислорода, отличающийся тем, что, с целью ускорения процесса стабилизации поверхностных свойств р - гг структур, последние одновременно облучают ультрафиолетовым излучением в течение 30 - 60 мин,
СмотретьЗаявка
766897
МПК / Метки
МПК: H01L 21/26
Метки: 155872
Опубликовано: 01.01.1963
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-155872-155872.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">155872</a>
Предыдущий патент: 155871
Следующий патент: 155873
Случайный патент: Устройство для формирования и передачи информации на локомотив