Способ металлизации оксидных материалов

ОЮЗ СОВЕТСКИХ ОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 19) Я 40 04 В 41 8 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСА БРЕТЕН АВТОРСКОМУ С ЕЛЬСТВ(21) 4257942/23(22) 06.04.8746 1 .03,90. л, У 10отделение Институ к, Д,Г. Непов0888)идетельство5 1) 5/54, 1етельство С оичиц СССР79.СР ЛЛИЗАЦИИ ОКСИДНЫХ ехнологииалов и мотронной,хнической Изобретение относится к тметаллизации оксидных материжет быть использовано в элекрадиоэлектронной и электротепромышленности.Целью изобретения является получение на оксидах медных проводников с высокой адгезией и снижение удельного сопротивления покрытия,Процесс металлизации производят следующим образом.Игольчатый металлический электрод фиксируют на поверхности керамического изделия. На поверхность оксида наносят порошок окиси меди. Отрицательный подвижный электрод приводят в соприкосновение с положительным неподвижным электродом. Включают источник питания и формируют дугу. По приборам выставляют заданный ток. Под( ) 5 Б(71) Могилевскоефизики АН БССР(57) Изобретениегии металлизациии может быть исп относится к технолооксидных материаловльзовано в электроннои, радиоэлектронной и электротехнической промышленности. Для полученияна оксидах: медных проводников с высокой адгезией и снижения удельногосопротивления покрытия наносят на поверхность порошок оксида меди, раз"мещают два электрода, прикладываютнапряжение до образования дуги. Затемперемещают катод по поверхности оксида со скоростью 0,5-4,0 мм/с, а напряжение поддерживают на уровне, обес"печивающем силу тока через расплавв пределах 0,3-0,8 А. Полученные медные проводники имеют удельное сопротивление (1,9-2,2)10- Ом мм /м иадгезию к корунду 800-910 кг/см,1 табл. вижный электрод перемещают с заданной скоростью, поддерживая ток постоянным. Расплав окиси меди под действием электростатических сил перемещается за катодом, образуя токопровочдящий канал, являющийся продолжением анода. По достижении заданной длины канала катод останавливают и произ-. водят обдув канала газом-восстановителем (аргон-метановой смесью), При этом окись меди восстанавливалась до металла. В процессе восстановления сопротивление канала значительно уменьшается и, соответственно, уменьшается падение напряжения при поддержании постоянной силы тока. Когда процесс стабилизируется и перестает меняться падение напряжения, источник питания отключают. Для вычисления удельного сопротивления материала1549940 30 Опыт 820 880 910 840 890 890 800 880 890 330 2,1 1,9 1,9 1,9 2,0 2,2 2,0 1,9 2,2 3,0-3,3 0,3 0,50,8 0,3 0,5 0,8 0,3 0,5 0,8 0,5 0,5 0,5 1 ф 5 1,5 1,5 4 1 2 3 4 5 6 7 8 9 Прототип Составитель С. КоханРедактор Т. Лазаренко Техред. М.Дидык Корректор В, Кабаций Заказ 245 Тираж 561 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета,по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раущская наб д, 4/5 1Производственно-издательский комбинат Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина,101Г канала измерялось линейное сопротивение и длина полученного канала, сниалась профиллограмма поперек канала. атем металлический канал вытравливался 204-ным раствором азотной кислоты, снова снималась профилограмма его поперечного сечения. На основании профилограмм рассчитывалась площадь канала и определялось удельное сопротив ление.Для определения адгезии припоем ОСР 65 к участку металлизированного канала прийаивалась медная пластинка. Измерялась сила, при которой происхо дит отрыв этого участка от подложки. Ори помощи микроскопа измерялась плоадь паяемого участка, затем производился расчет прочности на разрыв. На керамику наносились прямолинейные металлическое каналы длиной 30 мм.Результаты испытаний сведены в таблицу, где Ч - скорость подвижного электрода, мм/с; 1 - сила тока, А; р - удельное сопротивление металличес 25 ;кого слоя, Ом мм /м; 6 - адгезия ме,таллического слоя к подложке, кг/мм . ,Неподвижные электроды изготавливались из медной проволоки Ф 1,5 мм, с заточкой на конус, перемещаемые - из стальной проволоки ф 1,5 мм, Обдувпроизводился аргон-метановой смесьюс содержанием метана 43,В качестве металлизируемого образца использовалась алюмооксидная керамика А 995, изготовленная в видепластин, в качестве металлизирующегоматериала - порошкообразная окись меди ГОСТ 4469"48, ч.д.а,Формула и з о б р е т е н и яСпособ металлизации оксидных материалов путем размещения на поверхнос ти образца двух электродов, приложения напряжения для образования электрической дуги, перемещения одного из электродов по поверхности и воздействия защитно-восстановительной среды, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения на оксидах медных проводников с высокой адгезией и снижения удельного сопротивления покрытия, на поверхность образца предварительно наносят слой порошка оксида меди, после образования дуги катод перемещают со скоростью 0,5-4,0 мм/с, нап-, ряжение поДдерживают на уровне, обеспечивающем силу тока через расплав в пределах 0,3-0,8 А;ч