Патенты с меткой «155872»

Номер патента: 155872

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: H01L 21/26

Метки: 155872

...без предварительной сушки подвергают ультрафиолетовому обучению. Источником ультрафиолетового излучения является ртутно-кварцевая лампа типа ПРК, процесс облучения длится 30 - 60 мин при температуре окружающей среды 100 - 200 С (в зависимости от применяемомого полупроводникового материала) и проводится в потоке подогретого воздуха или кислорода. Поверхность стабилизированных таким образом полупроводниковых структур необходимо сразу же, до соприкосновения ее с окружающей атмосферой, защитить влагостойким покрытием либо герметизировать. Дальнейшие операции осуществляютсч по обычной технологии.Применение предлагаемого способа для обработки германиевыхп переходов позволило, например, получить высокую стабильностьраметров и меньшие...